Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.02a
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pp.210-210
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2011
The effects of CH2F2 and N2 gas flow rates on the etch selectivity of silicon nitride (Si3N4) layers to extreme ultra-violet (EUV) resist and the variation of the line edge roughness (LER) of the EUV resist and Si3N4 pattern were investigated during etching of a Si3N4/EUV resist structure in dual-frequency superimposed CH2F2/N2/Ar capacitive coupled plasmas (DFS-CCP). The flow rates of CH2F2 and N2 gases played a critical role in determining the process window for ultra-high etch selectivity of Si3N4/EUV resist due to disproportionate changes in the degree of polymerization on the Si3N4 and EUV resist surfaces. Increasing the CH2F2 flow rate resulted in a smaller steady state CHxFy thickness on the Si3N4 and, in turn, enhanced the Si3N4 etch rate due to enhanced SiF4 formation, while a CHxFy layer was deposited on the EUV resist surface protecting the resist under certain N2 flow conditions. The LER values of the etched resist tended to increase at higher CH2F2 flow rates compared to the lower CH2F2 flow rates that resulted from the increased degree of polymerization.
Cinnamate group is well-known for the dimerization reaction by ultra-violet irradiation and cinnamate polymers are studied for photo-alignment materials. The cinnamate groups of flexible polymer are found to produce LC alignment parallel to polarization direction of ultra-violet light, which is contrary to the LC orientation on conventional cinnamate polymers. The un-reacted cinnamate groups in the flexible polymer are also found to participate in cycloadducts formation by additional thermal reaction that preserves the orientation of cycloadducts, leading to the enhancement of thermal stability of LC alignment.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.27
no.7
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pp.443-447
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2014
ZnO crystals with different morphologies were synthesized through a thermal evaporation of Zn-Mn mixtures in air. The morphology was dependant on the Mn content in Zn-Mn mixture. The morphology was changed from rod to tetrapod shape with decreasing Mn content in Zn-Mn mixture. The result indicates that the concentration of Mn might be responsible for the different morphologies of ZnO crystals. XRD spectra showed that the ZnO crystals had a hexagonal wurtzite crystal strutures. For all the samples, room temperature cathodoluminescence spectra showed a ultra-violet emission at 380 nm and a green emission at around 500 nm. However, the intensity ratio of ultra-violet emission to green emission was significantly different with the Mn content in the source material.
Kim, Yong-Bae;Lee, Sang-Hee;Kim, Geon-Chee;Kang, Gun-Il
Journal of Pharmaceutical Investigation
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v.2
no.1
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pp.58-62
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1972
The stabillities of taurine, niacinamide, and pyridoxine hydrochloride under exposure to ultra violet radiation in liquid preparations were studied. And sterilization effects for E. coli in both water and liquid preparations were also comparatively evaluated. The above mentioned organic compounds were stable under this experimental conditions and viable count of E. coli reveals that organic compounds dissolved in solution display protective action for microorganisms under UV-irradiation.
Ha, Chang-Hoon;Jeong, Dong-Chul;Kim, Tae-Jun;Bae, Hyun-Sook;Whang, Ki-Woong
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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2003.07a
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pp.109-112
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2003
In this paper, we investigated the phosphor degradation characteristics on the ultra violet ray (UV) irradiation as well as ion bombardment. We propose a novel experiment method which is related with phosphor degradation causes. The phosphor deterioration experiments were made on the UV irradiation as well as ion bombardment. To carry out the experiment and compare the results, we made up the specific experimental setup. The results show that the deterioration by ion damage is more rigorous than that by vacuum ultra violet (VUV) on the phosphor efficiency.
We sampled the fungi on the grounds of the floor and books in the library for the purpose of attack the fungi in the traditional library. We cultured it on the Sabouraud Dextrose Agar(Baltimore Biological Laboratory) and was obtained the fungi of six species, Here irradiated the ultra violet lamp(100V, 15W, 253Å), which was occurred to the colony after 24 hours. And irradiation by 2hrs/day for 2days here. The other method, we were sterilized test by the methanal fumigation The following results were obtained 1. All rearing is suspensed the result of the ultra violet rays irradiation, but the colony that is gained from the grounds of the floor in the library is not sterilized. 2. The result of air tight box to methanal 14ℊ/㎥ for the 24hours fumigation, each test group(the fungi of six species) is all sterilized.
Kim, Jun-Sik;Ahn, Kyoung-Soo;Lee, Chang-Hyo;Kim, Chae-Ok;Hong, Jin-Pyo
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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2002.08a
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pp.689-691
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2002
Well-aligned multi-wall carbon nanotubes (MWCNTs) have been grown on both Coming glass and silicon substrates at about 400 $^{\circ}C$ by a modified plasma - enhanced chemical vapor deposition system. We have investigated laser irradiation effect on carbon nanotube surface by using an ultra - violet laser. The laser operated to modify structural defect of was carbon nanotube and to ablate possible contamination of carbon nanotube surface. The morphology and surface transformation of MWCNTs as analyzed by a SEM. In addition, the field emission measurement was also carried out in a vacuum chamber with a $10^{-7}$ Torr base pressure by applying bias voltages up to 1000V.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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