광학진공챔버내 탑재체 Thermal Tent Loading 및 온도 제어

• 문귀원;서희준;조혁진;이상훈;최석원
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
  • /
  • pp.309-309
  • /
  • 2009
• PDF

RTP에 의해 Si내로 확산된 Au의 에너지준위 및 그 농도분포에 관한 연구 (A Study on the Energy Level and Concentration Profile of Gold Diffused into Silicon Wafer by Rapid Thermal Processing)

• 서진욱;천희곤;권영규
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 1995년도 제8회 학술발표회 논문개요집
  • /
  • pp.21-21
  • /
  • 1995
• PDF

Low-k 박막의 thermal treatment 전.후 특성 분석

• 최범호;김영미;유하나;김광영;이종호
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
  • /
  • pp.178.1-178.1
  • /
  • 2009
• PDF

Formation of $TiSi_2$ on the n-type <100> Si by Rapid Thermal Annealing

• 엄우용;정호정;장지근;홍성수;송진태
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 1995년도 제9회 학술발표회 논문개요집
  • /
  • pp.37-37
  • /
  • 1995
• PDF

Achieving high efficiency in Organic Light-Emitting Diodes by thermal Annealing

• 나경필;이찬재;한정인;주병권
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
  • /
  • pp.186-186
  • /
  • 2008
• PDF

Adsorption Temperature Effect on the Thermal Desorption of Oxygen/Zr(0001) Surface

• Kang, Y.-C.;Ramiser, R.-D.
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
  • /
  • pp.97-97
  • /
  • 2003
• PDF

Zinc oxide nanowire growth on various substrates using VLS mechanism and thermal chemical vapor deposition

• 홍현기;손정인;김연수;이성훈
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2002년도 제23회 학술발표회 초록집
  • /
  • pp.118-118
  • /
  • 2002
• PDF

Thermal stability and the formation mechanism of the interfacial layer between WNx/Si(100)

• Choi, I.S.;Park, J.C.;Choi, J.T.;Kim, H.J.;Lee, S.Y.
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2001년도 제21회 학술발표회 초록집
  • /
  • pp.74-74
  • /
  • 2001
• PDF

Luminescence property and thermal stability of Erbium doped Silicon-rich Si nitride

• Yang, Monn-Seung;Shin, Jung-H;Kim, Kyung-Joong
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2007년도 제33회 하계학술대회 초록집
  • /
  • pp.297-297
  • /
  • 2007
• PDF

Thermal evaporator를 이용한 프탈로시아닌 SAW 센서의 제조 및 특성

• 임양례;주병수;곽준혁;이덕동
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2006년도 제31회 학술논문발표회 초록집
  • /
  • pp.176-176
  • /
  • 2006
• PDF

---