• 제목/요약/키워드: step edge

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다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제 1 부 : 실험적 고찰 (A Study on Taper Etching of Polysilicon-Part I : The Experimental Study)

  • 이정규;서동량;변재동
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제26권7호
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    • pp.50-57
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    • 1989
  • 다결정 실리콘에 인을 이온주입하고 $CF_4$$O_2$의 혼합가스 또는 $SF_6$ 가스를 사용하는 프라즈마 식각 방법에 의해 다결정 실리콘의 경사식각을 수행하였다. 또한 식각면의 경사를 제어하기 위하여 위 두가지 프라즈마를 이용한 2-단계식각 방법이 시도되었다. 식각된 경사 각도는 이온주입에 의해 격자 구조가 파괴된 표면층과 이온주입의 영향을 받지 않은 하지층과의 식각속도 비에 의해 결정되며 그 식각속도 비는 이온주입량, 이온주입 에너지, 식각조건 등에 영향을 받는다. 본 실험에서 얻은 가장 작은 경사각도는 약$10^{\circ}$였으며, 2-단계식각 방법을 이용하여 경사각도를 약 $10^{\circ}$$55^{\circ}$ 사이에서 제어할 수 있었다.

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영상센서의 출력 해상도 모드를 고려한 색상 보간 알고리즘 (Color Interpolation Algorithm for Pixel Resolution Modus of Image Sensor)

  • 김부공;김문철
    • 전자공학회논문지
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    • 제51권9호
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    • pp.129-138
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    • 2014
  • 현재까지 단일 영상센서를 사용하는 디지털 이미징 장치들을 위해 다양한 보간 기법들이 제안되어 왔다. 그러나 기존 보간 기법들은 주기적 샘플링을 사용하는 영상센서의 출력 해상도 모드를 고려하지 않았다. 따라서 출력 영상에서 해상도 화질 열화 및 color artifacts(color moire, zipper)현상들이 문제점으로 나타난다. 본 논문은 영상센서의 출력 해상도 모드를 고려한 색상 보간 알고리즘을 제안한다. 제안하는 보간 알고리즘은 효과적으로 에지 예측을 보상하는 초기단계와 해상도 모드를 고려하여 최소한의 방향성을 이용한 화질 개선단계로 구성되었다. 기존 기법들과 제안하는 알고리즘 결과를 분석 하기위해 주관적 화질비교와 PSNR(Peak Signal to Noise Ratio)을 통한 객관적 화질평가를 비교하였다. 객관적인 수치와 시각적인 부분에서 기존 기법 대비 color artifacts를 효과적으로 개선하였다.

Mean Shift Segmentation을 이용한 스마트폰 기반의 수채화 효과 변환 기법 (Smartphone Based Retouching Method for Watercolor Painting Effect Using Mean Shift Segmentation)

  • 이상걸;김철기;차의영
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2010년도 추계학술대회
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    • pp.206-208
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    • 2010
  • 본 논문에서는 최근 급속히 보급되고 있는 스마트폰에서 촬영한 사진 영상을 수채화 효과가 나도록 변환하는 기법에 대하여 제안한다. 제안하는 수채화 효과 변환 기법은 영상처리 분야에서 많이 사용하는 양방향 필터링(bilateral filtering)과 평균 이동 분할(mean shift segmentation)을 이용한다. 먼저 입력 영상을 스마트폰 화면 해상도로 크기 변환한 후 양방향 필터링을 이용하여 사진의 외곽선 부분은 보존하면서 고주파 성분을 약화시키도록 한다. 다음으로 양방향 필터링을 거친 영상에서 평균 이동 분할을 수행하여 최종 영상을 생성한다. 실험을 통하여 스마트폰의 연산 속도를 고려한 평균 이동 분할의 파라미터 값을 설정하여 다양한 사진에 대하여 수채화 효과가 잘 나타나는 것을 확인하였다.

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새로운 티타늅 실리사이드 형성공정과 STI를 이용한 서브 0,1$\mu\textrm{m}$ ULSI급 소자의 특성연구 (A Study on sub 0.1$\mu\textrm{m}$ ULSI Device Quality Using Novel Titanium Silicide Formation Process & STI)

  • 엄금용;오환술
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제39권5호
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    • pp.1-7
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    • 2002
  • Deep sub-micron bulk CMOS circuits require gate electrode materials such as metal silicide and titanium silicide for gate oxides. Many authors have conducted research to improve the quality of the sub-micron gate oxide. However, few have reported on the electrical quality and reliability of an ultra-thin gate. In this paper, we will recommend a novel shallow trench isolation structure and a two-step TiS $i_2$ formation process to improve the corner metal oxide semiconductor field-effect transistor (MOSFET) for sub-0.1${\mu}{\textrm}{m}$ VLSI devices. Differently from using normal LOCOS technology, deep sub-micron CMOS devices using the novel shallow trench isolation (STI) technology have unique "inverse narrow-channel effects" when the channel width of the device is scaled down. The titanium silicide process has problems because fluorine contamination caused by the gate sidewall etching inhibits the silicide reaction and accelerates agglomeration. To resolve these Problems, we developed a novel two-step deposited silicide process. The key point of this process is the deposition and subsequent removal of titanium before the titanium silicide process. It was found by using focused ion beam transmission electron microscopy that the STI structure improved the narrow channel effect and reduced the junction leakage current and threshold voltage at the edge of the channel. In terms of transistor characteristics, we also obtained a low gate voltage variation and a low trap density, saturation current, some more to be large transconductance at the channel for sub-0.1${\mu}{\textrm}{m}$ VLSI devices.

Wavelet 변환과 경계선 검출 필터를 이용한 초음파 영상의 화질증대 (Improvement in the Quality of Ultrasonographic Images Using Wavelet Conversion and a Boundary Detection Filter)

  • 한동균;임재동;이준행
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제2권1호
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    • pp.23-29
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    • 2008
  • 본 연구에서는 웨이블릿 변환과 경계선 검출 필터를 이용하여 초음파영상의 다해상도 분해를 한 후 경계선 검출 필터링을 통해 초음파 영상의 화질을 개선하는 방안을 제안하였다. 제안된 방법에서는 잡음을 줄이고 에지를 강화하기 위해 웨이블릿 변환된 영상으로부터 얻어진 저해상도 영상에서 고해상도 영상으로 단계적으로 영역별 선택계수 조정과 방향성을 고려한 에지 필터링을 수행하였다. 이를 통해 반점영역의 픽셀은 웨이블릿 계수를 줄여 에지를 제외한 영역에서 선택적 저역통과 필터링 효과를 만들고, 에지에서는 접선 방향으로 평활화를 하여 연속성을 향상시키고, 법선 방향으로는 세선화를 하여 contrast를 높였다. 실험을 통해 단일해상도에서 비선형적 이방성의 확산모델을 이용한 필터링 방법과 웨이블릿 수축구조를 이용한 필터링 방법에 대해 비교하였다.

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로드/언로드 성능향상을 위한 서스펜션 상태행렬 연구 (A study on suspension state matrix to improve load/unload performance)

  • 이용현;김기훈;김석환;박노철;박영필;박경수;김철순
    • 정보저장시스템학회논문집
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    • 제5권1호
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    • pp.47-52
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    • 2009
  • Most hard disk drives that apply the ramp load/unload technology unload the heads at the outer edge of the disk while the disk is rotating. The load/unload includes the benefits as like an increased areal density, a reduced power consumption and an improved shock resistance. A lot of papers investigating the effects of the various load/unload parameters such as a suspension tab, a limiter, a ramp and air-bearing surface designs have been published. However, in previous researches, an effect of the suspension is not considered at each load/unload step. In this paper, we focus that a variation of the state matrix affects the load/unload performance on based on a state matrix that is a stiffness matrix of the suspension. Because the state matrix is related to the suspension at each load/unload step, to change the state matrix means the structural change of the suspension. Therefore, we investigated a range of a pitch static attitude(PSA) and a roll static attitude(RSA) for load/unload performance. We also analyzed an effect of the variation of the state matrix a range of load/unload velocity occurred a slider-disk contact. We determined the variation of the state matrix to improve the load/unload performance through comparison of each factor of state matrix.

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무반사 렌즈용 다층박막의 광학적 구조 및 광투과 특성 (Optical Structures of Multilayer Coatings of Antireflection Lenses and their Transmission Characteristics)

  • 김상열;최성숙
    • 한국광학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.259-265
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    • 1995
  • 국내 민수용으로 유통되고 있는 20여종의 무반사 안경렌즈들을 선정하여 광학적 특성을 분석하였다. 분광광도계를 사용하여 측정한 반사특성과 투과특성을 렌즈의 굴절력, 각 무반사층들 및 렌즈기층에 의한 영향과 연결시켜 분석하였다. 흡수단 근방에서의 겉보기 흡수스펙트럼은 기층물질에 따라 결정되며 400-700nm의 파장대역에서 대부분의 시료들의 겉보기 흡수스펙트럼과 반사스펙트럼은 강한 양의 상관관계를 보여준다. 예외적으로 기층에 의한 흡수가 큰 렌즈들은 상관관계가 약해지며 이와 같은 기층에 의한 흡수는 무반사 특성에 부정적인 효과를 가진다. 또한 국내에서 제작되는 $SiO_2/TiO_2/SiO_2/ZrO_2/Cr$ 다층박막층을 c-Si 기층위에 성장시키면서 각 단계별로 ex-situ 분광타원해석법으로 분석하여 $TiO_2$ 박막과 $ZrO_2$ 박막의 조밀도가 80% 정도에 불과하며 박막이 두꺼원 짐에 따라 박막에 수직한 방향으로 균일하지 않음을 확인하였다. 마지막으로 실시간, in-suti 측정을 바탕으로하여 엄밀한 사양이 요구되는 다층박막, 초격자박막 등을 재현성있게 성장시킬 수 있는 가능성에 대해 토의하였다.

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BSCCO 플라즈마 용사피막의 부분용융열처리 후 어닐링 시간에 따른 초전도 특성 (Characteristics of Plasma Sprayed BSCCO Superconductor Coatings with Annealing Time After Partial Melt Process)

  • 박정식;이선홍;박경채
    • 한국재료학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.116-122
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    • 2014
  • $Bi_2Sr_2CaCu_2O_x$(Bi-2212) and $Bi_2Sr_2Ca_2Cu_3O_y$(Bi-2223) high-Tc superconductors(HTS) have been manufactured by plasma spraying, partial melt process(PMP) and annealing treatment(AT). A Bi-2212/2223 HTS coating layer was synthesized through the peritectic reaction between a 0212 oxide coating layer and 2001 oxide coating layer by the PMP-AT process. The 2212 HTS layer consists of whiskers grown in the diffusion direction. The Bi-2223 phase and secondary phase in the Bi-2212 layer were observed. The secondary phase was distributed uniformly over the whole layer. As annealing time goes on, the Bi-2212 phase decreases with mis-orientation and irregular shape, but the Bi-2223 phase increases because a new Bi-2223 phase is formed inside the pre-existing Bi-2212 crystals, and because of the nucleation of a Bi-2223 phase at the edge of Bi-2212 crystals by diffusion of Ca and Cu-O bilayers. In this study the spray coated layer showed superconducting transitions with an onset Tc of about both 115 K, and 50 K. There were two steps. Step 1 at 115 K is due to the diamagnetism of the Bi-2223 phase and step 2 at 50 K is due to the diamagnetism of the Bi-2212 phase.

모핑을 이용한 눈 영역 크기 보정 기법 (The Size Correction Method of Eyes Region using Morphing)

  • 구은진;차의영
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2013년도 추계학술대회
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    • pp.83-86
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    • 2013
  • 본 논문은 모핑을 이용하여 양 쪽 눈 크기가 같지 않을 경우 눈 영역 크기를 보정하는 기법을 제안한다. 먼저, 입력받은 영상에서 haarcascade를 이용하여 얼굴과 눈을 검출한다. 검출된 눈 모양 중 한 쪽 눈 영역은 좌우를 반전시킨 후, 이전 단계에서 검출된 눈 모양을 캐니 엣지를 사용하여 눈매를 뽑아내고 제어선으로 이용하여 두 눈 사이의 대응관계를 설정한다. 그 후, 각각의 눈 영역을 이전 단계에서 설정한 대응관계에 맞추어 워핑을 한다. 그 후, 두 영상을 합병한다. 합변한 결과 영상을 두 눈 중 크기가 작은 눈에 적용한다. 이 결과 정면으로 바라보는 얼굴 영상을 테스트 영상으로 실험한 결과 제안된 시스템은 단순히 눈의 크기만 맞추는 방법보다 더 효율적이라는 것을 증명한다.

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사이클 상에서 정렬을 위한 로봇의 최소 움직임 (Minimum Movement of a Robot for Sorting on a Cycle)

  • 김재훈
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제21권2호
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    • pp.429-434
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    • 2017
  • n개의 정점들을 가지는 그래프 G=(V, E)에서 각 정점에는 마지막에 놓여야 하는 고유한 상자가 존재한다. 따라서 각 정점과 상자를 1부터 n까지의 정수로 나타내고 정점 i에 놓여야 하는 상자는 상자 i로 나타낸다. 하지만 초기에 상자들은 순열(permutation) ${\pi}$에 따라서 정점 i에 상자 ${\pi}$(i)가 놓여있다. 각 단계에서 로봇은 G의 한 에지 상을 움직일 수 있고, 어떤 순간에 많아야 하나의 상자를 운반할 수 있다. 또한 정점에 도착하면 운반 중인 상자와 정점에 놓여 있는 상자를 교환할 수 있다. 문제는 모든 정점이 자신의 상자를 받을 수 있도록, 다시 말해서, ${\pi}$에 의해 섞여진 상자를 정렬하는, 로봇의 움직임의 최소 단계 수를 찾는 것이다. 본 논문에서는 그래프 G가 사이클(cycle)인 경우에 최소 단계수의 상한 값을 찾고 이 단계 안에 정렬을 수행하는 로봇의 움직임을 $O(n^2)$ 시간에 찾는 수 있음을 보일 것이다.