This study shows the effects of deionized (DI) rinse and oxide HF wet etch processes on silicon substrate during a photolithography process. We found a fail at the wafer center after DI rinse step, called Si pits, during the fabrication of a complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) device. We tried to find out the mechanism of the Si pits by using the silicon wafer on CMOS fabrication and analyzing the effects of the friction charge induced by the DI rinsing. The key parameters of this experiment were revolution per minute (rpm) and time. An incubation time of above 10 sec was observed for the formation of Si pits and the rinsing time was more effective than rpm on the formation of the Si pits. The formation mechanism of the Si pits and optimized rinsing process parameters were investigated by measuring the charging level using a plasma density monitor. The DI rinse could affect the oxide substrate by a friction charging phenomenon on the photolithography process. Si pits were found to be formed on the micro structural defective site on the Si substrate under acceleration by developed and accumulated charges during DI rinsing. The optimum process conditions of DI rinse time and rpm could be established through a systematic study of various rinsing conditions.
Kim, Dong-Soo;Kim, Young-Deog;Kim, Kwang-Il;Do, Yeung-Soo;Nam, Sung-Jin;Nam, Hyo-Duk
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
/
2005.11a
/
pp.226-229
/
2005
In this study, a step-down piezoelectric transformer was fabricated to utilize as an adapter for charging batteries of mobile electronic appliances. The ceramic part of the transformer is $Pb[(Mn_{1/3}Sb_{2/3})_{0.05}Zr_{0.475}Ti_{0.475}]O_3$ with mechanical quality factor of 1600, electromechanical coupling coefficient 59 %, and piezoelectric constant d33 1300, which can be utilized as a piezoelectric transformer. A simply fabricated disk-typed test pattern of diameter 28 mm and thickness 2 mm was used to characterize resonant frequency, Qm, kp according to the different input/output electrode area. efficiency and power as a function of load resistance was also investigated. The sample APT showed some spurious mode and BPT showed better frequency property. Taking all properties which are admittance, effective electromechanical coupling coefficient and mechanical quality factor most suitable for piezoelectric transformer is BPT which has 12 mm diameter electrode and the condition of 15 Vrms, 30 $\Omega$ made the maximum efficiency of 93.7 % and maximum power is 6W with 50 Vrms.
IEIE Transactions on Smart Processing and Computing
/
v.2
no.4
/
pp.248-254
/
2013
The size and power consumption of digital circuits including the dimming circuit part will increase for high-performance solid state lighting (SSL) systems in the future. This study examined the low-power consumption of adiabatic dynamic CMOS logic (ADCL) due to the principles of adiabatic charging. Furthermore, the designed low-power ADCL digital pulse width modulation (PWM) was optimized for SSL dimming systems. For this purpose, an ADCL digital 3-bit PWM was optimized in two steps. In the first step, the architecture of the ADCL digital 3-bit PWM was miniaturized. In the second step, the clock cut-off circuit was designed and added to the ADCL PWM. As a result, compared to the original configuration, 60 transistors and 15 capacitors of ADCL digital 3-bit PWM were reduced for miniaturization. Moreover, the clock cut-off circuit, which controls wake-up and sleep mode of ADCL D-FFs, was designed. The power consumption of an optimized ADCL digital PWM for all bit patterns decreased by 54 %.
This paper proposed that a AC-DC Converter topology of high power factor with soft switching mode operates with four chopper connecting a number of parallel circuit. To improve these, a large number of soft switching topologies included a resonant circuit have been proposed. And, some simulative results on computer is included to confirm the validity of the analytical results. The partial resonant circuit makes use of a inductor using step up and a condenser of loss-less snubber. The result is that the switching loss is very low and the efficiency of system is high. And the snubber condenser used in partial resonant circuit makes charging engergy regenerated at input power source for resonant operation. The proposed conversion system is deemed the most suitable for high power applications where the power switching devices are used.
Mun Sang-Pil;Suh Ki-Young;Lee Hyun-Woo;Chun Jung-Ham
Proceedings of the KIPE Conference
/
2001.10a
/
pp.189-192
/
2001
This paper proposed that an AC-DC converter system using multiple buck-chopper operates with four choppers connecting to a number of parallel circuits. To improve these, a large number of soft switching topologies included a resonant circuit have been proposed. And, some simulative results on computer are included to confirm the validity of the analytical results. The partial resonant circuit makes use of an inductor using step-down and a condenser of loss-less snubber. The result is that the switching loss is very low and the efficiency of system is high. And the snubber condenser used in a partial resonant circuit makes charging energy regenerated at input power source for resonant operation. The proposed conversion system is deemed the most suitable for high power applications where the power switching devices are used.
Because of the advancement of digital computers and software technologies, simulation methods have been used to reduce time and costs. A lot of simulation methods have been developed for the improvement of charging efficiency on the intake and exhaust system of engines. In this study, as a basic step for the development of the gas flow simulation program for the intake and exhaust system, the gas flow in a pipe-orifice system was calculated with three algorithms(Method of Characteristics, MacCormack Method for conservation, and MacCoramck Method for nonconservation). The calculated results using three numerical algorithms were compared with measured result to verify the calculation accuracy.
This paper presents two MPC (Model Predictive Control) based charging and discharging algorithms of BESS (Battery Energy Storage System) for capacity firming of wind generation. To deal with the intermittency of the output of wind generation, a single BESS is employed. The proposed algorithms not only make the output of combined systems of wind generation and BESS track the predefined reference, but also keep the SoC (State of Charge) of BESS within its physical limitation. Since the proposed algorithms are both presented in simple if-then statements which are the optimal solutions of related optimization problems, they are both easy to implement in a real-time system. Finally, simulations of the two strategies are done using a realistic wind farm library and a BESS model. The results on both simulations show that the proposed algorithms effectively achieve capacity firming while fulfilling all physical constraints.
This paper proposed that a high power AC-DC buck converter topology of high efficiency using loss-less snubber operates with four chopper connecting a number of parallel circuit. To improve these, a large number of soft switching topologies included a resonant circuit have been proposed. And, some simulative resutls on computer is included to confirm the validity of the analytical results. The partial resonant circuit makes use of a inductor using step-down and a condenser of loss-less snubber. The result is that the switching loss is very low and the efficiency of system is high. And the snubber condenser used in partial resonant circuit makes charging energy regenerated at input power source of rresonant operation. The proposed conversion system is deemed the most suitable for high power applications where the power switching devices are used.
In this paper, we report the research activities of the technical committee of Electric Vehicle (EV). Recently, environmental pollution has become a world-wide problem. As a practical step to solve this problem, it is sincerely hoped that EVs will become widely used. Here in, we wish to describe an Electric Vehicle research facility with the objectives of developing motor propulsion technology, energy storage technology, control system, battery charging systems, and etc.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
/
v.1
no.3
/
pp.167-181
/
2001
A stepwise driving method was used for reducing the AC power consumption in a TFT-LCD. The AC power takes the largest portion of the total power consumption of a TFT-LCD. Experimental results confirmed that the AC power saving efficiency reached up to 75% when a 5-stepwise driving with each step time of $2\mu$ sec was applied to a 14.1 inch-diagonal XGA TFT-LCD. The second largest component of power consumption called the DC power comes from the quiescent currents in Op-amps. A simple and efficient architecture was proposed in this work to reduce this DC power consumption: Half of the Op-amps have the 5V-supplies, and the rest half have the 10V-supplies, and two Op-amps are shared by adjacent two channels. Measurements of test circuits showed that this simple method could reduce over 40% of the DC power consumption..
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.