• 제목/요약/키워드: spectroscope

검색결과 106건 처리시간 0.022초

Ir과 Co를 첨가한 니켈모노실리사이드의 고온 안정화 연구 (The Enhancement of Thermal Stability of Nickel Monosilicide by Ir and Co Insertion)

  • 윤기정;송오성
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제7권6호
    • /
    • pp.1056-1063
    • /
    • 2006
  • 10 nm-Ni/l nm-Ir(poly)Si과 10 nm-$Ni_{50}Co_{50}$/(poly)Si 구조의 박막을 열증착기로 준비하고 쾌속열처리기로 40초간 $300{\sim}1200^{\circ}C$ 온도 범위에서 실리사이드화 시켰다. 이들의 실리사이드 온도에 따른 면저항, 미세구조와 두께, 생성상, 화학조성과 표면조도의 변화를 사점면저항 측정기와 이온빔현미경, X선 회절기, 오제이 분석기, 주사탐침현미경을 써서 확인하였다. Ir과 Co의 혼입에 따라 기존의 $700^{\circ}C$에 한정된 NiSi에 비해 단결정, 다결정 실리콘 기판에서의 저저항 안정 구간이 각각 $1000^{\circ}C$, $850^{\circ}C$로 향상되었다. 이때의 실리사이드층의 두께도 20$\sim$50 nm로 나노급 공정에 적합하였다. Ir과 Co의 첨가는 단결정 기판에서의 니켈실리사이드의 고저항 $NiSi_2$로의 변태를 방지하였고, 다결정 기판에서 고온에서의 고저항은 고저항 상의 출현과 실리콘층과의 혼합과 도치현상이 발생한 것이 이유였다. Ir의 첨가는 특히 최종 실리사이드 표면온도를 3 nm 이내로 유지시키는 장점이 있었다 Ir과 Co를 첨가한 니켈실리사이드는 기존의 니켈실리사이드의 열적 안정성을 향상시켰고 나노급 디바이스에 적합한 물성을 가짐을 확인하였다.

  • PDF

자연산화막 존재에 따른 코발트 니켈 복합실리사이드 공정의 안정성 (Silicidation Reaction Stability with Natural Oxides in Cobalt Nickel Composite Silicide Process)

  • 송오성;김상엽;김종률
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제8권1호
    • /
    • pp.25-32
    • /
    • 2007
  • 코발트 니켈 합금형 실리사이드 공정에서 단결정실리콘과 다결정실리콘 기판에 자연산화막이 있는 경우 나노급 두께의 코발트 니켈 합금 금속을 증착하고 실리사이드화하는 경우의 반응 안정성을 확인하였다. 4인치 P-type(100)Si 기판 전면에 poly silicon을 입힌 기판과 single silicon 상태의 두 종류 기판을 준비하고 두께 4 nm의 자연산화막이 있는 상태에서 10 nm 코발트 니켈 합금을 니켈의 상대조성을 $10{\sim}90%$로 달리하며 열증착하였다. 통상의 600, 700, 800, 900, 1000, $1100^{\circ}C$ 각 온도에서 실리사이드화 열처리를 시행 후 잔류 합금층을 제거하고, XRD(X-ray diffraction)및 FE-SEM(Field emission scanning electron microscopy), AES(Auger electron spectroscopy)를 사용하여 실리사이드가 생겼는지 확인하였다. 마이크로라만 분석기로 실리사이드 반응시의 실리콘 층의 잔류 스트레스도 확인하였다. 자연산화막이 존재하는 경우 실리사이드 반응이 진행되지 않았고, 폴리실리콘 기판과 고온에서는 금속과 산화층의 반응잔류물이 생성되었다. 단결정 기판의 고온열처리에서는 실리사이드 반응이 없더라도 핀홀이 발생할 수 있는 정도의 열스트레스가 존재하였다. 코발트 니켈 복합실리사이드 공정에서는 자연산화막을 제거하는 공정이 필수적이었다.

  • PDF

열처리에 따른 경질 폴리우레탄의 물성 변화 연구 (Studies of Annealing Effect on the Properties of the Rigid Polyurethane)

  • 강성중;정현철;김우년;이영범;최건형;홍성호;김상범
    • 한국가스학회지
    • /
    • 제2권4호
    • /
    • pp.18-24
    • /
    • 1998
  • 작용기가 2.9인 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (MDI)와 polyester polyol 그리고 사슬 연장제로서 1,4-butane diol로부터 제조한 polyurethane을 시차 주사 열분석기(DSC) 동적 기계적 열분석기(DMTA), 그리고 퓨리에 변환 적외선 분광기(FT-IR)를 이용하여 물성을 연구하였다. 본 연구에서 제조한 polyurethane은 MDI의 높은 작용기로 인한 가교 때문에 균일한 망상구조를 가지고 있음을 알 수 있었다. 또한 하드 세그먼트 함량이 증가할수록 $T_g$는 증가함을 관찰할 수 있었다. 이러한 DSC 결과는 DMTA에서도 재확인할 수 있었다. 한편 polyurethane의 열처리 효과(annealing effect)를 관찰하기 위해 다양한 열처리 조건에 따라 polyurethane의 열분석을 하였다. 그 결과 열처리 온도가 증가될수록 폴리우레탄의 $T_g$가 증가됨을 관찰할 수 있었다. 반면에 열처리 시간에는 크게 의존하지 않음을 관찰할 수 있었다. 이러한 $T_g$의 증가는 팽윤(swelling) 실험으로부터 열처리에 따라 가교 밀도가 증가하며 이러한 가교 밀도의 증가가 polyurethane의 $T_g$를 상승시키는 원인임을 확인 할 수 있었다. 반면에 FT-IR 연구로부터 열처리에 의한 polyurethane의 수소결합 정도의 변화는 관찰할 수 없었다.

  • PDF

Corrosion Behaviors of Dental Implant Alloy after Micro-sized Surface Modification in Electrolytes Containing Mn Ion

  • Kang, Jung-In;Son, Mee-Kyoung;Choe, Han-Cheol
    • Journal of Korean Dental Science
    • /
    • 제11권2호
    • /
    • pp.71-81
    • /
    • 2018
  • Purpose: The purpose of this study was to investigate the corrosion behaviors of dental implant alloy after microsized surface modification in electrolytes containing Mn ion. Materials and Methods: $Mn-TiO_2$ coatings were prepared on the Ti-6Al-4V alloy for dental implants using a plasma electrolytic oxidation (PEO) method carried out in electrolytes containing different concentrations of Mn, namely, 0%, 5%, and 20%. Potentiodynamic method was employed to examine the corrosion behaviors, and the alternatingcurrent (AC) impedance behaviors were examined in 0.9% NaCl solution at $36.5^{\circ}C{\pm}1.0^{\circ}C$ using a potentiostat and an electrochemical impedance spectroscope. The potentiodynamic test was performed with a scanning rate of $1.667mV\;s^{-1}$ from -1,500 to 2,000 mV. A frequency range of $10^{-1}$ to $10^5Hz$ was used for the electrochemical impedance spectroscopy (EIS) measurements. The amplitude of the AC signal was 10 mV, and 5 points per decade were used. The morphology and structure of the samples were examined using field-emission scanning electron microscopy and thin-film X-ray diffraction. The elemental analysis was performed using energy-dispersive X-ray spectroscopy. Result: The PEO-treated surface exhibited an irregular pore shape, and the pore size and number of the pores increased with an increase in the Mn concentration. For the PEO-treated surface, a higher corrosion current density ($I_{corr}$) and a lower corrosion potential ($E_{corr}$) was obtained as compared to that of the bulk surface. However, the current density in the passive regions ($I_{pass}$) was found to be more stable for the PEO-treated surface than that of the bulk surface. As the Mn concentration increased, the capacitance values of the outer porous layer and the barrier layer decreased, and the polarization resistance of the barrier layers increased. In the case of the Mn/Ca-P coatings, the corroded surface was found to be covered with corrosion products. Conclusion: It is confirmed that corrosion resistance and polarization resistance of PEO-treated alloy increased as Mn content increased, and PEO-treated surface showed lower current density in the passive region.

쌀의 완전미 비율 증가가 식미에 미치는 영향 (Effect of Head Rice Ratio on Rice Palatability)

  • 정남진;박정화;김기종;김제규
    • 한국작물학회지
    • /
    • 제50권spc1호
    • /
    • pp.29-32
    • /
    • 2005
  • 불완전미가 식미에 미치는 영향을 알아보기 위하여 현미외 관별로 백미 품위를 구분하고 각각의 불완전미를 완전미와 혼입하여 근적외분광광도계를 이용하여 식미치를 검토한 결과는 다음과 같다. 가. 수확한 현미의 정상립은 $75.7\%$였으며, 불완전렵은 변색립이 $11.0\%$, 청미가 $8.0\%$, 그리고 사미가 $5.3\%$였다. 나. 정상립 현미에서 도정된 백미는 완전미가 $64.7\%$였으며, 동할미가 $25.3\%$, 심복백미가 $10\%$였으며, 변색립 현미는 정상립에서 도정된 백미외관과 큰 차이가 없는 것으로 나타났다. 청미는 완전미가 $36\%$, 심복백이 $64\%$였으며, 사미는 심복백미가 $25.3\%$, 유백미가 $74.7\%$였다. 다. 백미 품위에 따른 식미관련 특성 검정 결과, 동할미의 점도는 정상미와 차이가 없었으나 심복백미의 점도는 정상립 보다 약간 낮았고 유백미의 경우는 정상립의 $60\%$ 수준으로 감소하였다. 단백질 함량은 심복백미와 유백미가 정상립보다 다소 높게 나타났다. 라. 기계적 식미치는 불완전립 모두 정상립 보다 현저히 낮게 나타났다. 불완전미 중 유백미와 심복백미는 완전미에 $1\%$만 함유되어도 완전미 대비 약 $5\%$의 식미가 감소되었으며, $5\%$ 함유되었을 경우에는 완전미 식미에 비하여 유백미는 $20\%$, 심복백미는 $12\%$의 식미치가 감소되었다. 그러나 동할미의 경우는 $5\%$까지는 식미치에 크게 영향이 없었다. 오히려 잔디의 밀도가 감소되는 경향을 보였다. 초장의 경우 복비의 무처리시 거의 잔디의 초장이 신장하지 않았으며, 오히려 감소하는 경향을 보였다. 반면, 잔디의 피해지역에 복비를 처리할 경우 잔디의 빠른 생장이 이루어졌다. 신초 건물중은 복비 처리전 8월 6일에 비하여 11월 6일에 이스트밸리 LD지역의 무처리구가 $1.2\%$감소하였지만 처리구는 $50\%$정도가 증가하였다. 지산의 시험 결과도 이스트밸리와 유사하였다. 신초와 뿌리의 비율(S/R)은 처리구의 경우 뿌리보다 신초의 건물중이 더 증가하였지만, 무처리구의 경우 뿌리와 신초의 생장율이 거의 비슷하였다. 포복경과 지하경의 건물중을 합한 R&S의 건물중을 조사한 결과, 이스트밸리의 경우 복비를 처리하기 전 8월6일에 무처리구인 LD지역이 처리구인 LD지역에 비하여 $5.5\%$정도가 적었지만 복비를 처리한 후엔 오히려 처리구의 LD지역이 $48\%$로 증가하였다. 지산의 결과 역시 이스트밸리와 유사하였다. 4. 이상의 결과들로 알 수 있는 것은 수목 근부에 생장하고 있는 잔디의 피해 요인들은 여러 가지가 있지만, 골프장내 수목의 밀생 지역이 아닌 경우에는 광에 의한 피해보다는 오히려 양분과 수분의 경쟁에 의한 피해 발생 비율이 크다. 따라서 이들 잔디의 피해 지역에 복비를 처리함으로서 무처리 지역에 비하여 상당히 많은 효과를 보았기 때문에 수목 근부에서 생장하는 잔디의 집중관리 체계로 보다 효율적인 코스관리에 도움이 될 수 있을 것으로 기대된다.ting이 관찰되는데, 진성기업의 Stainless Steel은 가늘고 긴 압흔이 있으며 비교적 매끄러운 표면을 보이고, Unitek사의 경우 압흔과 함께 pitting 이 관찰되며, Ormco Stainless Steel의 경우 불규칙한 pitting이 다

도재 라미네이트 두께와 광원 및 광조사 시간에 따른 광중합형 레진 시멘트의 FT-IR을 이용한 중합도 비교 (Comparison of the degree of conversion of light-cured resin cement in regard to porcelain laminate thickness, light source and curing time using FT-IR)

  • 유지성;김지환;김선재;이용근;심준성
    • 대한치과보철학회지
    • /
    • 제47권4호
    • /
    • pp.416-423
    • /
    • 2009
  • 연구목적: 이번 연구의 목적은 PLV 수복물의 접착 시 사용되는 광중합형 레진 시멘트의 중합도를 Fronrier transform infrared spectroscope로 측정하여 도재의 두께, 광원 및 광조사 시간에 따른 중합도의 차이를 비교하기 위함이다. 연구재료 및 방법: 대조군으로는 1.0 mm의 투명한 slide glass를 사용하였고, 도재 시편은 IPS Empress Esthetic shade ETC1을 선택하여 0.5, 1.0, 1.5 mm의 두께로 제작하였다. 레진 시멘트는 광중합형 레진 시멘트인 Rely $X^{TM}$ Veneer Shade A3를 사용하였다. 광원으로는 Quartz Tungsten Halogen (QTH), Light Emitting Diode (LED), Plasma arc curing (PAC) 광중합기를 사용하였다. 레진 시멘트의 중합도는 FT-IR과 OMNIC 프로그램을 이용하여 측정하였다. 통계분석은 one-way ANOVA와 Tukey HSD를 이용하였다 ($\alpha$=0.05). 결과: 대조군에서 QTH와 LED로 광중합을 시행하였을 때 PAC로 광조사를 시행한 경우보다 중합도가 높았다. QTH와 LED로 광조사를 시행한 경우, 대조군과 0.5 mm, 1.0 mm, 1.5 mm의 도재 두께에서 유의차를 보이지 않았다. 반면, PAC로 광조사를 시행한 결과, 도재의 두께가 1.5 mm인 실험군의 중합도가 대조군과 0.5 mm에서 보다 통계적으로 유의하게 낮은 결과를 보인다 (P<.05). 두께가 1.0 mm의 도재와 LED 광중합기로 광조사하여 중합도를 비교한 결과, 20초간 광조사를 시행하였을 때와 비교하여 80초와 160초간 광조사를 시행한 경우 통계적으로 유의하게 중합도의 평균값이 높았다 (P<.05). 결론: 이번 연구의 한계 내에서, 도재의 두께가 0.5-1.5 mm 이내의 PLV 접착 시, PAC 중합기의 사용은 고려되지 않으며, QTH나 LED로 40초 이상 중합한다면 광중합형 레진 시멘트를 사용할 수 있다. 또한, 광중합형 레진 시멘트를 LED로 중합시킬 경우, 광조사 시간의 증가가 중합도의 증가와 비례하지 않으며, 일정시간 이상의 광조사가 중합도에 큰 영향을 끼치지 않는다.