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Sol-Gel 법을 이용한 ITO박막의 제조 (Fabrication of ITO Thin Film by Sol-Gel Method)

  • 김지홍;이재호;김영환
    • 전기화학회지
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    • 제3권1호
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    • pp.11-14
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    • 2000
  • 가시광선 영역에서의 높은 투과성과 우수한 전도성을 가진 전도성 ITO박막은 그 전기적 광학적 특성에 의해서 태양 전기 기판의 전극 재료나 Display소자의 투명전극으로 개발되고 있다. 이들의 제작은 현재 sputtering이 주종을 이루나 이들의 높은 생산비를 절감할 목적으로 sol-ge떫을 이용하여 ITO박막을 만들었다. ITO제조용 sol은 유기질 sol로는 indium tri-iso-propoxide를 ethylene glycol monoethyl ether에 녹인 후 $SnCl_4$를 dopant로 사용하여 제조하였다. Acetyl acetone을 넣어 sol이 수화되는 현상을 억제하였다. 무기질 sol로는 indium acetate를 n-propanol에 용해하여 사용하였다. Spin 방법을 이용하여 코팅하였으며 $500^{\circ}C$에서 열처리하였다. 가시 광선 영역에서의 투과도는 $90\%$ 이상을 얻었으며 비저항은 $0.01\Omega{\cdot}cm$가 측정되었다.

다양한 형태의 금속 산화물을 이용한 Pd계 복합 수소분리막의 2원계 중간층 형성에 관한 연구 (A Study of the Formation of Binary Intermediate Layer on Pd-based Hydrogen Separation Membrane Using Various Types of Metal Oxides)

  • 황인혁;김성수
    • 공업화학
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    • 제29권2호
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    • pp.196-200
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    • 2018
  • 본 연구에서는 복합 수소분리막 중간층의 pin hole, crack 및 defect를 최소화하기 위하여 powder type과 sol type의 금속산화물을 이용하여 복합화하였다. 중간층의 표면 형상과 투과 특성은 주사전자현미경(SEM) 분석과 $N_2$ 투과도 테스트를 통해 평가하였으며, 제조한 수소분리막의 성능평가를 위해 $N_2$$H_2$를 이용하여 단일가스 투과 테스트를 수행하였다. Powder type과 sol type의 금속산화물을 각각 이용하여 중간층을 적층한 결과 sol type 금속산화물을 이용하여 적층한 중간층의 표면 조도가 매우 낮았으며, 특히 $TiO_2$ sol로 형성된 중간층의 pin-hole, crack 및 defect가 현저히 감소하였다. Powder와 sol을 복합화하여 적층한 중간층은 sol로 형성된 중간층과 거의 유사한 특성을 보였으며, 이를 기반으로 제조한 수소분리막은 1 bar의 압력구배, 672 K의 온도에서 약 $0.32mol/m^2s$의 수소 투과도를 나타내었으며, 선택도는 약 10,890 이상으로 측정되었다.

INFRA-SOLVMANIFOLDS OF Sol14

  • LEE, KYUNG BAI;THUONG, SCOTT
    • 대한수학회지
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    • 제52권6호
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    • pp.1209-1251
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    • 2015
  • The purpose of this paper is to classify all compact manifolds modeled on the 4-dimensional solvable Lie group $Sol_1^4$, and more generally, the crystallographic groups of $Sol_1^4$. The maximal compact subgroup of Isom($Sol_1^4$) is $D_4={\mathbb{Z}}_4{\rtimes}{\mathbb{Z}}_2$. We shall exhibit an infra-solvmanifold of $Sol_1^4$ whose holonomy is $D_4$. This implies that all possible holonomy groups do occur; the trivial group, ${\mathbb{Z}}_2$ (5 families), ${\mathbb{Z}}_4$, ${\mathbb{Z}}_2{\times}{\mathbb{Z}}_2$ (5 families), and ${\mathbb{Z}}_4{\rtimes}{\mathbb{Z}}_2$ (2 families).

신 레이저매질 Yb(SOL-D)$_3$착물의 광학적 특성 (Optical Properties of Yb(SOL-D)$_3$ Complex for Laser Material)

  • 김정호;서연호;박용필
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.640-643
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    • 2001
  • Perdeuterated hexaflouroacetylacetonato-ytterbium [Yb(SOL-D)$_3$] complexes were synthesized by the keto-enol tautomerism reaction of Yb(SOL-H)$_3$in methanol-d$_4$in order to reduce the radiationless transition to the ligands. The luminescence properties of Yb(SOL-D)$_3$complex were measured in the following anhydrous deuterated organic solvents ; Methanol-d$_4$, THF-d$_{8}$, PO(O$CH_3$)$_3$and DMSO-d$_{6}$. The intensity, lifetime and quantum efficiency of the luminescence in DMSO-d$_{6}$ were superior to those in other deuterated solvents. It was suggested that the anhydrous DMSO-d$_{6}$ might be the most appropriate solvent for the liquid laser material of Yb(SOL-D)$_3$complex.complex.

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솔-젤법에 의해 제작된 $TiO_2-$SnO_2$ 박막의 특성 (Characteristics of $TiO_2-$SnO_2$ Thin Films Fabricated Using Sol-Gel Method)

  • 류도현;육재호;임경범
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제51권11호
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    • pp.511-516
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    • 2002
  • $TiO_2-SnO_2$ thin films are fabricated using sol-gel method. In case the amount of water required hydrolysis smaller than that for stoichiometry, Ti sol forms clear sol which has normal chain structure. On the contrary, in case the amount of water required hydrolysis larger than that for stoichiometry, Ti sol forms suspended sol which has cluster structure. The thickness of thin films increase about $0.03{\sim}0.04{\mu}m$ every a dipping. The permittivity and dissipation factor of $TiO_2-SnO_2$ thin films decrease with increasing frequency. Thin films show semiconductive characteristics above $400^{\cric}C$.

Sol-gel 용액의 온도변화에 따른 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성 (Structural and Opical Properties of ZnO Thin Films with Different Temperature of Sol-gel Solution)

  • 박형길;남기웅;윤현식;김소아람;임재영
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2012년도 추계총회 및 학술대회 논문집
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    • pp.137-138
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    • 2012
  • ZnO 박막을 Sol-gel용액을 이용한 스핀코팅 방법으로 석영기판 위에 성장하였고 Sol-gel 용액의 온도 변화에 따른 구조적, 광학적 특성을 분석하였다. ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성을 조사하기 위해 field-emission scanning electron microscopy, X-ray diffraction (XRD), photoluminescence (PL), 그리고 ultraviolet-visible (UV) spectroscopy을 사용하였다. PL 분석에서 ZnO 박막은 orange 계열의 발광을 하였으며, PL spectra는 3.3 eV 부근의 near-band edge emission (NBE) 피크와 2.0 eV 부근의 deep-level emission (DLE) 피크로 이루어져있다. 모든 sol-gel 용액 온도에서, DLE 피크가 NBE 피크보다 더 우세하고 이 DLE 피크는 sol-gel 용액의 온도가 증가함에 따라 점점 증가하다가 감소하는 것을 알 수 있다. 이런 DLE 피크는 산소 공공, 아연 공공, 침입형 산소, 침입형 아연 등과 같은 결함에 의한 것이며, ZnO 박막은 sol-gel 용액의 온도에 따라 결함의 특성이 변화하였다.

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졸겔법에 의한 알루미나의 제조(I) - 중합 알루미나 졸의 특성 (Preparation of Alumina by the Sol-Gel Process(I) - Characteristics of Polymeric Alumina Sol)

  • 이해욱;김구대;정형진;김창은
    • 한국세라믹학회지
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    • 제28권1호
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    • pp.60-66
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    • 1991
  • The polymeric alumina sol was prepared by partial hydrolysis of aluminum sec-butoxide reacted with acetylacetone and its characteristics was investigated. The effects of alcohol solvent, acetylacetone, and acid concentration to the sol were investigated. FT-IR and Al27-MASNMR were used to study hydrolysis and polymerization reaction of aluminum complex. Synthesized sol showed the characteristics of polymeric alumina sol. To make a clear polymeric alumina sol, the optimum contents of acetylacetone, H2O and alcohol solvent were 0.4-0.6 mole, 0.25-1.25 mole, 3-5 mole per one mole alkoxide respectively. As a result of the Al27-MASNMR analysis, it was noted that hexa-penta-coordinated Al were main structure.

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알콕사이드로부터 졸겔법에 의한 물라이트 섬유의 제조 (Preparation of the Mullite Fiber from Alkoxide by Sol-Gel Process)

  • 김구대;정형진;이해욱
    • 한국세라믹학회지
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    • 제28권2호
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    • pp.153-159
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    • 1991
  • Polymeric alumina sol and polymeric silica sol were synthesized from aluminum sec-butoxide and tetraethyl orthosilicate, respectively as starting materials. A clear mullite sol was obtained by mixing these sols. When the mullite sol had a proper viscosity which was dependent on drying time, the fibers were fabricated by spinning. The optimum viscosity for fabrication of mullite fibers was 103-104 cps, and the fibers with various sizeswere made using the sols. The mullite was a major phase of the calcined fibers and the diameters of the fibers were about 50$\mu\textrm{m}$.

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