A Study on the Fabrication and Characterization of Micro Pb(Zr,Ti)O3 Film Piezoelectric Cantilever Using MEMS Process for Energy Harvesting (MEMS 공정을 통한 마이크로 Pb(Zr,Ti)O3 박막 압전 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.26 no.11
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- pp.831-835
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- 2013