• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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• pp.85-85
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• 2007

최근 귀금속중의 하나인 Ruthenium(Ru)은 높은 일함수, 누설전류에 대한 높은 저항성등의 톡성으로 인해 캐패시터의 하부전극으로 각광받고 있다. 하부전극으로 증착된 Ru은 일반적으로 각 캐패시터의 분리와 평탄화를 위해 건식식각이 이루어진다. 하지만, 건식식각 공정중 유독한 $RUO_4$ 가스가 발생할 수 있으며, 불균일한 캐패시터 표면을 유발할 수 있다. 이러한 문제점들을 해결하기 위해 CMP 공정이 필요하게 되었다. 하지만, Ru은 화학적으로 매우 안정하기 때문에 Ru CMP 슬러리에 대한 연구가 필요하게 되었으며, 이에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 Ru CMP 공정에서 Chemical A가 에칭제 및 산화제로 사용된 슬러리의 pH 변화와 pH 적정제에 따른 영향을 살펴보았다. Ru wafer를 이용하여 static etch rate, passivation film thickness와 wettability를 pH와 pH 적정제에 따라 비교해 보았다. 또한, pH 적정제로 $NH_4OH$와 TMAH를 이용하여 pH별 슬러리를 제작하고 CMP 공정을 실시하여 Ru의 removal rate을 측정하였다. $NH_4OH$와 TMAH의 경우 각각 130. 100 nm/min의 연마율이 측정된 pH 6에서 가장 높은 연마률을 보였으며, TMAH의 경우가 pH 전 구간에서 $NH_4OH$에 비해 낮은 연마율이 측정되었다. TEOS 에 대한 Ru의 선택비를 측정해 본 결과, $NH_4OH$의 경우 pH 8~9. TMAH의 경우 pH 6~7에서 높은 selectivity를 얻을 수 있었다.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제12권6호
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• pp.686-691
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• 1991

Emission quenching of photoexcited tris(${\alpha},{\alpha} '$-diimine)-ruthenium(II) complex cations, $RuL_3^{2+}$ (L: 2,2'-bipyridine, 4,4'-dimethyl-2,2'-bipyridine; 4,4'-diphenyl-2,2'-bipyridine; 1,10-phenanthroline; 5-methyl-1,10-phenanthroline; 5,6-dimethyl-1,10-phenanthroline or 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline) by $Cu^{2+}$, dimethylviologen $(MV^{2+})$, nitrobenzene (NB), and oxygen was studied in aqueous homogeneous and sodium dodecyl sulfate (SDS) micellar solutions. The apparent bimolecular quenching rate constants $k_q$ were determined from the quenching data and life-times of $^{\ast}RuL_3^{2+}$. In homogeneous media, the quenching rate was considerably slower than that for the diffusion-controlled reaction. The decreasing order of quenching activity of quenchers was $NB>O_2>MV^{2+}>Cu^{2+}$. The rate with $Cu^{2+}$ was faster as the reducing power of $^{\ast}RuL_3^{2+}$ is greater. On the other hand, the rates with NB and $O_2$ were faster as the ligand is more hydrophobic. This was attributed to the stabilization of encounter pair by van der Waals force. The presence of SDS enhanced the rate of quenching reactions with $Cu^{2+}$ and $MV^{2+}$, whereas it attenuated the quenching activity of NB and $O_2$ toward $RuL_3^{2+}$. The binding affinity of quenchers to SDS micelle and binding sites of the quenchers and $RuL_3^{2+}$ in micelle appear to be important factors controlling the micellar effect on the quenching reactions.

• 공업화학
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• 제34권2호
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• pp.180-185
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• 2023

물의 전기 분해 효율을 향상시키기 위해 산소발생반응(OER)의 반응 속도를 가속화하며 고성능과 장기 안정성을 가진 OER 전기촉매 개발이 필수적이다. 본 연구에서는 고효율의 OER 전기촉매를 합성하기 위해 중공 금속-유기골격체 (MOF)로부터 유도된 루테늄-코발트 산화물 촉매를 개발하였다. 합성된 촉매는 루테늄의 표면 노출을 증대시킴으로 낮은 Tafel 기울기와 10 mA/cm²의 전류밀도에서 386 mV의 낮은 과전위가 관찰되었다. 또한 상용 RuO₂ 촉매 대비 높은 질량 활성과 안정성을 보여, 귀금속 촉매를 대체할 수 있을 것으로 기대된다.

• 대한약리학회지
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• 제30권1호
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• pp.125-136
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• 1994

갑각류 골격근의 SR에서 칼슘유리 channel protein complex의 성격을 규명하기 위해 민물가재 및/또는 바다가재의 SR vesicles을 분리하여 $^{45}Ca$ 유리, $[^3H]ryanodine$결합, 및 immunoblot 실험을 실시하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1.민물가재 SR의 $[^3H]ryanodine$결합 실험에서 민물가재 SR의 maximal binding site및 affinity모두 바다가재에서 보다 낮았으나, high affinity binding site이었다. Extravesicles 칼슘농도를 증가시켰을 때 $[^3H]ryanodine$결합은 약간 증가되었으나, AMP나 AMP와 caffeine을 동시에 첨가하였을 때는 현저히 증가되었다(p<0.05). 이런 증가 현상은 $MgCl_2$나 tetracaine으로 유의성 있게 억제되었으나(p<0.001), ruthenium red에 의해서는 약간 억제되었다. 2.민물가재 SR을 전기영동하였을 때 바다가재의 ryanodine receptor band (HMWBr)와 비슷하나 포유류의 것(HMWBS) 보다는 약간 빠른 mobility를 나타낸다. 3.바다가재 HMWBr에 대한 polyclonal Ab를 이용한 민물가재, 바다가재 및 토끼 골격근의 칼슘유리 channel간의 면역학적 교차반응에서 민물가재와 바다가재의 칼슘유리 channel 간에는 교차반응이 있었으나, 포유류의 것과는 아무런 반응이 없었다. 4.민물가재 SR에서 $^{45}Ca$유리는 extravesicles의 칼슘농도 증가에 따라서 증가되었고, 낮은 외부 칼슘 농도에서 바다가재 보다 빠르게 일어났으나, AMP와 caffeine에 의해 영향을 받지 않았고, $MgCl_2$와 tetracaine으로 약간($3{\sim}8%$) 그리고 고농도의 ruthenium red로 중등도(23%) 억제되었다. 이상의 실험성적으로 갑각류 칼슘유리 channel protein은 포유류의 것과는 기능적으로나 면역학적으로 매우 다른 특징을 가지고 있고, 민물가재와 바다가재 칼슘유리 channel은 서로 유사한 특징을 갖지만, 민물가재의 칼슘유리 channel이 바다가재의 것보다 외부칼슘에 예민한 기능을 갖는 것으로 사료된다.

• 대한화학회지
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• 제49권1호
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• pp.78-82
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• 2005

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제32권11호
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• pp.3904-3908
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• 2011

A new octahedral Ru(III) complex with a tripodal tetraamine ligand, tpea = tris[2-(1-pyrazoyl)ethyl]amine, has been prepared and characterized. The single crystal X-ray crystallographic study of the complex revealed that the complex has a near octahedral geometry with the tetradentate ligand and two chloride ions. Peroxidase activity was examined by observing the oxidation of 2,2'-azinobis(3-ethylbenzothiazoline)-6-sulfonic acid (ABTS) with hydrogen peroxide in the presence of the complex. Amount of $ABTS^{+{\bullet}}$ generated during the reaction was monitored by UV/VIS and EPR spectroscopies. After the initiation of the peroxidase reaction, $ABTS^{+{\bullet}}$ concentration increases and then decreases after certain time, indicating that both ABTS and $ABTS^{+{\bullet}}$ are the substrates of the peroxidase activity of the Ru(III) complex.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제31권7호
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• pp.1956-1962
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• 2010

The formation of diverse spiral waves was studied in a polyacrylamide gel membrane with ruthenium(4-vinyl-4'-methyl-2,2'-bipyridine)bis(2,2'-bipyridine)bis(hexafluorophosphate) by a gas-free Belousov-Zhabotinisky (BZ) reaction system containing 1,4-cyclohexanedione (1,4-CHD). The gel membrane was found to be receptive for observing propagating waves since a clearer wave-train is obtained during a long reaction time without any disturbance from the immobilized metal catalyst which can be dissolved into the highly acidic solution of the BZ system. The distinctive waves in the system basically depend on both $BrO_3$ and 1,4-CHD in the initial phase, and are influenced by the intensity of illumination of visible light.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제28권10호
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• pp.1683-1688
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• 2007

This paper presents a novel simple method for introducing gold nanoparticles in a poly(4-vinylpyridine) (PVP) polymer layer over a glassy carbon (GC) electrode with the aim of forming a tunable electrochemical interface against a cationic ruthenium complex. Initially, AuCl4 ? ions were spontaneously incorporated into a polymer layer containing positively charged pyridine rings in an acidic media by ion exchange. A negative potential was then applied to electrochemically reduce the incorporated AuCl4 ? ions to gold nanoparticles, which was confirmed by the FE-SEM images. The PVP layer with an appropriate thickness over the electrode blocked electron transfer between the electrode and the solution phase for the redox reactions of the cationic Ru(NH3)6 2+ ions. However, the introduction of gold nanoparticles into the polymer layer recovered the electron transfer. In addition, the electron transfer rate between the two phases could be tuned by controlling the number density of gold nanoparticles.

• 전기화학회지
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• 제3권2호
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• pp.76-80
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• 2000

Electrochemical oxidation of ethanol has been studied at nickel and $RuO_2-modified$ nickel electrodes in 1 M KOH using electrochemical impedance spectroscopy. Equivalent circuits have been worked out from simulation of impedance data to model oxidation of ethanol as well as the passivation of the electrode. The charge-transfer resistances for oxidation of these electrodes became smaller in the presence of ethanol than in its absence. The nickel substrate facilitated ethanol oxidation at $RuO_2-modified$ nickel electrodes. We also describe the Performance of nanosized electrocatalysts of the same composition in comparison to those of the bulk electrodes. The nanosized electrodes were obtained by electrode-positing the alloy from complexed form of these metal ions with fourth and fifth generation polyamidoamine dendrimers.

• 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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• 한국조명전기설비학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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• pp.141-144
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• 2009

In this study, used simplest sandwich cells containing $Ru2^+$ liquid electrolytes in order to clarify the role of nanoporous $TiO_2$ electrodes. And, the cell structure is as follow: $F:SnO_2$ glass/ nanoporous $TiO_2$/ tris(2,2'-bipyridy)ruthenium(ll) colplex [$Ru(bpy)_3(PF_6)_2$] in acetonitrile/ $F:SnO_2$ glass. The result, we found that ECL intensities increased rapidly by use of cathodes with nanoporous $TiO_2$ layers. And, porous $TiO_2$ electrodes were confirmed to be efficient for ECL devices as well as solar cell devices. It is thought that the increases in the ECL intensities may be associated with both formation of $Ru^+$ in porous $TiO_2$ electrodes and the process taking place after reduction of $Ru^+$ which occurs in the nanoporous electrodes.