We have grown piezoelectric oxide films by RF magnetron sputtering using miscut substrates. Films were Brown on(001) $SrTiO_3$ substrates with miscut angles from 0 to 8 degrees toward the (100) direction. Films on high miscut substrates (>$4^{\circ}$) showed almost the pure perovskite phase in x-ray diffraction and were nearly stoichiometric. In contrast, films on exact (001) $SrTiO_3$ contained a high volume fraction of pyrochlore phases. A film on an $8^{\circ}$ miscut substrate exhibits a polarization hysteresis loop with a remnent polarization of 20$\mu$C/$\textrm{cm}^2$ at room temperature.
The phase stability and the Low Temperature Degradation(LTD) mechanism of Tetragonal Zirconia Polycrystals(TZP), sintered specimens of $Y_2O_3$-Stabilized Zirconia(2Y-TZP), doped with trivalent cations, were evaluated by investigating meachnical properties, Raman spectra, lattice parameter variation and the oxygen vacancy behavior under applied electric field. XRD observation was put forward on 2Y-TZP doped with trivalent cation whose ionic radii were larger than $Zr^{4+}(Sc^{3+},\;Yb^{3+},\;Y^{3+},\;Sm^{3+},\;Nd^{3+},\;La^{3+})$ up to 2 mol% and sintered at 1500 h for 1h. For $La^{3+}$ doping, the stability of tetragonal phase was degraded due to the formation of the pyrochlore phase $(La_2Zr_2O_7)$ as the dopant content increased above exceeded 0.5 mol%. As the dosage increased, tetragonal phase maintained for the case of $Sc^{3+}$, whose radius was similar to $Zr^{4+}$, on the other hand, the cubic phase was formed for the cases of $Yb^{3+},\;Y^{3+},\;Sm^{3+},\;Nd^{3+}$. As the radii of dopant cation increased, c/a ratio increased and it was experimentally observed that the amount of monoclinic phase decreased when the specimens were annealed at $220{\circ}C$ for 500 h.
PLZT thin films were prepared using sol-gel spin coating. The films mainly consisted of perovskite phase when heat treated at 600$^{\circ}C$ and in O2 or air atmosphere for 2 hours after 7 coating cycles. Cracks were formed when smaller than after 9 coating cycles. When ITO interlayer existed between Corning 7059 glass substrate and the film, cracks were not formed after 9 coating cycles, but cracks were formed after 11 coating cycles because of large volume change of the film contracting on the substrate during the heat treatment. In the observation of microstructure, the thin films have perovskite phase of about 2 $\mu\textrm{m}$ grain size and pyrochlore phase of 100∼200${\AA}$ grain size.
Sintering behavior, distribution of dopant oxides and electrical properties in the ZnO-Bi2O3-CoO-Sb2O3 and ZnO-Bi2O3-CoO-Sb2O3-Cr2O3 systems were studied. The linear shrinkage of ZnO varistors from 850 to 950$^{\circ}C$ was related to the decomposition reaction (py\longrightarrowsp+Bi2O3) of the pyrochlore phase. In the distribution of the dopant oxides (CoO, Sb2O3, Cr2O3), Co distribute uniformly throughout the sample, the distribution of Sb coincided with small particles (spinel phase, Zn7Sb2O12), and Cr distributed very consistently with Sb. The increase in breakdown voltage, due to the addition of Cr2O3, was not only attributed to the decrease in the ZnO grain size but also to the solution of Cr2O3 in the spinel phase. The leakage current (80% V60 ${\mu}\textrm{A}$) was increased by the addition of Cr2O3.
Some perovskites $A($Cu_{1}3}Nb_{2}3}$)O_3(A=$Sr^{2+}$$, $Ba^{2+}$ and $Pb^{2+}$) and their series of mixed perovskites have been prepared by solid state reaction. Single perovskite phase was obtained in Sr or Ba rich samples, but pyrochlore phase was found in Pb rich samples. The stability of perovskite phase is dependent on the ionicity of bonding as well as the tolerance factor. All the obtained perovskites have tetragonal symmetry distorted by Jahn-Teller effect of $Cu^{2+}$. In the case of $Sr(Cu_{1}3}Nb_{2}3})O_3$, some superlattice lines caused by threefold enlarging of fundamental unit cell were observed. And, the symmetry of B site octahedron and the bonding character of B-O bond have been studied by IR, ESR and diffuse reflection spectroscopy. It appeared that the symmetry and the bonding character are influenced by such factors as the size and the basicity of A cation.
Nano sized $(Pb_{0.5}Ca_{0.5})(Fe_{0.5}Nb_{0.5})O_3$ (PCFN) powders with the stoichiometric composition and the uniform size distribution were successfully synthesized by the metal-citrate process through the calcination of the polymeric precursor which consisted of the metal ions and the organic network. The crystallization of the initial amorphous powders began at $400{\circ}$ and completed at $700{\circ}$. The pyrochlore phase was detected caused by the dissociation of PbO above $900{\circ}$. Single phase perovskite PCFN powders with 40 nm size and uniform shape were obtained through the calcination at $700{\circ}$.
Effects of Ar ion damage prior to the phase transformation from pyrochlore to perovskite structure of PZT thin films have been investigated. As the degree of damage increased by increasing the acceleration voltage in the ion mass doping system, the phase transformation temperature decreased such that the temperature could be lowered down to 550$^{\circ}C$ when the film was damaged at 15 kV for 5 minutes. When the film was damaged prior to the heat treatment grain size of the perovskite thin films became less than 300${\AA}$. It turned out that relatively high value of the remanent polarization (about 30${\mu}$C/$\textrm{cm}^2$) as well as improvement of the fatigue characteristics to a large extent is closely related to the fine grain size of thus obtained PZT films.
The spin-casted PLZT(9/65/35) thin films through polymeric sol-gel process were prepared on Pt substrate. The crack-free, uniform and dense films were obtained by post-annealing at the temperature between 35$0^{\circ}C$ and $700^{\circ}C$. The composite structure mixed together with large grains called "rosette" and surrounding small grains were observed on the films annealed over $600^{\circ}C$. Pyrochlore phase was completely changed to perovskite phase above $600^{\circ}C$ with the increase of annealing temperature. Dielectric constant (k) was larger with the increase of film thickness and annealing temperature. from the measurements of dielectric constant as a function of measuring temperature, it was also observed that Curie temperature was shifted to higher temperature with the increase of film thickness and annealing temperature. The pyroelectric coefficient(P) of 10 times coated film annealed at $700^{\circ}C$ was 65 $\mu$C/$\textrm{cm}^2$.K.$.K.
The physical properties of 0.5PZT-0.5(PNN-PZN) ceramics have been investigated as a function of PZN content. A pyrochlore phase exists in the range of 600∼850$^{\circ}C$ and a stable perovskite phase appears above 850$^{\circ}C$. The piezoelectric properties (except electro-mechanical coupling factor) of 0.5PZT-0.5(PNN-PZN) ceramics showed almost linear relationships of PZN content within the range of 0.5PZT-0.5PNN system and 0.5PZT-0.5PZN system. The temperature dependence of piezoelectric constant, the electric field dependence of induced strain and a bend strength are improved by addition of PZN.
During the grain growth of the PZT thin films by selective nucleation method using PZT seed, it was found that the grain size was saturated with the annealing temperature. The saturation of grain size was analyzed by the interfacial energy which appeared during the crystallization. The factors affecting the saturation of grain size were found to be the interfacial energy between perovskite phase and pyrochlore phase, and PZT thin film and the bottom Pt electrode. When the ion damage was introduced to the grain-size saturated PZT thin films, further lateral growth was observed. Pt bottom electrode thickness was changed to control the interfacial energy between the PZT thin film and the Pt bottom electrode. When Pt thickness was increased, the grain size was also increased, because the lattice parameter of Pt films was increased with the thickness of the Pt films. The incubation time of nucleation was increased with the amount of the ion damage on the Pt films.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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