Laser-Induced Direct Copper Patterning Using Focused $Ar^+$ Laser Beam
(집속 아르곤 이온 레이저 빔을 이용한 레이저 유도 직접 구리 패터닝)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- 제13권11호
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- pp.969-975
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- 2000