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$Cl_2/BCl_3$/Ar 유도 결합 플라즈마에서 온도에 따른 $ZrO_2$ 박막의 식각 (Temperature Dependence on Dry Etching of $ZrO_2$ Thin Films in $Cl_2/BCl_3$/Ar Inductively Coupled Plasma)

  • 양설;김동표;이철인;엄두승;김창일
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.145-145
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    • 2008
  • High-k materials have been paid much more attention for their characteristics with high permittivity to reduce the leakage current through the scaled gate oxide. Among the high-k materials, $ZrO_2$ is one of the most attractive ones combing such favorable properties as a high dielectric constant (k= 20 ~ 25), wide band gap (5 ~ 7 eV) as well as a close thermal expansion coefficient with Si that results in good thermal stability of the $ZrO_2$/Si structure. During the etching process, plasma etching has been widely used to define fine-line patterns, selectively remove materials over topography, planarize surfaces, and trip photoresist. About the high-k materials etching, the relation between the etch characteristics of high-k dielectric materials and plasma properties is required to be studied more to match standard processing procedure with low damaged removal process. Among several etching techniques, we chose the inductively coupled plasma (ICP) for high-density plasma, easy control of ion energy and flux, low ownership and simple structure. And the $BCl_3$ was included in the gas due to the effective extraction of oxygen in the form of $BCl_xO_y$ compounds. During the etching process, the wafer surface temperature is an important parameter, until now, there is less study on temperature parameter. In this study, the etch mechanism of $ZrO_2$ thin film was investigated in function of $Cl_2$ addition to $BCl_3$/Ar gas mixture ratio, RF power and DC-bias power based on substrate temperature increased from $10^{\circ}C$ to $80^{\circ}C$. The variations of relative volume densities for the particles were measured with optical emission spectroscopy (OES). The surface imagination was measured by scanning emission spectroscope (SEM). The chemical state of film was investigated using energy dispersive X-ray (EDX).

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Trends in Epidemiology, Clinical and Histopathological Characteristics of Breast Cancer in Iran: Results of a 17 Year Study

  • Afsharfard, Aboulfazl;Mozaffar, Mohammad;Orang, Elahe;Tahmasbpour, Eisa
    • Asian Pacific Journal of Cancer Prevention
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    • 제14권11호
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    • pp.6905-6911
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    • 2013
  • Background: Breast cancer (BC) is the top cancer among women worldwide and the most frequent malignancy among Iranian women over the past few decades. The increasing trend and high mortality rate of BC in the developing world necessitates studies concentrating on its characteristics in countries in Asia. The current study focused on clinical and histopathological features of BC among Iranian females. Materials and Methods: This retrospective study involved 714 Iranian patients with histopathologically proven BC undergoing resection of primary tumours and axillary clearance. Demographic, clinical and histopathological data were obtained and studied between ten year age groups (${\leq}40$ years, 41-50 years, 51-60 years, 61-70 years, and ${\leq}71$ years) in four chronologic phases from 1994-2009. Results: Mean age of patients was $49.4{\pm}13.1$ years. Most of cases (33.2%) were in 41-50 group. Mean size of primary tumors was $3.94{\pm}2.47$ cm and 87.1% of cases had infiltrative ductal carcinoma. Modified radical mastectomy was the most common method of surgery carried out (48.8%). Some 57.1% of tumors were in pT2 and tumor size decreased significantly during the period (p<0.05). The most common BC stage was llla (27%). Lower BC stages (0 and 1) constituted 13.9% of the diagnosed tumors. Our series of patients aged ${\leq}40$ had larger tumors (mean $4.73{\pm}3.02$ cm) compared to older age groups (p=0.003). Lower stages (0 and I) were more frequent among the oldest patients while nearly 50% of patients aged ${\leq}40$ had tumor stage III. We also observed a significant decreasing trend in the mean LN count (p<0.05) and blood vessel invasion (p=0.023) from younger to older age groups. Conclusions: More aggressive disease for younger age groups, earlier peak incidence age and high rate of advanced BC at the time of diagnosis among Iranian women, were the main findings of this study.

잉크젯 프린팅 방식으로 형성된 구리 배선의 전기적 특성 평가 (Electrical Characteristics of Copper Circuit using Inkjet Printing)

  • 김광석;구자명;정재우;김병성;정승부
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제17권3호
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    • pp.43-49
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    • 2010
  • 직접인쇄기술 방식은 기존의 포토리소그래피 방법을 이용한 패터닝 기술에 비해 저비용, 간단한 공정 과정, 친환경성 등 여러 장점들로 인해 미세 회로 형성 분야의 그린 테크놀로지로 최근 각광받고 있다. 이러한 프린팅 기반의 전자기술을 상용화하기 위해서는 프린팅 방식으로 형성된 회로의 전기적 특성 평가가 필수적인데, 이에 본 연구에서는 구리 잉크를 이용하여 잉크젯 프린팅 방식으로 2 가지 타입, parallel transmission line(PTL)과 coplanar waveguide(CPW) 구조의 회로를 형성하고 $250^{\circ}C$에서 30분 동안 소결하여 완성하였다. 전류-전압 그래프로 직류 저항을 측정하여 벌크 구리의 비저항 값의 약 3.3배되는 평균 0.558 ${\mu}{\Omega}{\cdot}cm$의 비저항 값을 도출하였고 회로의 고주파 특성 평가를 위해 주파수 범위 0~30 GHz에서 probe station chuck과 샘플 간의 갭 유무에 따른 scattering parameter를 측정하였다. 모든 시편에서 5 dB 이하의 반사 특성을 보였으며, PTL 회로가 CPW 구조보다 전반적으로 더 좋은 통과 특성을 나타내었다.

신설 대학병원 행정직원과 기존 대학병원 행정직원의 갈등수준 비교 분석 (Comparison of Conflict Level among Administrative Department Staff between Newly Established and Existing University Hospitals)

  • 김종래;유승흠;손태용
    • 한국병원경영학회지
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    • 제3권1호
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    • pp.62-82
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    • 1998
  • The purpose of this study is to assess the cause and level of conflict arising within and between departments among administration office workers who work in a recently established tertiary hospitals of a major cooperation or related non-profit cooperation: The study also aimed to find methods for resolution of such conflicts by comparing with other existing university hospitals. The subject population included 299 business administration office workers randomly selected from two cooperate related tertiary hospitals of less than 3 years in its existence and two university hospitals over 700 beds in Seoul and Kyong In area. Data were collected through a survey questionnaire. To define related factors for the level of conflict among departments in each hospitals multivariate regression analysis was conducted. Independent factors were characteristics of subjects, conflicting factors within and between the departments. The results are as follows: 1. Those in the 30-39 rears of age group demonstrated significantly higher level of conflict between departments. Those working in the new hospitals, who were older and had long-term tenure, and those with short-term job experience at current working hospital had higher level of conflict between the departments with statistical significance. 2. Concerning the involvement of conflicting factors and the level of conflict in the administration there was statistically significant positive correlation between reliability and job-related intra- and interdepartmental level of conflict in existing hospitals. There was a significant positive correlation between intradepartmental conflicting factors of mutual dependence, difference in goal/orientation and intra- and interdepartmental level of conflict. 3. In multivariate regression analysis, women more than men, and those who had worked for many years in hospitals had statistically significant influence on factors involved in interdepartmental level of conflict, explaining 51.0% of the model. 4. In existing hospitals, gender was a significant factor with women showing a higher level of interdepartmental conflict compared to men. Among the interdepartmental factors, mutual dependence had statistically significant influence and showed a positive relationship with interdepartmental level of conflict. In the new hospitals, job position was a significant factor which showed that those in high position such as section chief or above, compared to those in managerial or general position had higher level of conflict. Among the interdepartmental characteristics, factors of mutual dependence and goal/orientation had statistically significant influence and showed a positive relationship with interdepartmental level of conflict. In the new hospital setting efforts to reduce conflict in areas among workers with high position, old age, and long tenure and those in Purchasing, Material and Computer Department should be made and prudent management and planning for improved manpower and increased budget or efficient allocation and clear definition of job description are necessary to adequately assess and make improved efforts for rapid stabilization of the premature hospital system from its inception, In the existing hospitals a lack of conflict within and between departments may give rise to stagnation or inefficiency of the organization. Future study are needed with respect to the relationship between interdepartmental level of conflict and the effectiveness of the hospital organization for improved resolution of conflict in the organization and hospital management.

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플랜트 생산 재활용 상온 혼합물의 도로 표층 적용성에 관한 기초연구 (Fundamental Study on the Application of a Surface Layer using Cold Central-Plant Recycling)

  • 최준성
    • 한국도로학회논문집
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    • 제20권1호
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    • pp.69-76
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    • 2018
  • PURPOSES : This study determined the optimal usage rate of RAP (reclaimed asphalt pavement) using cold central-plant recycling (CCPR) on a road-surface layer. In addition, a mixture-aggregate gradation design and a curing method based on the proposed rate for the surface-layer mix design were proposed. METHODS : First, current research trends were investigated by analyzing the optimum moisture content, mix design, and quality standards for surface layers in Korea and abroad. To analyze the aggregate characteristics of the RAP, its aggregate-size characteristics were analyzed through the combustion asphalt content test and the aggregate sieve analysis test. Moreover, aggregate-segregation experiments were performed to examine the possibility of RAP aggregate segregation from field compaction and vehicle traffic. After confirming the RAP quality standards, coarse aggregate and fine aggregate, aggregate-gradation design and quality tests were conducted for mixtures with 40% and 50% RAP usage. The optimum moisture content of the surface-layer mixture containing RAP was tested, as was the evapotranspiration effect on the surface-layer mixture of the optimum moisture content. RESULTS : After analyzing the RAP recycled aggregate size and extraction aggregate size, 13-8mm aggregate was found to be mostly 8mm aggregate after combustion. After using surface-chipping and mixing methods to examine the possibility of RAP aggregate segregation, it was found that the mixing method contributed very little for 3.32%, and because the surface-chipping method applied compaction energy directly as the maximum assumption the separation ratio was 15.46%. However, the composite aggregate gradation did not change. Using a 40% RAP aggregate rate on the surface-layer mixture for cold central-plant recycling satisfied the Abroad quality standard. The optimum moisture content of the surface-layer mixture was found to be 7.9% using the modified Marshall compaction test. It was found that the mixture was over 90% cured after curing at $60^{\circ}C$ for two days. CONCLUSIONS : To use the cold central-plant recycling mixture on a road-surface layer, a mixture-aggregate gradation design was proposed as the RAP recycled aggregate size without considering aggregate segregation, and the RAP optimal usage rate was 40%. In addition, the modified Marshall compaction test was used to determine the optimum moisture content as a mix-design parameter, and the curing method was adapted using the method recommended by Asphalt Recycling & Reclaiming Association (ARRA).

실내동결시스템을 이용한 노상토의 동상 특성 (The Frost Heaving Characteristics of Subgrade Soils Using Laboratory Freezing System)

  • 신은철;류병현;박정준
    • 한국도로학회논문집
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    • 제12권2호
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    • pp.71-79
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    • 2010
  • 겨울에는 시베리아기단의 영향으로 한랭 건조한 대륙성 고기압의 영향을 받아 춥고 건조하여 1월 평균기온이 $-6{\sim}-7^{\circ}C$의 영하의 온도로 낮아져 지반동결시 수분이동으로 동상현상이 발생하여 도로의 불균형 동결팽창을 초래하며, 결국 포장체를 파손시킨다. 동상발생시 토립자는 모관력에 의해 지하수를 흡수하여 아이스렌즈를 형성하며, 이 모관 흡수력은 토립자의 크기에 영향을 받는다. 도로는 다양한 재료와 단면으로 구성된 구조물이기 때문에 환경성과 재료 물성뿐만 아니라 포장체 각 층의 구조적 적정성 또는 지지력을 파악하는 것이 무엇보다 중요하다. 현재 기존 동상방지층 설계법에 따르면, 동상방지층은 포장체의 구조적 적정성과는 무관하게 온도 조건에 따른 동결깊이에 따라 일률적으로 결정되고 있다. 이러한 동결깊이를 포장구조설계에 적용함으로써 포장의 과다설계 우려가 있다. 따라서 본 논문에서는 도로 동상방지층의 효용성 검증 및 설치기준 확립을 위해 실내동결시스템을 활용하여 도로 노상토의 동상 특성에 대한 민감성을 판별, 도로건설 현장 노상토에 대한 역학적 특성과 실내 동결 시험을 수행하였으며, 외부 동결온도의 지속 조건에 대한 시료의 온도변화, 동상팽창압, 동상팽창량, 부동수분 등의 결과값을 통하여 동결 과정에 따른 지반공학적 특성을 평가하였다.

초등 교사의 SW교육 수업 전문성 개발 활동 형태 및 특성 (Types and Characteristics of Primary Teachers' Instructional Expertise Development Activities for Software Education)

  • 옥지현;안성진
    • 정보교육학회논문지
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    • 제22권5호
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    • pp.519-533
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    • 2018
  • 이 연구에서는 초등학교에서 SW교육 관련 내용을 지도하는 교사들의 수업 전문성 개발을 위해 참여하는 활동들에 대해 유형별로 분류하고, 최근 3년간 전문성 개발 활동 참여 정도, 활동 후 성과 등 전문성 개발 활동 형태 및 특성들에 대해 분석하였다. 초등 교사 276명이 설문에 참여하였고, 그 결과 집합으로 이루어지는 직무연수(96%), 원격으로 이루어지는 직무연수(96%)에 가장 많이 참여하였고, 컨설팅 장학 멘토링 동료관찰(82%), 관련부처 및 시도교육청 주관 강좌 워크숍 세미나(69%), 교과연구회(66%)등이 그 뒤를 이었다. 한편 비공식적 활동 중 독서가 가장 많았고, 유튜브, 깃허브 등 웹사이트 정보 활용(80%), 교사들의 전문성 계발 네트워크(76%)순으로 많이 참여 하는 것으로 나타났다. 또한 활동에 참여하는 이유로 대다수가 수업 전문성 향상을 위해서 활동에 참여하는 것으로 나타났으며, 활동 후 수업 전문성 향상 도움도, 직무역량 향상도, 현업적용도 및 수업 효능감, 긍정적 효과 정도에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 연구 결과가 SW교육 관련 교과 지도를 위한 초등교사의 수업 전문성 개발 활동의 교육적 가치를 증진 시킬 수 있는 지속적 전문성 개발 방안을 마련할 수 있는 토대를 제공할 것으로 기대한다.

성폭력 범죄의 공간적 분포 특성에 관한 연구: 환경범죄학에 기반한 공간 분석 (A Study on the Characteristics of the Spatial Distribution of Sex Crimes: Spatial Analysis based on Environmental Criminology)

  • 이건학;진찬우;김지우;김완희
    • 대한지리학회지
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    • 제51권6호
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    • pp.853-871
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    • 2016
  • 성폭력 범죄로 인한 피해 사례가 증가하면서 성폭력 범죄에 대한 예방과 사회적 안전 장치에 대한 국민적 관심이 증대되고 있다. 여러 가지 처벌적 조치들에도 불구하고 성폭력 범죄는 해마다 증가하고 있으며, 기존의 법적, 제도적 장치에 대한 범죄 예방의 실효성에 대한 의문이 제기되고 있다. 이에 대한 대안으로 최근 범죄학에서는 범죄가 발생할 수 있는 환경적 요인에 대한 설계와 관리를 통해 범죄의 기회를 감소시키고자 하는 환경범죄학적 접근이 각광받고 있다. 본 연구는 이러한 환경범죄학적 맥락에서 성범죄의 공간적 분포 특성을 살펴보고, 지역의 환경요인과 성폭력 범죄 발생의 상관성을 실증적으로 살펴보고자 한다. 이를 위해 여성가족부에서 공개하는 성범죄자알림e의 성범죄 정보를 활용하여 거시적 스케일에서의 성폭력 범죄 지도를 시각적으로 제시하고, 여러 공간 통계 기법을 통해 성폭력 범죄의 발생 분포와 공간 클러스터를 탐색하였다. 또한 지역의 다양한 환경 변수들과의 다변량 회귀분석을 통해 성폭력 범죄의 환경 특성 요인을 도출하였다. 본 연구의 결과는 우리나라의 성폭력 범죄의 현주소와 공간적 양상을 보다 실제적으로 이해하는데 도움을 줄 것이며, 성범죄 예방과 치안 강화를 위한 지역 정책 수립 및 방안 설정에 유용한 기초 자료가 될 수 있을 것으로 기대한다.

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실리콘 에피-웨이퍼 기반의 펄스감마선 검출센서 최적화 연구 (A Parametric Study of Pulsed Gamma-ray Detectors Based on Si Epi-Wafer)

  • 이남호;황영관;정상훈;김종열;조영
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제18권7호
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    • pp.1777-1783
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    • 2014
  • 본 연구에서는 전자장비 내방사화 기술의 새로운 효율적 접근방법인 전원제어형 방호장치에서 핵심 기능을 수행하는 고속 반도체 센서를 개발하고 그 특성을 분석하였다. 먼저, 펄스방사선에 의한 다이오드 내부에서의 생성 전하를 계산한 후 TCAD로 모델링하여 $42{\mu}m$ 진성층의 실리콘 에피텍시 웨이퍼 기반의 고속 신호탐지용 PIN 다이오드 센서를 다양한 구조로 설계하였다. PAL의 Test LINAC의 전자빔 변환 감마방사선 4.88E8 rad(Si)/sec에 대한 실측시험에서 소자의 면적에 비례하는 광감도와 응답속도 증가 결과를 얻었으며 포화특성과 소자의 균일성을 기준으로 2mm직경의 센서를 최적으로 판단되었다. 선정 센서를 대상으로 한 펄스감마선 고출력 범위(2.47E8 rad(Si)/sec~6.21E8 rad(Si)/sec)로 선량률 가변시험에서는 개발한 소자가 시험장치의 고 선량률 영역에서 전원제어 신호처리에 충분한 60mA 이상의 광전류 피크값과 함께 350 ns 이하의 고속 응답특성을 가지는 선형적 센서임을 확인하였다.

거제도 가라산·노자산 일대 낙엽활엽수림의 생태적 특성 규명 (Identification of ecological characteristics of Deciduous broad-leaved forest, Garasan(Mt.)·Nojasan(Mt.) at GeoJae)

  • 이수동;조봉교;이광규;염정헌;오충현
    • 한국환경생태학회지
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    • 제35권2호
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    • pp.204-219
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    • 2021
  • 본 연구는 남해안에 분포하는 양호한 산림 식생의 복원과 관리뿐만 아니라 장기적인 측면에서 기후변화에 따른 변화 경향을 파악하고자 가라산과 노자산 서사면에 분포하는 식생의 식물군집구조 특성을 조사·분석하였다. 86개 조사구를 대상으로 군락을 분류한 결과, 저지대를 중심으로 분포하는 곰솔-굴피나무군락, 곰솔-소나무군락, 계곡부 및 전석지대를 중심으로 출현하는 개서어나무-낙엽활엽수군락, 때죽나무-낙엽활엽수군락, 고로쇠나무-낙엽활엽수군락, 낙엽활엽수군락, 느티나무군락, 상대적으로 해발고가 높고 급경사 사면에 분포하는 졸참나무군락, 졸참나무-때죽나무군락, 때죽나무-소사나무군락, 참회나무군락으로 유형화되었다. 천이경향상 상록침엽수는 낙엽활엽수로의 천이가 진행될 것이나 수령이 약 50년인 개서어나무, 느티나무, 고로쇠나무 등 낙엽활엽교목림은 층위구조가 발달되었을 뿐만 아니라 생태적으로 안정되어 현재의 상태를 유지할 것으로 판단되었다. 환경요인으로는 표고, pH, 점토와 실트의 함량, Mg++, Ca++ 등이 식물 군락 분포에 직간접적으로 영향을 미치는 것으로 분석되었다.