• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제10권2호
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• pp.83-89
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• 2011

In this study, we investigated the effects of shutter control by Reactive Magnetron Sputtering using Inductively-Coupled Plasma(ICP) for obtaining ZnO thin films with high purity. The surface morphologies and structure of deposited ZnO thin films were characterized using Scanning Electron Microscopy (SEM), Atomic Force Microscopy (AFM) and X-ray Diffractometer (XRD). Also, optical and chemical properties of ZnO thin films were analyzed by Spectroscopic Ellipsometer (SE) and X-ray Photoelectron spectroscopy (XPS). As a result, it observed that ZnO thin films grown at reactive sputtering using shutter control and ICP were higher density, lower surface roughness, better crystallinity than other conventional sputtering deposition methods. For obtaining better quality deposition ZnO thin films, we will investigate the effects of substrate temperature and RF power on shutter control by a reactive magnetron sputtering using inductively-coupled plasma.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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• pp.367-368
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• 2007

To investigate the 2nO thin films which are interested in the next generation of short wavelength LEDs and Lasers and UV photodetector with p-type inversion layer, the ZnO thin films were deposited by RF sputtering system. Gas ratios and work pressure is Ar : $O_2$ = 4 : 1 and 15 mTorr, respectively, and the purity of ZnO target is 5N. The ZnO thin films were deposited at 300, 450, and $650^{\circ}C$. The current-voltage, responsivity and quantum efficiency of devices were studied and compared with each devices.

• 한국진공학회지
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• 제8권3A호
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• pp.249-255
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• 1999

Deposition characteristics of Cu thin films using Ar carrier gas and $H_2$ processing gas at various working pressures and substrate temperatures were investigated. Also, effects of $H_2$ pretreatment using plasma at $200^{\circ}C$ of substrate temperature and 0.6 Torr of chamber pressure were stdied. Cu thin films were deposited on TiN/Si substrate at working pressure of 0.5~1.5 Torr, substrate temperatures of 140~$240^{\circ}C$ with (hface)Cu(tmvs). Substrates were pretreated by $H_2$ plasma, and Cu films deposited in situ using twofold shower head. The purity, electrical resistivity, thickness, surface morphology, optical properties of the deposited Cu films were measured b the AES, four point probe, stylus profiler, SEM,. and the uv-visible spectrophotometer. This study suggests that $H_2$ plasma is an effective method for enhancing deposition rate and for producing high quality copper thin films.

• Journal of Microbiology
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• 제41권4호
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• pp.345-348
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• 2003

The bio-mediated production of calcite crystals by calcinogenic bacteria has great applicable value for the restoration of deteriorated calcareous monuments, because of its high purity and coherency. An investigation of the conditions for calcite production by an alkalophilic Bacillus amyloliquefaciens CMB01 strain was made. Optimal calcite precipitation occurred when the bacterium was cultured at pH 8.0 and 30$^{\circ}C$, and in B4 medium that consisted of 0.4% yeast extract, 0.5% glucose, and 1.5% calcium acetate. Calcium ion of the bacterially induced calcite was analyzed by an inductively coupled plasma (ICP) spectrophotometer. Optical and scanning electron microscopy (SEM) of the calcite revealed a typical rombohedral polycrystalline structure.

• 한국광학회지
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• 제1권1호
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• pp.28-32
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• 1990

방전가열형 구리증기레이저를 제작하였으며 그 동작특성을 조사하였다. 레이저관으로는 내경 25mm, 길이 106cm 인 고순도(99.8%) 알루미나관을 이용하였다. 방전전극은 molybdenum 튜브로 제작하였으며 전극간의 거리는 108cm 이었다. Ne 가스압력 40mbar, 충전전압 10kV, 반복률 5KHz, 레이저관 내부온도 $1500^{\circ}C$일 때 평균출력 10W를 얻었다.

• 대한약학회:학술대회논문집
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• 대한약학회 2003년도 Proceedings of the Convention of the Pharmaceutical Society of Korea Vol.1
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• pp.278.1-278.1
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• 2003

Recently, particular attention has been paid to the chiral separation of amino acid enantiomers because of their different biological activities. Hence, the high optical purity of aromatic amino acids is critical because of their important functions in the central nervous system. For the accurate chiral discrimination. we attempted to exploit the crosschecking each enantiomeric migraion orders of aromatic amino acids measured using (+)-18C6H4TA and (-)-18C6H4TA as the chiral selectors under pH 2.0, tris/citric acid buffer.

• 자원리싸이클링
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• 제23권1호
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• pp.25-32
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• 2014

본 연구에서는 metal organic chemical vapor deposition(유기금속화학증기증착, MOCVD) 장치로 부터 LED용 GaN epi 성장 시원료로 사용되는 트리메틸갈륨에 대해서 사용 후 잔량을 회수하고 정제하여 재이용할 수 있는 공정 및 시스템을 개발하고자 한다. 본 공정에서 회수된 트리메틸갈륨에 대해서 화학적, 구조적 특성 평가를 통해서 재이용 가능여부를 검토하였다. 먼저 ICP-MS, ICPAES를 이용하여 순도를 분석한 결과 7N(99.99999%)의 고순도 트리메틸갈륨임을 확인했으며, NMR 분석을 통해서 트리메틸갈륨의 구조적 변화를 확인한 결과, 구조 변화 없이 순수 $(CH_3)_3Ga$(트리메틸갈륨) 구조임을 확인하였다. 또한 회수 트리메틸갈륨에 대한 신뢰성 검토를 위해서 MOCVD 공정을 이용하여 u-GaN를 증착시키고, 결정 특성 평가 및 광학 전기적 특성 평가를 실시하였으며 그 결과, 재이용이 가능함을 알 수 있었다.

• 한국결정성장학회지
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• 제9권3호
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• pp.327-333
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• 1999

Ion implantation, photo-lithography, Ar ion milling, hot press를 이용한 micro-fabrication 방법으로 고순도 단결정 알루미나 표면에 Ca를 제한된 양으로 첨가하고, 내부에 여러 가지 형태의 기공을 갖는 bi-crystal을 만들었다. 이 bi-crystal 고순도 알루미나에 미치는 Ca의 영향을 평가하기 위하여 내부 기공의 형태 변화와 결정의 성장을 열처리에 따라 광학현미경으로 관찰하였다. 열처리에 따라 inner crack-like pore의 내부표면에 dot와 육각형의 형태를 갖는 결정 입자가 생성되는 것을 관찰할 수 있었다. $1,500^{\circ}C$로 열처리한 경우에 CaO . $6Al_2O_3$로 생각되는 bar 형태의 결정이 표면에 석출되는 것이 관찰되었으며, 이 결정이 $1,600^{\circ}C$에서 열처리하면 사라지는 것으로 보아 이 온도 부근에서 알루미나에 대한 Ca의 solubility limit 또는 diffusion rate가 변화하는 것으로 생각된다.

• 농약과학회지
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• 제8권1호
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• pp.1-7
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• 2004

화본과 제초제의 대표적인 화합물인 광학활성 fenoxaprop-p-ethyl[ethyl(R)-2-{4-(6-chloro-1,3-benzoxazol-2-yloxy)phenoxy}propionate]을 4-(6-chloro-1,3-benzoxazol-2-yloxy)phenol과 ethyl (S)-O-(p-toluenesulfonyl)lactate의 치환반응(Walden Inversion)을 이용하여 90%의 수율(광학활성순도 : 99.9% 이상)로 얻었다. 4-(6-chloro-1,3-benzoxazol-2-yloxy)phenol은 기초적인 원료인 아미노페놀, 우레아, 클로린, 유황 등을 자일렌, 메탄올, 디클로로에탄 등의 용매를 사용하여 6단계의 반응을 거처 70% 의 수율로 합성하였다.

• 대한화학회지
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• 제28권5호
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• pp.271-278
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• 1984

염기성 용액에서 기계적으로 연마한 고순도 철의 전위를 환원 전위로부터 부동화 전위로 급격히 변화시켜서 부동화 막이 전극표면에 형성되게 하면서 철의 반사율 변화와 타원편광반사법(Ellipsometry) 측정을 하였다. 철 표면이 부동화 될때 일어나는 반사광의 편광 파라메터(${\Delta},\;{\psi}$)와 반사율(R) 변화를 자동화된 타원편광반사계로 기록하였고, 이로부터 철을 부동화 상태에 들어가게 하는 표면막의 두께(${\tau}$)와 광학상수(n, k)들의 변화하는 값을 계산할 수 있었다. 광학상수 값들로 나타나는 막의 성질이 시간에 따라 급격한 전이를 하는 것은 관찰되지 않았으며, 비교적 짧은 시간(수초)내에 정상 상태 값에 접근하였다. 효과적으로 부동화를 일으키는 막의 두께는 $14\;{\sim}\;23{\AA}$의 범위에 있었다. 형성된 부동화 막은 용액의 pH가 큰 경우에는 얇고 치밀한 구조를 가진 것으로 보이며, pH가 작은 경우에는 두께는 두껍지만 pH가 큰 경우보다 덜 치밀한 부동화 막이 형성되는 것으로 보였다. 이들 부동화 막은 약간의 흡광성을 가지는 것으로 나타났다.