Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.382-382
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2010
$TaO_2$ thin films as gate dielectrics have been proposed to overcome the problems of tunneling current and degradation mobility in achieving a thin equivalent oxide thickness. An extremely thin $SiO_2$ layer is used in order to separate the carrier in MOSFETchannel from the dielectric field fluctuation caused by phonons in the dielectric which decreases the carrier mobility. The electronic and optical properties influenced the device performance to a great extent. The atomic structure of amorphous and crystalline Tantalum oxide ($TaO_2$) gate dielectrics thin film on Si (100) were grown by utilizing atomic layer deposition method was examined using Ta-K edge x-ray absorption spectroscopy. By using X-ray photoelectron spectroscopy and reflection electron energy loss spectroscopy (REELS) the electronic and optical properties was obtained. In this study, the band gap (3.400.1 eV) and the optical properties of $TaO_2$ thin films were obtained from the experimental inelastic scattering cross section of reflection electron energy loss spectroscopy (REELS) spectra. EXAFS spectra show that the ordered bonding of Ta-Ta for c-$TaO_2$ which is not for c-$TaO_2$ thin film. The optical properties' e.g., index refractive (n), extinction coefficient (k) and dielectric function ($\varepsilon$) were obtained from REELS spectra by using QUEELS-$\varepsilon$(k, $\omega$)-REELS software shows good agreement with other results. The energy-dependent behaviors of reflection, absorption or transparency in $TaO_2$ thin films also have been determined from the optical properties.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.451-451
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2010
최근들어 80인치 이상의 대경 고화질 display 및 휴대용 projection display 제작이 가능한 LCoS (Liquid Crystal on Silicon) display에 대한 관심이 높아지고 있다. LCoS projection display는 높은 개구율, 빠른 응답속도, 고화질, 대형 디스플레이 임에도 불구하고 낮은 제조단가 등의 여러 가지 장점을 가지고 있다. LCoS projection display의 핵심 기술로는 높은 투과도와 낮은 반사율을 갖는 유리기판, 무기 배향막 증착 기술, Si back plane과의 접합기술 등이 있다. 이 중 LCoS projection display 제작을 위한 첫 단계인 유리기판은 가시광선 영역에서 96% 이상의 높은 투과도와 3% 미만의 반사도를 요구하는 기술을 필요로 한다. 본 연구에서는 indium이 doping된 tin oxide (ITO)를 투명 전도성막으로 사용하고, $SiO_2/MgF_2$ 이중 박막을 반사방지막으로 채택하여 고투과도 및 저반사율을 갖는 유리기판 제조에 응용하였다. 먼저 15nm 두께의 ITO 박막을 DC sputtering을 이용하여 8-inch 크기의 corning1737 유리기판 상에 증착한 후, 그 반대편에 e-beam evaporation 장비를 사용하여 120nm 두께의 반사 방지막을 증착하였다. 또한 유리기판 상에 증착된 투명 전도성막의 표면개질을 위하여 Ar plasma를 이용하여 treatment를 수행하였다. 이 때 sputtering 조건은 DC power, Ar 유량 및 압력을 조절함으로서 높은 투과도를 갖는 최적의 조건을 구현하였고, e-beam evaporation을 이용한 반사방지막 증착 조건은 $SiO_2$와 $MgF_2$의 계면에서 빛의 반사를 최소화할 수 있는 최적의 조건을 구현하였다. 제작된 유리기판은 가시광선 영역에서 97% 이상의 투과도를 보였으며, 최대 2.8%의 반사율을 보여, LCoS display 제작에 적합함을 확인할 수 있었다. 또한 Ar plasma 처리 후 ITO 박막의 면저항 값은 $100\;{\omega}/{\Box}$, 표면 거칠기는 rms 값 기준 0.095nm, 접촉각 $20.8^{\circ}$의 특성을 보여, 타 index matched transparent conducting oxide가 coating된 유리기판에 비해 우수한 특성을 보였다.
Omega-3 fatty acid, docosahexaenoic acid(DHA) is found in a high proportion in the structural lipids of cell membranes, in particular those of the central nervous system and the retina. Diet-induced changes in fatty acid composition in these tissues may affect physiochemical functions. This study was conducted to investigate whether supplements of DHA in infant formula has an effect on the composition of fatty acids in erythrocytes with regard to brain development. Experimental groups were breastmilk group(n=21), placebo formula group(n=15), and DHA supplemented formula (0.26%) group(n=16). Infants were selected by mothers who deliverecdd at Kyung Hee medical center from February to April, 1996. Infant body weight, length, and head circumference were similar among the experimental groups at 16 weeks of age. The levels of DHA in breastmilk, placebo formula, and DHA supplemented formula were 0.56, 0, and 0.26% of total fatty acids, respectively. There was a significant correlation between dietary DHA intake and erythrocyte DHA levels. The levels of arachidonic acid did not differ among the three expermental groups. The result of flash visual evoke potential(VEP) test was correlated with the erythrocyte levels and dietary DHA levels at 16 weeks of age. No other fatty acid was correlated with VEP test results. No differences were found in Bayley Mental and Psychomotor Development Index scores among the three groups at 20 weeks of age. DHA seems to be an essential nutrient for optimum growth and maturation of term infants. Relatively small amounts of dietary DHA supplementation significantly elevate DHA supplementation significantly elevate DHA content in erythrocytes, which in turn has an implication for better scores for infant's VEP test. Whether supplementation of formula-fed infants with DHA has long-term benefits remains to be elucidated.
Abdel-Khalek, H.;El-Samahi, M.I.;Salam, Mohamed Abd-El;El-Mahalawy, Ahmed M.
Current Applied Physics
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v.18
no.12
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pp.1496-1506
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2018
Organic/inorganic ultraviolet photodetector was fabricated using thermal evaporation technique. Organic/inorganic heterojunction based on thermally evaporated copper (II) acetylacetonate thin film of thickness 200 nm deposited on an n-type silicon substrate is introduced. I-V characteristics of the fabricated heterojunction were investigated under UV illumination of intensity $65mW/cm^2$. The diode parameters such as ideality factor, n, barrier height, ${\Phi}_B$, and reverse saturation current, $I_s$, were determined using thermionic emission theory. The series resistance of the fabricated diode was determined using modified Nord's method. The estimated values of series resistance and barrier height of the diode were about $0.33K{\Omega}$ and 0.72 eV, respectively. The fabricated photodetector exhibited a responsivity and specific detectivity about 9 mA/W and $4.6{\times}10^9$ Jones, respectively. The response behavior of the fabricated photodetector was analyzed through ON-OFF switching behavior. The estimated values of rise and fall time of the present architecture under UV illumination were about 199 ms and 154 ms, respectively. Finally, enhancing the photoresponsivity of the fabricated photodetector, post-deposition plasma treatment process was employed. A remarkable modification of the device performance was noticed as a result of plasma treatment. These modifications are representative in a decrease of series resistance and an increase of photoresponsivity and specific detectivity. The process of plasma treatment achieved an increment of external quantum efficiency from 5.53% to 8.34% at -3.5 V under UV illumination.
Do K. W.;Yang C. M.;Kang I. S.;Kim K. M.;Back K. H.;Cho H. I.;Lee H. B.;Kong S. H.;Hahm S. H.;Kwon D. H.;Lee J. H.;Lee J. H.
Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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2005.09a
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pp.193-196
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2005
Low resistance Ni thin films for using NiSi formation and metallization by atomic layer deposition (ALD) method have been studied. ALD temperature window is formed between $200^{\circ}C\;and\;250^{\circ}C$ with deposition rate of $1.25{\AA}$/cycle. The minimum resistance of deposited Ni films shows $4.333\;{\Omega}/\square$ on the $SiO_2/Si$ substrate by $H_2$ direct purging process. The reason of showing the low resistance is believed to be due to format ion of the $Ni_3C$ phase by residual carbon in Bis-Ni The deposited film exhibits excellent step coverage in the trench having 1(100 nm) : 16 (1.6 um) aspect ratio.
Objective: The objective of this study was to evaluate the physicochemical, sensory and taste characteristics of commercial, frozen, dry, and wet aged Hanwoo sirloin. Methods: Grade 2 sirloin from 6 Hanwoo steers (about 30 months old) were obtained after 5 days postmortem. Samples were assigned to four groups which were commercial beef (CON, control group), frozen beef (Hanwoo frozen, HF; 40 days in $-18^{\circ}C$ freezer), wet-aged beef (Hanwoo wet-aging, HW; 21 days), and dry-aged beef (Hanwoo dry-aging, HD; 40 days). HW and HD were stored in a $80%{\pm}5%$ relative humidity cooler at $1^{\circ}C$. Results: The HF group showed a significantly higher cooking loss and expressible drip with significantly higher pH compared to other groups. In addition, protein and fat contents in the HD group were higher than those in other groups (p<0.05). The shear forces in the HW and HD groups were significantly lower than those in the CON group. The HD group had significantly higher omega-3 and polyunsaturated fatty acids compared with other groups. Glutamic acid levels in the HD group were significantly higher compared with those in other groups. Electronic tongue analysis revealed that sourness of the HD group was lower than that of other groups, whereas the HD group showed significantly higher umami, richness, and saltiness compared to other groups (p<0.05). Sensory test results revealed that the HW group had significantly higher tenderness, while the HD group had significantly higher chewiness, juiciness, and overall acceptability scores. Conclusion: These results suggest that both wet- and dry-aging treatments can effectively improve sensory characteristics, and dry-aging was much more useful to enhance umami tastes and meat quality of 2 grade Hanwoo sirloins.
Fish oil consists of omega-3 fatty acids which play an important role in human health. Its susceptibility to oxidation causes considerable degradation during the processing and storage of food products. Accordingly, encapsulation of this ingredient through freeze drying was studied with the aim of protecting it against environmental conditions. Gum arabic (GA) was used as the wall material for fish oil nanoencapsulation where tween 80 was applied as the emulsifier. A water-in-oil (W/O) emulsion was prepared by sonication, containing 6% fish oil dispersed in aqueous solutions including 20% and 25% total wall material. The emulsion was sonicated at 24 kHz for 120 s. The emulsion was then freeze-dried and the nanocapsules were incorporated into probiotic fermented milk, with the effects of nanocapsules examined on the milk. The results showed that the nanoparticles encapsulated with 25% gum arabic and 4% emulsifier had the highest encapsulation efficiency (EE) (87.17%) and the lowest surface oil (31.66 mg/100 kg). Using nanoencapsulated fish oil in fermented milk significantly (p<0.05) increased the viability of Lactobacillus plantarum as well as eicosapentaenoic acid (EPA) and docosahexaenoic acid (DHA) contents. The fermented milk sample containing fish oil nanoencapsulated with 25% wall material and 4% emulsifier yielded the greatest probiotic bacterial count (8.41 Log CFU/mL) and the lowest peroxide value (0.57 mEq/kg). Moreover, this sample had the highest EPA and DHA contents. Utilizing this nanoencapsulated fish oil did not adversely affect fermented milk overall acceptance. Therefore, it can be used for fortification of low fat probiotic fermented milk.
Objectives: This study aimed to investigate the changes in the eating habits and lifestyle of middle-aged women in Gwangju during the COVID-19 pandemic. Methods: A total of 428 middle-aged women aged between 40 and 60 participated in a survey relating to general information, food and lifestyle, health functional food, and menopausal symptoms. The correlation between the variables was analyzed. Results: In the positive habits, the intake of nutritional supplements for immunity enhancement increased the most, followed by the use of media to learn healthy eating tips, and diets including healthy food. Negative habits increased in the order of frequency of taking delivery orders, levels of stress or anxiety, and time spent sitting or watching movies. In the case of recommended foods, the intake increased the most in the order of eggs, fruits, vegetables, milk/dairy products, and seaweed. Non-recommended foods increased in the order of meat, bread, rice, and noodles. The awareness of health functional foods was in the increasing order of interest, knowledge, consumption experience, and purchase amount. The type of health functional food intake was in the increasing order of probiotics, multivitamin and mineral supplements, vitamin C, collagen, and omega-3. Menopausal symptoms were in the increasing order of bone and joint pain, poor sleep quality, emotional ups and downs, loneliness, and feeling of emptiness. In the correlation of major variables, positive habits showed a significant positive correlation with recommended food intake and the recognition of health functional foods. Negative habits showed a significant positive correlation with non-recommended food intake and a significant positive correlation with menopausal symptoms. Recommended food intake showed a significant positive correlation with health functional food recognition and intake and menopausal symptoms. Conclusions: This study suggests that it is necessary to establish social measures to reduce the negative effects of the COVID-19 pandemic on middle-aged women and to ensure effective self-management through a healthy lifestyle since the pandemic has a long-term impact.
Recently, the requirement for the ultra thin copper foil increases with smaller and miniaturized electronic components. Therefore, it is important to examine the surface state of substrate depending on the processing parameter during the anodic oxidation. This study investigated the effect of the various electrolyte concentrations on anodizing of titanium anode prior to copper electrodeposition. Different surface morphology of anodized titanium was obtained at different electrolytic concentration 0.5 M to 3.0 M. In addition, the effect that the surfaces and the electrical characteristics on the electrodeposited copper layer was observed. In this study, surface anodized in the group containing 0.5M $H_2SO_4$ shows more uniform copper crystals with low surface roughness. the surface roughness and sheet resistance for 0.5M $H_2SO_4$ group were $1.353{\mu}m$ and $0.104m{\Omega}/sq$, respectively.
Electrochemical characteristics of Ti-30Ta-xZr alloys coated with HA/TiN by using magnetron sputtering method were studied. The Ti-30Ta containing Zr(3, 7, 10 and 15wt%) were 10 times melted to improve chemical homogeneity by using a vacuum furnace and then homogenized for 24hrs at $1000^{\circ}C$. The specimens were cut and polished for corrosion test and coating, and then coated with HA/TiN, respectively, by using DC and RF-magnetron sputtering method. The analyses of coated surface and coated layer were carried out by using optical microscope(OM), field emission scanning electron microscope(FE-SEM) and X-ray diffractometer(XRD). The electrochemical characteristics were examined using potentiodynamic (-1,500 mV~ + 2,000 mV) and A.C. impedance spectroscopy(100 kHz ~ 10 mHz) in 0.9% NaCl solution at $36.5{\pm}1^{\circ}C$. The microstructure of homogenized Ti-30Ta-xZr alloys showed needle-like structure. In case of homogenized Ti-30Ta-xZr alloys, a-peak was increased with increasing Zr content. The thickness of TiN and HA coated layer showed 400 nm and 100 nm, respectively. The corrosion resistance of HA/TiN-coated Ti-30Ta-xZr alloys were higher than that of the non-coated Ti-30TaxZr alloys, whic hindicate better protective effect. The polarization resistance($R_p$) value of HA/TiN coated Ti-30Ta-xZr alloys showed $8.40{\times}10^5{\Omega}cm^2$ which was higher than that of non-coated Ti-30Ta-xZr alloys.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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