• 마이크로전자및패키징학회지
• /
• 제28권1호
• /
• pp.39-46
• /
• 2021

Cu 배선(interconnect) 적용을 위한 다층박막의 적층 구조에 따른 최적 계면접착에너지(interfacial adhesion energy, Gc) 평가방법을 도출하기 위해, Ta, Cu 및 tetraethyl orthosilicate(TEOS-SiO2) 박막 계면의 정량적 계면접착에너지를 double cantilever beam(DCB) 및 4-점 굽힘(4-point bending, 4-PB) 시험법을 통해 비교 평가하였다. 평가결과, Ta확산방지층이 적용된 시편(Cu/Ta, Cu/Ta/TEOS-SiO2)에서는 두 가지 평가방법 모두 반도체 전/후 공정에서 박리가 발생하지 않는 산업체 통용 기준인 5 J/㎡ 보다 높게 측정되었다. Ta/Cu 시편의 경우 DCB 시험에서만 5 J/㎡ 보다 낮게 측정되었다. 또한, DCB시험 보다 4-PB시험으로 측정된 Gc가 더 높았다. 이는 계면파괴역학 이론에 따라 이종재료의 계면균열 선단에서 위상각의 증가로 인한 계면 거칠기 및 소성변형에 의한 에너지 손실이 증가 하는것에 기인한다. 4-PB시험결과, Ta/Cu 및 Cu/Ta계면은 5 J/㎡ 이상의 높은 계면접착에너지를 보이므로, 계면접착에너지 관점에서는 Ta는 Cu배선의 확산방지층(diffusion barrier layer) 및 피복층(capping layer)으로 적용 가능할 것으로 생각된다. 또한, 배선 집적공정 및 소자의 사용환경에서 열팽창 계수 차이에 의한 열응력 및 화학적-기계적 연마 (chemical mechanical polishing)에 의한 박리는 전단응력이 포함된 혼합모드의 영향이 크므로 4-PB 시험으로 측정된 Gc와 연관성이 더 클 것으로 판단된다.

• 한국연소학회:학술대회논문집
• /
• 한국연소학회 2006년도 제32회 KOSCO SYMPOSIUM 논문집
• /
• pp.75-78
• /
• 2006

Disposal of highly toxic wastes like polychlorinated biphenyls (PCBs) is very difficult. These substances create a growing mountain of problematic waste that has to be disposed properly. Conventional technologies that are based on common burning(rotary kiln, ${\sim}1100^{\circ}C$) and plasma technology(${\sim}10000^{\circ}C$) do not satisfy important conditions. for example, complete combustion of the toxic waste and the price of waste disposal. The combustor like a rocket engine is operated at relatively high pressure(${\sim}15$ bar) and relatively high temperature(>$3000^{\circ}C$) that are ideal for the complete destruction of extremely toxic substances. In this study, test compound($_o-DCB$) was dissolved in kerosine with a concentration of 10%. Pure gas oxygen was used as an oxidant. Analysis showed that the destruction efficiency achieved for ${o}-DCB$ was 99.9999% or better. The results show that a combustor based on liquid propllant rocket technology is a validated tool for the disposal of highly toxic waste, and a good alternative technology when applied to the destruction of extremely toxic wastes.

• 대한환경공학회지
• /
• 제22권1호
• /
• pp.91-101
• /
• 2000

휘발성 유기화합물 (VOCs)은 하수처리장, 위생 매립지, 자동차, 산업활동 등에서 주로 발생 되는데, 인간에게 독성 또는 발암성 물질로 작용하며 광화학 반응에 의해 오존 생성의 주역할을 하고 있다. 하수처리장의 VOCs의 배출량을 조사하기 위해, 미국 LA시의 Hyperion 하수처리장을 선택하여 배출되는 VOCs 의 종류와 Flux를 계산하여 측정값과 비교하였다. 조사결과, 하수와 관련이 있고 자동차 연소 혹은 해양의 공기와는 관련이 없는 화합물 (DCM, TCM, PCE, LIM, DCB, UND) 의 포기조 상공 바로 뒤의 풍하위치에서 이들 화합물의 농도는 풍상보다 최소 열 배 이상 높았다. 상대적으로 생분해가 늦거나 생분해가 되지 않는 화합물인 DCE, DCM, TCA, DCA, TCM, PCE, DCB의 측정 Flux는 포기조에 공급된 포기량, 헨리의 계수, 포기조내의 액상농도를 기초로 하여 계산된 Flux와 잘 일치하였다. PCE, DCE, TCA와 같은 화합물의 Flux비(측정/계산)는 거의 1이었다.

• 공업화학
• /
• 제19권3호
• /
• pp.259-263
• /
• 2008

소각로에서 발생한 다이옥신 및 질소산화물 제거용 폐탈질 촉매($V_2O_5/TiO_2$)의 비활성화 원인을 규명하고자 반응 활성 실험 및 물리 화학적 특성 분석을 수행하였으며, 다양한 재생방법을 통한 폐탈질 촉매의 재생효율을 연구하였다. 고정층 실험 결과 $260^{\circ}C$를 기준으로 약 60% 정도 질소산화물 제거 활성 차이를 보였으며, 허니컴 실험의 경우 1, 2-Dichlorobenzen (1, 2-DCB) 분해효율이 $200^{\circ}C$에서 약 14% 정도 차이가 나타났다. 또한 촉매의 비활성화 원인을 연구하기 위해서 신촉매와 폐촉매에 대하여 XRD, TGA, 그리고 ICP의 특성 분석을 실시한 결과 황산 암모늄염, 중금속(Pb, As 등), 전이금속(Fe 등), 알칼리 금속(Ca), 그리고 상전이가 촉매의 비활성화 원인으로 조사되었다. 또한, 폐촉매의 재생을 위해 다양한 방법으로 처리한 결과 수세과정을 배제한 공기분위기에서 열처리한 경우 우수한 재생효과를 나타내었다.

• 청정기술
• /
• 제6권2호
• /
• pp.121-127
• /
• 2000

소각로 배가스중에는 분진, 산성가스, 중금속, 다이옥신 등의 여러 유해물질이 함유되어 있다. 이러한 유해가스 중의 다이옥신을 제거하기 위한 방법중의 하나인 활성탄의 흡착을 이용한 유해물질 제거 방법의 효율을 조사하였다. 다이옥신의 전구물질인 1,2-dichlorobenzene (o-DCB)를 사용하였으며 기존의 소각로에 추가 설비가 필요 없이 활성탄을 반건식 반응기에서 소석회와 함께 분무하고 백필터로 여과하는 공정에 대하여 반응기 운전 온도, atomizer r.p.m., 활성탄 양 변화에 대한 효율을 조사하였다. 실험결과 소석회와 활성탄 분무를 위한 atomizer의 rpm이 클수록, 즉 분무 입자 크기가 작을수록 제거 효율은 증가하였고 반건식 반응기에서의 배가스 유출온도는 백 필터의 유입온도에 준하여 결정하는 것이 타당하며 $145^{\circ}C$로 유지하는 것이 필요하였다. 또한 백필터에서의 제거효율이 반건식 반응기에서의 제거효율보다 높음을 알 수 있었다.

• 한국식품영양과학회지
• /
• 제28권3호
• /
• pp.511-519
• /
• 1999

To prevent the denaturation of ficin(EC 3.4.22.3) that is a proteolytic enzyme in fig(Ficus carica L.), fig conserve was heated to 55oC. The fig conserve was added as a tenderizer to native Korean cattle beef(KCB), dairy cattle beef(DCB), castrated dairy cattle beef(CDCB), and imported beef(IB). The composition of free amino acids, hydroxyproline content, shear force, cooking loss, morphological changes and sensory evaluation were then investigated to observe the effect of tenderizing beef with fig conserve. Free amino acids and cooking loss of treated beef were higher than those of control, whereas hydroxyproline and shear force were lower. Glutamine in treated beef decreased relatively but asparagine increased. Hydroxyproline was found, in increasing order of abundance, in DCB, CDCB, IB and KCB. By portion, loin was higher than tenderloin in free amino acids, hydroxyproline and shear force but was lower in cooking loss. Observation with a light microgram revealed a surprising loss of muscle fiber in treated beef. In sensory evaluation of uncooked beef, the control was redder than the treated beef(p<0.01~p<0.05). Treatment with fig conserve increased the juiciness of both cooked CDCB and IB(p<0.001) and decreased their hardness(p<0.01~p<0.001).

• 대한화학회지
• /
• 제40권7호
• /
• pp.501-508
• /
• 1996

염기성 용액속에서 cis-${\beta}-[Co(3,2,3,-tet))CO_3\;or\;C_2O_4)]^+$ (3,2,3-tet=4,7-diazadecane-1,10-diamine)에 대한 Carbonato 혹은 Oxalato 리간드의 고리열림반응이 수용액 및 유기용매-물혼합용매속에서 조사되었다. 그 결과 cis-${\beta}-[Co(3,2,3,-tet))CO_3\;or\;C_2O_4)]^+$에서 킬레이트된 $CO_3^{2-}$ 혹은 $C_2O_4^{2-}$의 두 개의 산소원자 중 한 개가 해리하여 $OH^-$가 치환되고 3,2,3,-tet의 재배열이 일어나 cis-${\alpha}[Co(3,2,3,-tet)(OH)(OCD_2\;or\;OC_2O^3)]$가 생성되었고, 반응은 해리성인 Dcb(dissociative conjugated base) 메카니즘으로 진행되었다. 연이어 $C_2O_4^{2-}$ 혹은 $CO_3^{2-}$의 나머지 한 개의 산소원자가 해리하여 cis-${\alpha}-[Co(3,2,3-tet)(OH)_2]^-$가 생성되었고 이것은 다시 cis-${\beta}-[Co(3,2,3-tet)(OH)_2]^+$로 이성질화 반응이 일어났다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
• /
• 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집
• /
• pp.152-152
• /
• 2009

유기태양전지 Solvent인 1-2-Dichlorobenzene(DCB)에 1-Bromonaphtalene(BN)을 첨가하여 Air분위기에서 ZnO film을 이용한 유/무기 복합 태양전지를 만들었다. 셀의 구조는 ITO/ZnO nanofilm/Poly(3-hexylthiophene(P3HT):[6,6]-Phenyl C60-Butyric acid methyl ester(PCBM)/PEDOT:PSS/Ag로 제작했다. 두께 70nm ZnO film은 전기화학적 방법으로 ITO위에 전착하였다. AM1.5조건에서 Solar simulator로 측정한 결과 BN을 첨가한 셀에서 Jsc값이 증가되었다. Jsc값의 증가는 BN이 결정화를 향상시켜 효율이 증가됨을 확인하였다.

• 전자공학회논문지SC
• /
• 제48권2호
• /
• pp.28-34
• /
• 2011

이전 보고에서 우리는 오직 포토리소그래피(photolithography) 공정만을 이용하여 단일벽 탄소 나노튜브 (single-walled carbon nanotube; SWCNT)를 산화막 (silicon-dioxide; $SiO_2$)이 형성된 실리콘 (silicon; Si) 기판위에 선택적으로 흡착시키는 공정 방법에 대해 조사했었다. 본 논문에서, 우리는 위에서 설명한 기법을 이용하여 단일벽 탄소 나노튜브 채널을 가진 전계효과 트랜지스터 (field emission transistor; FET)를 제작하였다. 또한, 제작된 단일벽 탄소 나노튜브 기반 전계효과 트랜지스터 소자의 게이트 전압에 따른 전류 전압특성이 조사되었다. 이 전계효과 트랜지스터는 센서로서 작동될 수 있다. 포토리소그래피 공정에 의해 열산화막이 형성된 실리콘 기판 표면위에 단일벽 탄소 나노튜브가 흡착될 부분(채널부분)의 포토레지스트가 노출되도록 포토레지스트 패턴이 형성된다. 이 포토레지스트 패턴이 형성된 기판은 단일벽 탄소 나노튜브가 분산된 다이클로로벤젠 (dichlorobenzene; DCB) 용액 속에 담가진다. 남아 있는 포토레지스트 패턴이 아세톤에 의해 제거 되면, 결과적으로 채널부분 (소오스와 드레인 전극사이) 에 선택적으로 단일벽 탄소 나노튜브 채널이 형성된다. 이 간단한 가기 조립 기술이 이용됨으로써 우리는 단일벽 탄소 나노튜브 채널을 가진 4개의 전계효과 트랜지스터 어레이를 성공적으로 제작하였다.

• 한국지하수토양환경학회:학술대회논문집
• /
• 한국지하수토양환경학회 1997년도 총회 및 춘계 학술발표회 논문집
• /
• pp.79-82
• /
• 1997

토양내에서 오염유기물질이 불포화토양내에 유입될 때의 dispersion coefficient를 adsorption과 desorption과정에 대해 알아보았다. apparent dispersion coefficient를 측정하기 위해 일상적인 상대습도(46%)조건에서 parametric analysis를 행하였다. 실험에 사용된 토양은 fine sand와 silt-clay혼합시료였고, 흐름방향은 상향과 하향으로 하였다. 그리고, Freon gas를adsorbing solute로 사용하였다. 오염물질로는 DCM, TCE, DCB를 사용하였다. 분석을 위해서 linear와 probability scale의 breakthrough curve를 사용하였다. 공기에서의 diffusion coefficient의 예측을 위하여 Graham's law를 계산에 사용하였고, DCM diffusion coefficient는 0.098$\textrm{cm}^2$/s로 계산되었다. 연구결과, adsorption과 desorption의 속도는 차이가 있는 것으로 나타났으며, diffusion이 flow regime을 좌우하는 것으로 나타났다. 그리고, desorption에서의 D$^{a}$ D$^{o}$ 는 1보다 클수도 있다. 또한, dispersion은 silt-clay혼합시료에서의 속도와 함께 증가한다. dispersion은 Freon의 sorption방향에 크게 의존한다.