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Fabrication of Large Area Transmission Electro-Absorption Modulator with High Uniformity Backside Etching

  • Lee, Soo Kyung;Na, Byung Hoon;Choi, Hee Ju;Ju, Gun Wu;Jeon, Jin Myeong;Cho, Yong Chul;Park, Yong Hwa;Park, Chang Young;Lee, Yong Tak
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.220-220
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    • 2013
  • Surface-normal transmission electro-absorption modulator (EAM) are attractive for high-definition (HD) three-dimensional (3D) imaging application due to its features such as small system volume and simple epitaxial structure [1,2]. However, EAM in order to be used for HD 3D imaging system requires uniform modulation performance over large area. To achieve highly uniform modulation performance of EAM at the operating wavelength of 850 nm, it is extremely important to remove the GaAs substrate over large area since GaAs material has high absorption coefficient below 870 nm which corresponds to band-edge energy of GaAs (1.424 eV). In this study, we propose and experimentally demonstrate a transmission EAM in which highly selective backside etching methods which include lapping, dry etching and wet etching is carried out to remove the GaAs substrate for achieving highly uniform modulation performance. First, lapping process on GaAs substrate was carried out for different lapping speeds (5 rpm, 7 rpm, 10 rpm) and the thickness was measured over different areas of surface. For a lapping speed of 5 rpm, a highly uniform surface over a large area ($2{\times}1\;mm^2$) was obtained. Second, optimization of inductive coupled plasma-reactive ion etching (ICP-RIE) was carried out to achieve anisotropy and high etch rate. The dry etching carried out using a gas mixture of SiCl4 and Ar, each having a flow rate of 10 sccm and 40 sccm, respectively with an RF power of 50 W, ICP power of 400 W and chamber pressure of 2 mTorr was the optimum etching condition. Last, the rest of GaAs substrate was successfully removed by highly selective backside wet etching with pH adjusted solution of citric acid and hydrogen peroxide. Citric acid/hydrogen peroxide etching solution having a volume ratio of 5:1 was the best etching condition which provides not only high selectivity of 235:1 between GaAs and AlAs but also good etching profile [3]. The fabricated transmission EAM array have an amplitude modulation of more than 50% at the bias voltage of -9 V and maintains high uniformity of >90% over large area ($2{\times}1\;mm^2$). These results show that the fabricated transmission EAM with substrate removed is an excellent candidate to be used as an optical shutter for HD 3D imaging application.

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저온 민감성 바실러스 서브틸리스 돌연변이 균주에서 glycine betaine의 저온 내성에 미치는 영향에 대한 연구 (Studies of cold resistant glycine betaine effect on cold sensitive Bacillus subtilis mutant strains)

  • 김도형;이상수
    • 미생물학회지
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    • 제54권3호
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    • pp.200-207
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    • 2018
  • 높은 염분 농도에서 glycine betaine은 Bacillus subtilis 안으로 유입되어 세포 생장이 지속될 수 있게 한다. 뿐만 아니라 최근 연구 결과에 따르면 저온에서도 glycine betaine이 세포 생장을 지속시키는 것으로 알려져 있다. 저온에서 Bacillus subtilis의 생장을 저해시키는 세포 대사 활동으로는 세포막 운송과 단백질 합성을 들 수 있다. 세포막 구조와 관련하여 저온에서 세포막 운송에 영향을 주는 유전자들로는 bkdR과 des가 있고, 단백질 합성 과정에서 RNA helicase 유전자인 ydbR과 yqfR들은 저온 민감성을 보인다. 따라서 Bacillus subtilis 저온 민감성 유전자 결손 세포들에 대한 glycine betaine의 효과를 조사하여 저온에서의 glycine betaine 생리적 기능에 대해 알아보고자 하였다. 이 결과 glycine betaine의 존재 유무에 따라 야생형 Bacillus subtilis와 ydbR과 yqfR 결손 균주의 저온생장에 큰 차이를 보였다($T_d$차이 190~686 min). 반면에 bkdR이나 des 결손균주의 경우에는 glycine betaine 존재 유무에 따라 차이를 보이지 않았다. Glycine betaine의 전구체인 choline으로 대치하여도 저온에서의 생장은 같은 결과를 보였다. Glycine betaine의 영향이 세포막 구조와 관련이 있는 유전자 bkdR과 des 결손균주에 미치는 영향이 적은 것을 알아보기 위해 세포막에 영향을 주는 세제의 효과를 조사하였다. Triton X-100과 N-lauryl sarcosine 세제에 의해 bkdR 결손 균주가 야생형에 비해 더 영향 받는 것을 확인하였고 이는 bkdR 결손이 저온에서 막 구조를 변형하여 glycine betaine의 투과에 영향을 미치는 것으로 보인다.

Cinnamon clownfish Amphiprion melnaopus의 이소토신 유전자 구조와 삼투압 조절이 미치는 영향 (Investigation of the Gene Encoding Isotocin and its Expression in Cinnamon Clownfish, Amphiprion melanopus)

  • 노경언;최미진;민병화;노섬;김종명
    • 생명과학회지
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    • 제26권2호
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    • pp.164-173
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    • 2016
  • Isotocin (IT)은 포유류의 oxytocin과 유사한 호르몬으로 어류의 행동 조절과 스트레스에 대한 반응, 그리고 삼투압 조절에 이르기까지 다양한 생리반응에 관여한다고 추정된다. 해수 관상어인 cinnamon clownfish의 IT 유전자 구조와 기능을 연구하기 위하여 genomic DNA와 뇌의 cDNA 주형으로부터 유전자를 확보하였다. 세 개의 exon과 156개의 아미노산을 표지하는 ORF로 이루어진 IT 전구물질 유전자는 19개 아미노산으로 이루어진 신호 부위, 9개 아미노산 호르몬 부위, 3개 아미노산의 효소 조절 부위, 그리고 125개 아미노산의 neurophysin 호르몬 부위로 구성되었다. 조직별 RT-PCR 분석결과는 IT 전구물질 유전자가 뇌와 생식소에서 발현됨을 보여준다. 해수 (34 ppt) 적응 개체의 아가미에서는 염류세포 바깥 표면에 apical crypt가 보이는데 비하여, 15 ppt로 낮춘 저염분 적응 개체의 아가미는 표면이 pavement cell로 덮여있는 평평한 구조를 보여준다. 아가미 세포의 Na+/K+-ATPase 활성은 저염분 순응 초기에 증가하다 시간이 지날수록 정상 수준을 회복하는 양상을 보여주는데, 이는 prolactin과 같이 저염분 초기순응 및 항상성 유지에 관여함을 의미한다. 하지만 저염분 순응 시 미량 증가하는 IT 전구체 mRNA는 초기 삼투조절에 미치는 역할이 미미함을 보여준다.

림프절 스토로마 내의 fibroblastic reticular cell의 기능 이해 (Functional Understating of Fibroblastic Reticular Cell within Lymph Node Stroma)

  • 소득원;류설화;이종환
    • 생명과학회지
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    • 제23권11호
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    • pp.1409-1414
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    • 2013
  • 림프절은 체내로 침입한 병원체에 반응하여 성숙한 림프구들이 활성화 되는 곳이다. 림프구들은 스트로마의 구조적 뼈대를 따라 동계항원을 제시하고 있는 항원제시세포의 표면을 탐색한다. Fibroblastic reticular cells(FRC)는 림프절 T zone에서 3차원구조 네트워크를 형성하는데 관여하는 스트로마 세포로 유입되는 T 림프구들에 대한 안내길을 제공한다. 이런 상호 협력적인 환경에서 FRC와 T세포의 양방향적 관계는 림프절의 정상적 기능을 수행하는데 필수적이다. FRC는 물리적으로 림프절 조형물을 형성 할 뿐만 아니라 T세포 생물학적 기능조절에도 필수적이다. FRC는 T 림프구와 상호 반응하며 T세포에 발판을 제공하고 T세포 면역반응에 영향을 미치는 용해성 인자들을 방출한다. 최근에는 FRC는 말초에서 자기 관용 T세포 생성에도 관여하며 림프절에서 활성화된 T세포 분열을 조절하는데도 관여하고 있다. 따라서, FRC와 T세포 상호간 협력은 림프절에서 T세포기능을 조절하는데 중요한 결과를 야기한다. 더욱이, FRC는 염증 상황에서 항생펩타이드, 보체 등의 분비를 통한 선천성 면역에도 중요한 역할도 한다. 결론적으로 FRC와 T세포 상호간에 T세포 생물학적 효능을 증대를 위해 양방향성 접촉을 하며 이러한 상호 협력적 피드백은 면역반응 동안 조직기능 유지를 돕게 된다.

괘대시기가 '거봉' 포도의 과피 특성과 열과에 미치는 영향 (Effects of Bagging Periods on Pericarp Characteristics and Berry Cracking in 'Kyoho' Grape (Vitis sp.))

  • 손인창;김대일
    • 원예과학기술지
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    • 제28권3호
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    • pp.381-386
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    • 2010
  • 과립 비대기 동안의 괘대시기가 '거봉' 포도의 열과에 미치는 영향을 구명하기 위하여 포도 과립의 생육 및 과피의 특성 변화를 조사하였다. 포도 과립중은 만개후 7-9주간 괘대한 후기 처리구에서 13.4g으로 가장 높았으며, 전기간 괘대구가 12.3g으로 가장 낮았다. 한계팽압에서 포도 과립의 열과율이 무대구에서 53.3% 이상 발생하여 가장 높았던 반면, 처리구에서는 전기간 괘대구(42.7%), 초기 괘대구(37.3%), 중기 괘대구(33.3%), 후기 괘대구(18.7%)의 순으로 열과가 경감되었다. 과피의 조직학적 특성을 관찰한 결과, 무대 처리에 비해 괘대 처리구에서 과피 표면의 과점의 크기가 작았으며 형태가 건전하였다. 특히 후기 괘대구에서는 기공 주변이 코르크화와 미세균열이 관찰되지 않았으며, 과피의 아표피층과 세포벽의 두께가 증가하여 과피가 구조적으로 강화되었다. 따라서 상대적으로 일조시간이 길고 광도가 높은 변색기 직전에 2주간 괘대처리가 '거봉' 포도의 과피 구조를 강화시켜 열과 겸감에 효과적임을 확인할 수 있었다.

양식 동남아산 뱀장어, Anguilla bicolor의 Anguillid herpesvirus-1 (AngHV-1) 감염증 (Outbreak of Anguillid herpesvirus-1 (AngHV-1) infection in cultured shortfin eel (Anguilla bicolor) in Korea)

  • 박성우;정은빈;김동완
    • 한국어병학회지
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    • 제25권3호
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    • pp.151-158
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    • 2012
  • 양식 동남아산 뱀장어 Anguilla bicolor에 아가미의 출혈 및 간장의 충혈을 특징으로 하는 질병의 원인을 조사한 결과 Anguillid herpesvirus (AngHV-1) 의 감염이 확인되었다. 병어는 병리조직학적으로 아가미의 상피세포의 증생과 모세혈관의 출혈, 간장의 공포변성 및 중심정맥의 충혈이 관찰되었다. 병어를 $35^{\circ}C$에 10일간 승온 사육한 결과 아가미의 형태가 건강어의 아가미와 유사한 형태로 회복되었으며, 폐사율도 10%로 승온 처리가 폐사율 감소에 효과적인 것으로 나타났다.

피라미드 구조와 베이지안 접근법을 이용한 Markove Random Field의 효율적 모델링 (Efficient Methodology in Markov Random Field Modeling : Multiresolution Structure and Bayesian Approach in Parameter Estimation)

  • 정명희;홍의석
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제15권2호
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    • pp.147-158
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    • 1999
  • 지표면에 대한 다양한 정보를 제공해 주는 원격탐사기법은 수 십년 동안 우리의 환경을 관찰하고 이해하는데 중요한 역할을 해왔다. 이러한 원격탐사 자료를 이용하는데 다양한 디지털 영상처리기법이 도입되어 자료에서 관찰되는 여러 가지 특성을 모형화하고 처리하는데 매우 유용하게 활용되어져 왔다. 화소들 간의 공간적 관계를 고려하는 Markov Random Field (MRF) 모형은 텍스처 모델링이나 영상분할 및 분류와 같은 여러 분야에서 많이 이용되는 모형으로 이것에 기초한 다양한 알고리즘이 발표되었다. 보통 원격탐사 자료는 그 크기가 매우 크고 시간적 간격을 두고 변화를 관측해 가는 경우에는 분석해야할 자료의 양이 매우 방대하다. 이러한 자료를 처리하는데 걸리는 시간은 처리해야할 자료의 양과는 비선형적 관계에 있다. 본 논문에서는 MRF를 이용하여 원격탐사 자료를 처리할 때 걸리는 시간을 단축하기 위한 방법론이 연구되었다. 이를 위해 논리적 구조로 영상을 피라미드형태로 감소하는 크기로 분석하는 multiresolution 구조가 고려되었는데 이는 연상의 거시적 특징과 미세한 특징을 효율적으로 분석할 수 있는 방법을 제공해 준다. 영상의 크기가 커질수록 파라미터 추정 또한 복잡하고 많은 시간을 요하게 된다. 본 논문에서는 이를 위해 Bayesian 방법을 이용하여 원격탐사 영상과 같은 크기가 큰 영상의 MRF 모형의 파라미터를 효율적으로 추정할 수 있는 방법에 제안되어 있다.

직접인발시험과 보-단부 시험을 이용한 에폭시 도막 철근의 부착특성 (Bond Behavior of Epoxy Coated Reinforcement Using Direct Pull-out Test and Beam-End Test)

  • 김지상;강원혁
    • 한국건설순환자원학회논문집
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    • 제7권3호
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    • pp.271-278
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    • 2019
  • 철근 콘크리트 구조물에서 철근의 부식은 내구성 문제를 발생시키고 있으며, 이에 대한 대책의 하나로 에폭시 도막철근이 사용되고 있다. 그러나 에폭시 도막철근을 사용하는 경우 철근 부식에 대한 저항성능은 우수하나 철근에 에폭시 도막을 함으로써 콘크리트와의 부착력이 일반철근에 비하여 감소하는 단점이 있다. 따라서 부착성능에 대한 실험적인 확인이 필요하여 ACI 408R에서 제시하는 대표적인 실험 방법인 휨 부재를 통하여 부착거동을 연구할 수 있는 보-단부 test와 직접인발을 통해 부착 특성을 분석하는 Pullout test를 통하여 부착성능을 평가하였다. 에폭시 도막 철근의 부착실험은 휨 부재실험과 직접인발 실험 모두 지름 13, 19mm의 철근에 대한 콘크리트 도막두께를 철근 지름의 3배로 하여 수행되었다. 실험 결과 에폭시 도막철근의 부착강도는 철근의 지름이 증가할수록 에폭시 도막 철근과 일반철근의 부착강도차이가 증가하였고 파괴형상은 모두 뽑힘 파괴를 나타내었다. 또한, 직접인발시험으로 구한 부착-미끌림 관계에 근거하여 유한요소해석을 수행하고, 휨 실험결과와 비교하였다. 부착성능을 평가하는 방법으로 실제 구조물에 거동을 모사를 위해서 직접인발시험보다 휨 부재시험이 보다 유용한 것으로 사료된다.

남극반도 동부 브랜스필드분지의 탄성파구조 (Seismic Structures of the Eastern Bransfield Basin, Antarctic Peninsula)

  • 진영근;남상헌;김예동;이주한
    • 지구물리
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    • 제7권2호
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    • pp.99-112
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    • 2004
  • 남극반도와 남셰틀랜드군도 사이에 위치한 대륙주변부 분지인 브랜스필드분지는 중앙 동부 서부 분지 등 세 개의 분지로 형성되어 있다. 1995년 12월 동부분지에서 획득한 탄성파 자료에는 확장해령 및 기반암 상승부 단층 분지형태 퇴적층 지각 및 퇴적층의 변형 양상 다이아퍼 그리고 등수심 퇴적층 등 특징적인 지각구조들이 잘 나타난다. 디셉션섬과 브리지먼섬을 연결하는 중앙분지의 확장축은 브리지먼섬을 지나 동부분지의 중앙부까지는 연장되지만 동부분지의 북동부 지역에서는 확장작용과 관련없는 두꺼운 퇴적층이 쌓인 퇴적분지가 발달되어 있다. 이는 브랜스필드분지의 확장축을 따라 수행된 배호분지 확장작용이 동부분지의 중앙부까지만 진행되었음을 지시한다. 북동부 지역의 분지면에서는 분지 확장축과 직각방향인 남동 북서 방향으로 발달한 많은 단층작용은 현재 남동 북서 방향으로 진행되고 있는 쉐클턴파쇄대 단층운동과 연관된 것으로 생각된다. 남극판과 스코시아판의 경계에 가까운 동부분지에는 두 판의 경계를 따라 진행되고 있는 좌향이동단층작용에 의한 확장력이 전달됨에 따라 북동부 지역의 깊은 분지 양쪽 대륙주변부에 나타나는 정단층들과 다이아퍼 등과 같은 확장구조들이 형성된 것으로 해석된다.

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지상 초분광자료를 이용한 근소만 갯벌표층에서 저서성 미세조류의 엽록소-a 공간분포 추정 (Estimation of Benthic Microalgae Chlorophyll-a Concentration in Mudflat Surfaces of Geunso Bay Using Ground-based Hyperspectral Data)

  • 고수윤;노재훈;백승일;이호원;원종석;김원국
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제37권5_1호
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    • pp.1111-1124
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    • 2021
  • 갯벌 표면에는 저서성 미세조류의 생체량이 높고, 그에 따라 높은 일차생산을 나타낸다. 갯벌의 탄소순환 및 유기탄소 부존량을 추산하기 위한 일차생산력 측정 연구가 기존에 진행되어 왔지만, 최근에는 광학 원격탐사, 특히 초분광센서를 이용하는 연구는 비교적 최근에 시도되기 시작하였다. 본 연구에서는 지상에서 관측된 초분광자료를 통하여 생산성 추정의 기초자료가 되는 갯벌 표면의 엽록소 농도를 추정하는 연구를 수행하였다. 연구 대상지는 충청남도 태안군에 위치한 근소만이며, 현장조사는 2021년 4월과 6월 간조시에 수행하였다. 갯벌 표면의 초분광반사도를 얻기 위하여 지향형 센서인 TriOS RAMSES와 카메라 형태의 Specim-IQ, 두 종류의 초분광센서를 사용하였고, 광학관측자료를 통해 갯벌 표면의 엽록소-a 농도를 추정하기 위해 정규식생지수(NDVI)와 Continuum Removal Depth(CRD)기법을 사용하였다. 현장조사시 시료분석을 통해 측정한 엽록소-a 농도와의 비교 결과, 두 기법 모두 엽록소-a 농도 약 0~150 mg/m2의 범위에 대해 추정 결정계수 약 0.7을 달성할 수 있는 것으로 나타났다.