• 한국생산제조학회지
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• 제21권4호
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• pp.563-569
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• 2012

In the semiconductor and display device production processes, the handling of sensitive objects needs new carrying technology. Floating carrying motion is a practical alternative solution for non-contact handling of parts and substrates. This paper presents a study of through paths inside the air pressure pick-up head to generate the floating motion. The air motion by conceptual designed paths inside the head gradually develops positive pressure and vacuum between narrow objects. Positive pressure occurs through the head tip before discharging outside of the head. Negative pressure is developed by evacuating the inside head bottom as result of the radial flow connecting the vertical through-holes. The numerical analysis was done to figure out the stable levitation caused by the two acting forces between surfaces. In comparing with the standard case that the levitation gap gets 0.7-0.9 mm, it confirms the suggested head characteristics to show floating capacity in accordance with the head size, number of through-hole, and locations of through-hole in succession of conceptual design for a prototype.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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• pp.475-476
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• 2006

• 한국산학기술학회논문지
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• 제10권1호
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• pp.39-45
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• 2009

디스플레이 장치에서 기존의 CRT는 곡면이며 무겁고 큰 부피 때문에 LCD, PDP와 같은 평판디스플레이(FPD)로 대체되고 있다. FPD는 $0.6{\sim}0.8mm$ 두께의 대면적 글래스에 여러 공정을 거친 후에 최종 제품 규격으로 절단하여 제작하기 때문에 글래스의 면적이 크면 클수록 FPD의 생산성이 높다는 밀접한 관계를 갖는다. 따라서 FPD 제조 업계에서는 글래스 면적을 증가시키기 위하여 노력하고 있다. 7세대 글라스($2,220mm\;{\times}\;1,870mm\;{\times}\;0.7mm$)를 대상으로 유한요소해석 및 유동해석을 통하여 이송장치, 배급장치, 수평/경사 변환장치 및 제어장치로 구성된 비접촉 공기부상 이송시스템을 개발하였다. 본 개발에서 확보한 설계기술을 통하여 글라스의 크기가 대형화 되더라도 관련 이송장비를 보다 쉽게 제작하여 적용할 수 있다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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• pp.359-360
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• 2006

• 한국생산제조학회지
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• 제22권4호
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• pp.635-642
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• 2013

We have prepared a DEMO conveyor device for conveying a large 8G class glass sheet using ahorizontal air-cushion system. This device consists of the body frame and the driving frame that are combined to realize a frame for conveying glass without any contact.The driving frame comprises an air flotation table (bed), drive roller supported at both ends, and ASU. Part of the ASU serves to control the airflow as the chamber consists of a porous pad and fan. Fiber filters replace the porous pad and axial fans serve as an air compressor. In addition, to determine the appropriate glass levitation from the air table, this study examined the design specifications of the applied filter (discharge speed of HEPA and ULPA filters, and flow rate) as well as the height of the and the proper supporting roller height (14mm). Then, after adjusting the position of the ASU and the number of ASUs required to configure the UNIT air floating C/V, we analyzed the height and flatness of the glass and derived the appropriate layout (1140-mm distance between ASUs).

• 대한기계학회논문집A
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• 제32권5호
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• pp.451-457
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• 2008

Flat Panel Display(FPD) is widely used a video display terminals to consumer products of LCD and PDP. The contamination and damage were affected by using the previous contact conveyor's method. In this paper, it analyzes the FPD deflection to develop the non-contact FPD transfer process using lift force. Each conveyor's equipment is called a horizontal conveyor, vertical conveyor and robot pick-up equipment. As result of an analysis of FPD panel's deflection, a robot pick-up equipment has performed according to under the present conditions like panel's weight and loaded glass to move FPD panel from one place to other places properly. Results of the analysis showed 0.474 mm, 0.424 mm and 1.237 mm. Those values are lower than a predicted optimum values : 2 mm for both horizontal and vertical conveyers; 5 mm for robot pick-up equipment. Therefore, those results verify each equipment have safety and reliability.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제9권4호
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• pp.878-885
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• 2008

최근에 많은 수요와 각광을 받고 있는 디스플레이 장치에서 CRT는 곡면이며 무겁고 큰 부피 때문에 LCD, PDP, OLED와 같은 평판디스플레이(FPD)로 대체되고 있다. FPD는 $0.6\sim0.8mm$ 두께의 대면적 글래스에 여러 공정을 거친 후에 최종 제품 규격으로 절단하여 제작하기 때문에 글래스의 면적이 크면 클수록 FPD의 생산성이 높다는 밀접한 관계를 갖는다. 따라서 FPD 제조 업계에서는 글래스 면적을 증가시키기 위하여 노력하고 있으며, 예를 들면, 현재 8세대 LCD인 경우 약 $2,200mm\times2,600mm$의 면적을 가진다. 이러한 글래스를 이송하는 대표적인 장치로서 공기부상 컨베어시스템은 압축공기를 이용해서 FPD용 대면적 글래스 등을 약 $0.3\sim0.5mm$ 정도 부상시켜 비접촉으로 이송할 수 있는 장치이다. 이 때 글래스와 다공질판 표면 사이의 공기 유동이 모델링되고 해석되며, 이것으로부터 글래스의 공기부양 조건이 예측될 수 있다. 글래스를 이송시 전기공급 중단에 의하여 압축공기가 공급되지 않아 부상판과 접촉이 발생하였을 때, 자기윤활 특성을 가진 다공질판 위의 글래스는 1mm 홀을 많이 가진 사각덕트 부상판 위의 글래스와 조사, 비교된다.