Passivation Effects of Excimer-Laser-Induced Fluorine using $SiO_{x}F_{y}$ Pad Layer on Electrical Characteristics and Stability of Poly-Si TFTs
($SiO_{x}F_{y}$ /a-Si 구조에 엑시머 레이저 조사에 의해 불소화된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성과 신뢰도 향상)
-
- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
- /
- v.48 no.9
- /
- pp.623-627
- /
- 1999