실리콘 기판위의 증착된 AAO Barrier Layer의 $Cl_2/BCl_3$ Neutral Beam Etching
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵
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- pp.135-136
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- 2011