• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 전자세라믹스 센서 및 박막재료 반도체재료 일렉트렛트 및 응용기술
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• pp.35-38
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• 2000

In this study, the rise throughput and the stability in fabrication of device can be obtained by applying of CMP process to STI structure in 0.l8um semiconductor device. Through reverse moat pattern process, reduced moat density at high moat density, STI CMP process with low selectivity could be to fit polish uniformity between low moat density and high moat density. Because this reason, in-situ motor current end point detection method is not fit to the current EPD technology with the reverse moat pattern. But we use HSS without reverse moat pattern on STI CMP and take end point current sensing signal.[1] To analyze sensing signal and test extracted signal, we can to adjust wafer difference within $110{\AA}$.

• 건축역사연구
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• 제32권3호
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• pp.21-30
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• 2023

The Wolseong Wooden moat is a unique example. Which is a vertical wall made of wood. It shows a changing point how to make the wall by digging a hole and stacking stones vertically. This study tried to to make a assumption about the construction process of the wooden structure found in the Wolseong pit moat. I sorted out wooden elements and then analyzing these features and compared with the results of the excavation. After I made 3D modelling in the order to it was made. This moat is not only a function of digging up the ground to trap water, but also a technique of building structures to maintain walls. It is a valuable material that can show the woodworking engineering techniques of the Silla Dynasty.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 전자세라믹스 센서 및 박막재료 반도체재료 일렉트렛트 및 응용기술
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• pp.14-17
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• 2000

The rise throughput and the stability in fabrication of device can be obtained by applying of CMP process to STI structure in 0.18um semiconductor device. To employ in STI CMP, the reverse moat process has been added thus the process became complex and the defects were seriously increased. Removal rates of each thin films in STi CMP was not equal hence the devices must to be effected, that is, the damage was occured in the device dimension in the case of excessive CMP process and the nitride film was remained on the device dimension in the case of insufficient CMP process than these defects affect the device characteristics. We studied the current sensing method in STI-CMP with the reverse moat pattern.

• 한국전통조경학회지
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• 제28권2호
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• pp.37-44
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• 2010

우리나라는 다른 나라들과는 다르게 외세의 침입을 도성과 산성의 방어 체계로 막았다. 이러한 방어 체계를 가진 것이 해자의 기능 중 하나이며, 해자는 오랜 역사성을 가지고 있는데 비해 연구가 미비한 실정이다. 본 연구는 경주 월성의 개요와 변천과정을 살펴보고, 경주 월성 해자의 규모와 축조방식 등 월성 해자의 특성을 파악해 보고자 한 것으로 문헌조사와 현장조사 및 인터뷰 등을 통해 고찰해 본 결과, 경주 월성의 해자는 월성 남편을 만곡되게 흐르는 자연하천(남천)을 그대로 이용한 자연해자와 성벽 기단부를 따라 평면 부정형의 못을 파고 냇돌로 호한을 구축한 연못형 해자, 그리고 연못형 해자를 메우고 정다듬한 화강암을 평면 삼각형으로 정연하게 쌓은 월성 동편 석축 해자로 구분되며, 이 중 연못형 해자는 월성 동 북 서편에서 확인되었는데, 동에서 서로 경사를 두어 독립된 연못처럼 단을 지워 조성하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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• pp.25-28
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• 2001

Recently, STI(Shallow Trench Isolation) process has attracted attention for high density of semiconductor device as a essential isolation technology. Without applying the conventional complex reverse moat process, CMP(Chemical Mechanical Polishing) has established the Process simplification. However, STI-CMP process have various defects such as nitride residue, torn oxide defect, damage of silicon active region, etc. To solve this problem, in this paper, we discussed to determine the control limit of process, which can entirely remove oxide on nitride from the moat area of high density as reducing the damage of moat area and minimizing dishing effect in the large field area. We, also, evaluated the reliability and reproducibility of STI-CMP process through the optimal process conditions.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1999년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.501-504
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• 1999

In the shallow trench isolation(STI) chemical mechanical polishing(CMP) process, the key issues are the optimized thickness control within- wafer-non-uniformity, and the possible defects such as nitride residue and pad oxide damage. These defects after STI CMP process were discussed to accomplish its optimum process condition. To understand its optimum process condition, overall STI related processes including reverse moat etch, trench etch, STI filling and STI CMP were discussed. It is represented that the nitride residue can be occurred in the condition of high post CMP thickness and low trench depth. In addition there are remaining oxide on the moat surface after reverse moat etch. It means that reverse moat etching process can be the main source of nitride residue. Pad oxide damage can be caused by over-polishing and high trench depth.

• 한국전통조경학회지
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• 제35권1호
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• pp.25-35
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• 2017

본 연구는 성의 외곽에 군사적 방어 역할을 하거나 이를 경계로 공간을 구분하고 기후변화로 인한 온도 상승과 동물들의 서식처 감소 등 악화되어 가고 있는 현대 환경에 미기후를 조절하고, 동물의 서식처를 제공하는 등 다양한 기능을 가진 해자를 현대도시공간에 활용하기 위해 해자의 현대적 가치를 재조명해 본 것으로 연구의 범위는 성의 외곽에 군사적 방어 역할을 위해 파 놓은 못 또는 물길로 적이 성벽에 직접 접근할 수 없도록 하거나 이를 경계로 구분하고자 설치된 해자가 있는 성을 중심으로 동양에서는 한국의 낙안읍성, 해미읍성, 경주월성과 중국의 자금성, 일본의 니조성과 오사카성을 대상으로 하였으며, 서양에서는 영국의 에든버러성과 프랑스의 블루아성, 스위스의 시옹성, 덴마크의 프레데릭스보르성을 대상으로 하였다. 연구의 방법으로는 문헌조사와 현지조사를 통해 연구를 진행하였다. 동양은 문헌조사와 현지조사를 병행하여 실시하였으며, 서양은 문헌조사를 위주로 진행하였다. 문헌조사를 통해서는 해자의 기원과 해자의 개념, 해자의 기능, 서양 해자의 역사와 문화 등에 대하여 관계기관과 선행연구의 자료를 기준으로 하였으며 동양의 현지조사는 한국의 낙안읍성, 해미읍성, 경주월성, 중국의 자금성, 일본의 니조성, 오사카성을 2016년 1월부터 2016년 12월까지 각 대상지별로 총 2~3회에 걸쳐 답사를 실시하였다. 조사내용은 각 대상지의 해자에 대한 기능과 규모, 특징 등에 대하여 관계자 인터뷰, 사진촬영, 실측, 관찰 등의 방법을 통해 조사 분석하였으며, 본 연구의 결과는 다음과 같다. 해자는 성 외곽에 군사적 방어시설과 경계를 구분하고자 설치된 시설물로서 동 서양의 고대로부터 중세에 이르기까지 성과 함께 도시를 구성하는 요소로 중요한 역할을 하였다. 해자가 군사적 방어 목적이 소멸되면서 역할도 점차 사라져 가고 있으나 물이 가득한 해자는 다양한 문화 활동과 동물들의 서식처 제공 등 역사와 문화적 가치가 큰 친수공간임에도 불구하고 현대 조경 계획에 있어 배제되고 있는 실정이다. 다양한 기능을 가진 해자를 현대도시에 반영, 활용함으로써 공기 순환이 막힌 도시에 쾌적한 공기를 유입시키고 수경요소로서 도시에 활력을 불어 넣을 수 있는 해자를 아파트, 공원지역 등에 조경요소로 적극 활용될 수 있기를 기대한다.

• 한국전통조경학회지
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• 제28권3호
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• pp.29-38
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• 2010

해자란 성벽 외곽에 파 놓은 못 또는 물길로 적이 성벽에 직접 접근할 수 없도록 하거나 이를 경계로 공간을 구분하고자 설치된 시설의 하나로, 본 연구에서는 고대로부터 중세에 이르기까지 동양과 서양에서 존재했던 해자의 특성을 비교하기 위한 것으로 수행한 연구의 결과는 다음과 같다. 첫째, 동양의 해자는 자연적 해자와 인공적 해자를 동시에 설치하였으나, 서양의 해자는 천연의 요새지에 성(城)을 쌓아 자연적 해자를 많이 활용하였다. 둘째, 한국의 해자는 일본 및 중국, 서양의 다른 국가에 비해 해자의 규모가 작다. 셋째, 동양의 성은 읍이나 왕궁을 보호하기 위해 성을 쌓았으나, 서양에서는 왕이나 영주, 대저택, 부호의 저택을 보호하기 위해 성을 쌓았으며, 적의 침입을 방어하기 위해 자연적 해자와 인공적 해자를 병행하여 활용하였다. 넷째, 동양에서 풍수지리는 우리 민족의 기층적 사상 체계를 이루어온 수많은 사상들 중 하나로 신라 이후 우리 민족에게 깊은 영향을 끼친 관념임을 부인할 수 없으며, 성의 위치를 정할 때에도 풍수지리를 고려하였다. 성을 둘러싸고 있는 해자는 성내에 있는 좋은 기(氣)가 밖으로 빠져 나가지 못하게 하는 역할을 하였다. 다섯째, 서양에서 Ha-Ha수법은 담장 대신 정원 부지의 경계선에 해당되는 곳에 도랑을 파서 외부로부터의 침입을 막도록 한 것으로서 이 도랑의 존재를 모르고 원로를 따라 거닐다가 갑자기 원로가 도랑으로 차단되고 있음을 발견하였을 때 부지불식 중에 지르는 감탄사로 원래 중세기 때의 군사용 호였는데, 정원에 수직적으로 담을 둘러치는 물리적인 경계 없이 정원을 바라볼 수 있게 정원의 경계선에 깊은 도랑과 같은 모양으로 파 놓음으로써 가축이 정원으로 들어오는 것을 막고, 목장이나 산림, 경작지 등을 정원의 구성요소로 끌어들이는 역할을 하였다.

• Earthquakes and Structures
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• 제23권1호
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• pp.87-100
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• 2022

Limiting the displacement of seismic isolators causes a pounding phenomenon under severe earthquakes. Therefore, the ASCE 7-16 has provided minimum criteria for the design of the isolated building. In this research the seismic response of isolated buildings by Triple Friction Pendulum Isolator (TFPI) under the impact, expected, and unexpected mass eccentricity was evaluated. Also, the effect of different design parameters on the seismic behavior of structural and nonstructural elements was found. For this, a special steel moment frame structure with a surrounding moat wall was designed according to the criteria, by considering different response modification coefficients (RI), and 20% mass eccentricity in one direction. Then, different values of these parameters and the damping of the base isolation were evaluated. The results show that the structural elements have acceptable behavior after impact, but the nonstructural components are placed in a moderate damage range after impact and the used improved methods could not ameliorate the level of damage. The reduction in the RI and the enhancement of the isolator's damping are beneficial up to a certain point for improving the seismic response after impact. The moat wall reduces torque and maximum absolute acceleration (MAA) due to unexpected enhancement of mass eccentricity. However, drifts of some stories increase. Also, the difference between the response of story drift by expected and unexpected mass eccentricity is less. This indicates that the minimum requirement displacement according to ASCE 7-16 criteria lead to acceptable results under the unexpected enhancement of mass eccentricity.

• KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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• 제2C권5호
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• pp.262-267
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• 2002

In this paper, we first studied the factors affecting the motor current (MC) signal, which was strongly affected by the systematic hardware noises depending on polishing such as pad conditioning and arm oscillation of platen and recipe, head motor. Next, we studied the end point detection (EPD) for the chemical mechanical polishing (CMP) process of shallow trench isolation (STI) with reverse moat structure. The MC signal showed a high amplitude peak in the fore part caused by the reverse meal. pattern. We also found that the EP could not be detected properly and reproducibly due to the pad conditioning effect, especially when conventional low selectivity slurry was used. Even when there was no pad conditioning effect, the EPD method could not be applied, since the measured end points were always the same due to the characteristics of the reverse moat structure with an open nitride layer.