• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제18권7호
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• pp.771-772
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• 1997

• 전자공학회논문지D
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• 제35D권9호
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• pp.48-53
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• 1998

실리콘 벌크 마이크로머시닝과 표면 마이크로머시닝기술을 혼합하여 새로운 구조의 정전렌즈를 제작하였다. 표면 마이크로머시닝을 위한 구조층과 희생층으로는 폴리실리콘을 사용하였으며 구조층을 열산화막으로 보호하여 실리콘 습식 식각시 손상되지 않도록 하였다. 이전의 마이크로컬럼에 사용되던 정전렌즈에 비하여 이 구조가 갖는 장점은 1) 양극 접합의 수를 줄일 수 있어 구멍간 정렬, 렌즈의 생산성, 신뢰도, 손상 면에서 우수하고, 2) 마이크로컬럼의 집적화를 통한 arrayed lithography에도 유리하다는 것이다.

• 한국진공학회지
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• 제8권4A호
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• pp.456-460
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• 1999

Experimental studies of laser micromachining on Mo diaphragm using piezo Q-switched Nd:YAZ laser have been performed. Application of miniaturized micorcolumn electron gun arrays as a potential electron beam lithography or portable mini-scanning electron microscope (SEM) application have recently extensively examined. The conventional microcolumn fabrication technique would give a limitation on the minimization of aberration, In this paper, we obtained 20~30 $\mu \textrm m$aperture of laser micromachining on Mo diaphragm using piezo Q-swithed Nd:YAG laser. The geometrical figures, such as the diameter and the preciseness of the drilled aperture are dependent upon the total energy of the laser pulse train, laser pulse width, and the diameter of laser spot in addition to the materials-dependent parameters.

• 대한기계학회논문집A
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• 제31권10호
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• pp.981-985
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• 2007

We present a MEMS-based portable Direct Methanol Fuel Cell (micro-DFMC), featured by a platinum sputtered microcolumn electrode and a built-in fuel chamber containing a limited amount of methanol fuel. Also presented is a micro-DMFC stack structure having a common electrolyte sandwiched by the microcolumn electrodes. The single cells with ME16 and PE16 electrodes show the maximum power densities of $31.04{\pm}0.29{\mu}W/cm^2$ and $9.75{\pm}0.29{\mu}W/cm^2$, respectively; thus indicating the microcolumn electrode (ME16) generates the power density (3.2 times) higher than the planar electrode (PE16). The single cell tests of ME16 and ME4 electrodes (Fig.8) show the maximum power of $31.04{\pm}0.29{\mu}W/cm^2$, and $25.23{\pm}2.7{\mu}W/cm^2$, respectively; thus demonstrating the increased window frame reduces the normalized standard power deviation (standard deviation over the average power). The normalized deviation of 0.11 in ME4 cell has been reduced to 0.01 in ME16 cell due to the increased window frames. The maximum power density of 4-cell stack is 15.7 times higher than that of the single cell. 4-cell stack produces the power capacity of 20.3mWh/g during 980min operation at the voltage of 450mV with the load resistance of $800{\Omega}$.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제29권11호
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• pp.2281-2283
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• 2008

• 대한화학회지
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• 제39권6호
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• pp.471-476
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• 1995

• 대한화학회지
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• 제40권6호
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• pp.462-465
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• 1996

• 한국산학기술학회논문지
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• 제9권6호
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• pp.1607-1613
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• 2008

마이크로 칼럼 기술을 응용한 초소형 자유전자 레이저 모듈의 특성을 연구하였다. 초소형 자유전자 레이저는 전자 방출원과 방사광 발생 장치로 나뉜다. 방사광 발생 장치는 위글러(wiggler)라 불리는데 그리드(grid) 판으로 구성되어 있다. 전자가 위글러를 지나갈 때 규칙적으로 배열된 그리드에 인가된 전압에 의하여 전자의 궤적이 사인(sinusoidal) 함수 모양으로 주기적으로 변하여 방사광을 발생시킨다. 본 연구에서는 초소형 자유전자 레이저 위글러의 매개 변수에 따른 전자빔 궤적을 전산모사를 이용하여 분석하였다. 쌍을 이루는 위글러 간격, 그리드의 폭, 깊이, 주기, 그리고 그리드에 인가된 전압이 전자빔에 미치는 효과를 조사하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1996년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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• pp.413-415
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• 1996

This paper presents a technique for fabricating an electro-optical microlens for microcolumn e-beam system. The device, named Self-Aligned Microlens (SAM) was realized by mixing surface and bulk micromachining technology. The microbridges were formed on both sides of silicon wafer symmetrically. The alignment error between the electrodes could be controlled within a few micrometers with also reducing the numbers of anodic bonding.

• Journal of Korean Neurosurgical Society
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• 제62권3호
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• pp.288-295
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• 2019

In 2011, the International League against Epilepsy (ILAE) proposed a first international consensus of the classification of focal cortical dysplasia (FCD). This FCD classification had been widely used in worldwide. In this review paper, the authors would like to give helpful comments for better understanding of the current FCD classification. Especially, the basic concepts of FCD type I, such as "radial", "tangential" and "microcolumn" will be discussed with figures. In addition, the limitations, genetic progress and prospect of FCD will be suggested.