• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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• pp.37-40
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• 2003

As the integrated circuit device shrinks to the smaller dimension, the chemical mechanical polishing (CMP) process was required for the global planarization of inter-metal dielectric (IMD) layer with free-defect. However, as the IMD layer gets thinner, micro-scratches are becoming as major defects. Micro-scratches are generated by agglomerated slurry, solidified and attached slurry in pipe line of slurry supply system. It is well known that the presence of hard and larger size particles in the CMP slurries increases the defect density and surface roughness of the polished wafers. In this paper, we have studied aging effect the of CMP slurry as a function of particle size. We prepared and compared the self-developed silica slurry by adding of abrasives before and after annealing. As our preliminary experiment results, we could be obtained the relatively stable slurry characteristics comparable to original silica slurry in the slurry aging effect.

• 전기학회논문지
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• 제67권12호
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• pp.1633-1640
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• 2018

Epoxy resin is a polar thermosetting polymer that is widely employed in different branches of industry and everyday life, due to their stable physical and chemical properties. Of all the polymer materials currently being used in the electrical insulation industry, epoxy resin is the most widely used kind, chosen as the base polymer material in the present study. Composites were prepared according to the mixing ratio (MS: MA, 1: 9, 3: 7, 5: 5, 7: 3, 9: 1)of mixture for Heterogeneous Minerals(Micro Silica:MS, Micro Alumina:MA) (MS+MA). We have investigated for AC electrical insulation breakdown characteristics and the dielectric properties (permittivity, dielectric loss, and conductivity) with frequency changes. The electrical AC insulation breakdown performance was improved with the increase of the mixing ratio of MS according to heterogeneous mineral material mixture(MS+MA). As Dielectric properties, the dielectric constant and dielectric loss increased with decreasing frequency and decreased with increasing MS content ratio of heterogeneous mineral mixture. Tensile strength and flexural strength according to the mixing ratio (MS + MA) of epoxy / heterogeneous mineral mixture were studied by mechanical properties. The performance of mechanical tensile and flexural strength was significantly improved as the fill contents ratio of MS increased.

• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제13권5호
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• pp.252-255
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• 2012

In order to characterize insulation properties of epoxy/micro-silica/nano-silicate composite (EMNC), long-term and short-term AC treeing tests were carried out undr non-uniform electric field generated between needle-plate electrodes. In a long-term test, a 10 kV (60 Hz) electrical field was applied to the specimen positioned between the electrodes with a distance of 2.7 mm in an insulating oil bath at $30^{\circ}C$, and a typical branch type electrical tree was observed in the neat epoxy resin and breakdown took place at 1,042 min after applying the 10 kVelectrical field. Meanwhile, the spherical tree with the tree length of $237{\mu}m$ was seen in EMNC-65-0.3 at 52,380 min (36.4 day) and then the test was stopped because the tree propagation rate was too low. In the short-term test, an electrial field was applied to a 3.5 mm-thick specimen at an increasing voltage rate of 0.5 kV/s until breakdown in insulating oil bath at $30^{\circ}C$ and $130^{\circ}C$, and the data was estimated by Weibull statistical analysis. The electrical insulation breakdown strength for neat epoxy resin was 1,763 kV/mm at $30^{\circ}C$, while that for EMNC-65-0.3 was 2,604 kV/mm, which was a modified value of 47%. As was expected, the breakdown strength decreased at higher test temperatures.

• Advances in concrete construction
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• 제3권4호
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• pp.317-331
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• 2015

This paper presents the effect of different micro-silica (MS) contents of 5, 10 and 15 wt.% as partial replacement of cement on mechanical and durability properties of high volume fly ash - recycled aggregate concretes (HVFA-RAC) containing 50% class F fly ash (FA) and 35% recycled coarse aggregate (RCA) as partial replacement of cement and natural coarse aggregate (NCA), respectively. The measured mechanical and durability properties are compressive strength, indirect tensile strength, elastic modulus, drying shrinkage, water sorptivity and chloride permeability. The effects of different curing ages of 7, 28, 56 and 91 days on above properties are also considered in this study. The results show that the addition of MS up to 10% improved the early age (7 days) strength properties of HVFA-RAC, however, at later ages (e.g. 28-91 days) the above mechanical properties are improved for all MS contents. The 5% MS exhibited the best performance among all MS contents for all mechanical properties of HVFA-RAC. In the case of measured durability properties, mix results are obtained, where 10% and 5% MS exhibited the lowest sorptivity and drying shrinkage, respectively at all ages. However, in the case of chloride ion permeability a decreasing trend is observed with increase in MS contents and curing ages. Strong correlations of indirect tensile strength and modulus of elasticity with square root of compressive strength are also observed in HVFA-RAC. Nevertheless, it is established in this study that MS contributes to the sustainability of HVFA-RAC significantly by improving the mechanical and durability properties of concrete containing 50%less cement and 35% less natural coarse aggregates.

• 한국지반환경공학회 논문집
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• 제11권1호
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• pp.53-59
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• 2010

해수 침적 조건에서 시멘트 수화물이 부식되는 화학적 열화과정은 콘크리트 구조물이나 주입공사 목적물에서 동일하다. 국내에서 사용되고 있는 MSG(Micro Silica Grouting)주입재는 실리카질 물질이 다량 함유된 혼합계 시멘트로서 분말도가 $8,000cm^2/g$ 이상으로 높기 때문에 수화활성도가 매우 크고, 고강도 및 고내구성을 특징으로 하며, $C_3A$ 함유량도 5% 이하로 내황산염시멘트 규격을 만족하는 내해수성 시멘트재로 평가된다. 따라서, 본 논문에서는 내해수성이 우수한 MSG와 국내에서 사용되고 있는 급결재를 조합하여 내해수성 특성을 실험적으로 평가하였다. 국내에서 일반적으로 규산계 고활성 급결재 또는 초속경시멘트계 무기질 급결재가 사용되고 있다. 이들 급결재와 MSG가 조합된 주입재의 호모겔 시편에 대해서 압축강도, 중량변화 및 길이변화 특성을 실험적으로 평가하여 내해수성이 우수한 주입재 조합을 제시하였다.

• 콘크리트학회논문집
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• 제27권1호
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• pp.29-35
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• 2015

최근 연구되고 있는 해상 초대형 부유 콘크리트 구조물의 제작은 현장 타설이 어렵다는 단점이 있으므로 프리캐스트 콘크리트로 제작한 모듈을 수상에서 인양 후 프리스트레스력으로 접합 및 제작하는 것을 목표로 한다. 그러나 해상 환경에서 발생하는 다양한 하중 및 예상되는 상부 구조물에 의한 하중을 고려하였을 때, 프리스트레스력으로 접합되는 콘크리트 모듈 간의 접합부의 안정적인 거동 및 성능이 요구된다. 이에 프리스트레스력이 적용되기 전 가접합에 수중용 에폭시를 이용한 접합 방법이 고려되고 있는데, 수중용 에폭시는 고점성의 재료로서 내부에 공극이 발생하기 쉽다. 이를 해결하기 위하여 마이크로 실리카를 혼입하여 공극을 감소시킨 수중용 에폭시를 이용하여 콘크리트 부유체의 접하 거동에 대한 평가가 요구된다. 그러므로 이번 연구에서는 마이크로 실리카를 혼입한 수중용 에폭시를 이용하여 가접합하고 프리스트레싱을 적용한 시험체를 제작하여 성능을 평가하였다. 마이크로 실리카를 혼입한 수중용 에폭시로 접합된 콘크리트 모듈은 프리스트레싱만을 적용한 시험체에 비하여 균열 발생 및 응력 집중 현상이 완화되었으며, 최대 하중 및 변위는 일체형 RC 시험체에 비하여 10% 미만의 감소율을 나타내어 모듈형 콘크리트 부유체의 수상 접합을 위한 안정적인 접합재료로 사용 가능할 것으로 보인다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제46권4호
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• pp.722-726
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• 2008

실리카 microsphere는 HPLC를 위한 흡착 충진제와 같은 용도로 사용하기에 적합한 혁신적인 소재로 널리 알려져 있다. microsphere을 기능성고분자나 금속, 생리활성 물질과 같은 특정한 성질을 지닌 물질로 표면 개질시키므로 다양한 용도로 활용할 수 있다. 콜라겐은 생체조직을 구성하는 기본 단백질로 생체적합성이 뛰어난 물질로 주목받고 있는 기능성 소재이다. 본 연구에서는 50% 이상의 세공부피를 지닌 다공성 silica microsphere를 고분자 응집법인 PICA 법을 이용하여 colloidal silica로부터 제조하고 콜라겐 hydrogel을 사용하여 표면 개질시키므로 생체적합성을 증진시키는 방법을 연구하였다. 실리카/콜라겐 microsphere 에 은 나노입자를 담지시킨 microsphere 복합체를 만들고 특성을 조사하므로 생체소재로의 활용 가능성을 조사하였다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제25권8호
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• pp.657-663
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• 2012

The spherical mesoporous silica is synthesized and incorporated with CdSe/ZnS quantum dots(QDs) for preparing micro beads to detect toxic and bio-materials with high sensitivity. The spherical silica beads with the brunauer-emmett-telle(BET) average pore size of 15 nm were prepared with a ratio 1, 3, 5-trimethylbenzen, as a swelling agent, to the block-copolymer template surfactant of over 1 and under vigorous mixing condition. The surface of spherical mesoporous silica is modified using octadecylsilane for incorporating QDs. Based on photoluminescence(PL) spectra, the relative brightness of mesoporous silica beads incorporated with 10 nM of QDs is 79,000 times brighter than that of Rodamine 6 G.

• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제8권1호
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• pp.21-28
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• 2004

When femtosecond laser pulses are focused inside the bulk of transparent materials, the intensity in the focal volume becomes high enough to produce permanent structural modifications. This technique has been applied to fabricate three-dimensional photonic structures such as optical memory, waveguides, gratings, and couplers inside a wide variety of transparent materials. In this paper, we review the fabrication of optical elements in glasses with femtosecond laser pulses, including the fabrication of waveguides, couplers, Bragg gratings, zone plates, holographic memory, and micro holes.

• 접착 및 계면
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• 제23권3호
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• pp.94-99
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• 2022

졸-겔 공정 및 용액 블렌딩 공정을 이용하여 삼성분계(그래핀/실리카/EVOH) 나노 복합 코팅 물질을 제조하였다. SEM 관찰 및 XRD 분석을 통하여 제조된 산화 그래핀의 삽입/박리 구조뿐만 아니라 나노 복합 물질 내에서의 그래핀 나노 판상체와 실리카 입자의 박리 구조 및 분산 상태를 확인하였다. 삼성분계 나노 복합 물질로 코팅된 BOPP의 산소 차단성은 산화 그래핀 및 실리카 입자를 일정 수준의 함량으로 첨가했을 때 이성분계(실리카/EVOH) 나노 복합 코팅 필름에 비해 뚜렷하게 향상되었나, 그 이상의 함량으로 첨가하면 불완전한 박리 및 그래핀 적층체의 분산과 실리카 클러스터의 미세 크랙 발생으로 인하여 차단성이 거의 일정하거나 또는 그 증가 폭이 매우 작은 것으로 나타났다. 또한 나노 복합 코팅 필름의 투명성은 그래핀 함량에 따른 필름의 광투과율을 측정함으로써 확인하였으며, 이러한 결과로부터 식품 포장 필름으로의 적용 가능성을 제시할 수 있었다.