A present semiconductor cleaning technology is based upon RCA cleaning, high temperature process which consumes vast chemicals and ultra Pure water(UPW). This technology gives rise to the many environmental issues, therefore some alternatives have been studied. In this study, intentionally contaminated Si wafers were cleaned using the electrolyzed water(EW). The EW was generated by an electrolysis equipment which was composed of anode. cathode, and toddle chambers. Oxidative water and reductive water were obtained in anode and cathode chambers, respectively. In case $NH_4$Cl electrolyte, the oxidation-reduction potential(ORP) and pH for anode water(AW) and cathode water(CW) were measured to be +1050mV and 4.7, and -750mV and 9.8, respectively. For cleaning metallic impurities, AW was confirmed to be more effective than that of CW, and the particle distribution after various particle removal processes was shown to be same distribution.
Kim, Yeon-Ku;Kim, Weon-Ju;Yeo, SungHwan;Cho, Moon-Sung
Journal of Powder Materials
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v.21
no.6
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pp.434-440
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2014
Silicon carbide(SiC) layer is particularly important tri-isotropic (TRISO) coating layers because it acts as a miniature pressure vessel and a diffusion barrier to gaseous and metallic fission products in the TRISO coated particle. The high temperature deposition of SiC layer normally performed at $1500-1650^{\circ}C$ has a negative effect on the property of IPyC layer by increasing its anisotropy. To investigate the feasibility of lower temperature SiC deposition, the influence of deposition temperature on the property of SiC layer are examined in this study. While the SiC layer coated at $1500^{\circ}C$ obtains nearly stoichiometric composition, the composition of the SiC layer coated at $1300-1400^{\circ}C$ shows discrepancy from stoichiometric ratio(1:1). $3-7{\mu}m$ grain size of SiC layer coated at $1500^{\circ}C$ is decreased to sub-micrometer (< $1{\mu}m$) $-2{\mu}m$ grain size when coated at $1400^{\circ}C$, and further decreased to nano grain size when coated at $1300-1350^{\circ}C$. Moreover, the high density of SiC layer (${\geq}3.19g/cm^3$) which is easily obtained at $1500^{\circ}C$ coating is difficult to achieve at lower temperature owing to nano size pores. the density is remarkably decreased with decreasing SiC deposition temperature.
$^13CO$ chemisorbed on platinum particles in L-zeolite has been investigated by static and magic angle spinning NMR spectroscopy. The representative spectra are composed of a broad asymmetric peak with a center of gravity at 230±30 ppm and a sharp symmetric peak at 124±2 ppm which is tentatively assigned to physisorbed $CO_2$, on inner walls of L-zeolite. Overall, the broad resonance component is similar to our previous results of highly dispersed (80-96%) CO/Pt/silica or CO/Pt/alumina samples, still showing metallic characters. The principal difference is in the first moment value. The broad peak in the spectra is assigned to CO linearly bound to Pt particles in the L-zeolites, and indicates a distribution of isotropic shifts from bonding site to bonding site. The NMR results reported here manifest that the Pt particles inside of the L-zeolites channels are not collectively the same with the ones supported on silica or alumina with similar dispersion in terms of Pt particle shape and/or ordering of Pt atoms in a particle. As a result, Pt particles of CO/Pt/L-zeolite were agglomerated accompanying CO desorption upon annealing. There were no definite changes in the NMR spectra due to differences of exchanged cations. Comparison of our observation on CO/Pt/L-zeolite with Sharma et al.'s reveals that even when the first moment, the linewidtb, and the relaxation times of the static spectra and the dispersion measured by chemisorption are similar, the properties of Pt particles can be dramatically different. Therefore, it is essential to take advantage of the strengths of several techniques together in order to interpret data reliably, especially for the highly dispersed samples.
Won-Hee Ryu;Ji-Woo Choi;Hyo-Seok Yang;Hyun-Cheol Shin;Chang-Hoon Sim;Jae-Sang Park
Journal of Aerospace System Engineering
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v.17
no.4
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pp.43-57
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2023
The hypervelocity impact simulations of space objects and structures are performed using LS-DYNA. Space objects with spherical, conical, and hollow cylindrical shapes are modeled using the Smoothed Particle Hydrodynamics (SPH). The direct and indirect impact zones of a space structure are modeled using the SPH and finite element methods, respectively. The Johnson-Cook material model and Mie-Grüneisen Equation of State are used to represent the nonlinear behavior of metallic materials in hypervelocity impact. In the hypervelocity impact simulations, various impact conditions are considered, such as the shape of the space object, the thickness of the space structure, the impact angle, and the impact velocity. The shapes of debris clouds are quantitatively classified based on the geometric parameters. Conical space objects provide the worst debris clouds for all impact conditions.
By means of aqueous oxidation in ammonia solution, metallic zinc and sulfur in marmatite were leached. In this study, it was found that the concentration of ammonia was extremely influenced on the oxidation ratio of Zn and S, and the more the leaching temperature was low, the more their leaching ratio was decreased. The maximum leaching ratio to the contents in marmatite was obtained at the following conditions. Particle size 270 mesh above, $NH_3$ conc, 25%, Press. 4.2 kg/$cm_2$, Temp.$ 60 ^{\circ}C$, Time 20hrs. Leaching ratio; Zn 55% and S 50%.
Park Woo-Young;Youn Cheol-Su;Yu Ji-Hun;Oh Young-Woo;Choi Chul-Jin
Korean Journal of Materials Research
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v.14
no.7
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pp.511-515
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2004
Fe nano powders were synthesized by plasma arc discharge (PAD) process and studied by means of X-ray Diffraction (XRD), Transmission Electron Microscopy (TEM) and X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS). Pure Fe rod($99.9\%$) was used as a source of metallic vapor under argon and hydrogen mixed atmosphere. The synthesized Fe nano powders had nearly spherical shapes and core-shell type structures. The influence of process parameters on the structure and size was investigated. The powder size increased with increasing of the chamber pressure and input current. High hydrogen gas ratio in chamber atmosphere affected the particle size and amount of Fe nanopowder.
The ultrafine titanium carbonitride particles ($TiC_{0.7}N_{0.3}$) below 100nm in mean size were successfully synthesized by Mg-thermal reduction process. The nanostructured sub-stoichiometric titanium carbide ($TiC_{0.7}$) particles were produced by the magnesium reduction at 1123K of gaseous $TiC_{l4}+xC_2Cl_4$ and the heat treatments in vacuum were performed for five hours to remove residual magnesium and magnesium chloride mixed with $TiC_{0.7}$. And final $TiC_{0.7}N_{0.3}$ phase was obtained by nitrification under normal $N_2$ gas at 1373K for 2 hrs. The purity of produced $TiC_{0.7}N_{0.3}$ particles was above 99.3% and the oxygen contents below 0.2 wt%. We investigated in particular the effects of the temperatures in vacuum treatment on the particle refinement of final product.
The aim of this study was to evaluate the bond strength of using a Au bonding agent applied on cp-Ti and nonprecious metal-gold-ceramic system. Metallic frameworks(diameter: 5mm, height: 20mm)(N=56, n=7per group) cast in Ni-Cr alloy, Co-Cr alloy and cp-Ti were obtained using acrylic templates and airborne particle abraded with $110{\mu}m$ aluminum oxide. Au bonding agent was applied on wash opaque firing as intermediate layer. SEM and SEM/EDS line profile were performed on the cutting the cross-section of the metal substrate-porcelain with intermediate Au coating. Groups were tested using shear bond strength(SBS) testing at 0.5mm/min. The mean SBS values for the ceramic-Au layer-metal combination were significantly higher than those ceramic-metal combination. While ceramic-Au layer-cp-Ti combinations failed to increase bond strength instead of using a titanium bonding porcelain. The appication of using Au intermediate layer significantly improve the bond strength combination with metal-ceramic system.
The current trend in automotive finishing industry is to use more electrostatic rotating bell (ESRB) need space to their higher transfer efficiency. The flow physics related with the transfer efficiency is strongly influenced by operating parameters. In order to improve their high transfer efficiency without compromising the coating quality, a better understanding is necessary to the ESRB application of metallic basecoat painting for the automobile exterior. This paper presents the results from experimental investigation of the ESRB spray to apply water-borne painting. The visualization, the droplet size, and velocity measurements of the spray flow were conducted under the operating conditions such as liquid flow rate, shaping airflow rate, bell rotational speed, and electrostatic voltage setting. The optical techniques used in here were a microscopic and light sheet visualization by a copper vapor laser, and a phase Doppler particle analyzer (PDPA) system. Water was used as paint surrogate for simplicity. The results show that the bell rotating speed is the most important influencing parameter for atomization processes. Liquid flow rate and shaping airflow rate significantly influence the spray structure. Based on the microscopic visualization, the atomization process occurs in ligament breakup mode, which is one of three atomization modes in rotating atomizer. In the spray transport zone, droplets tend to distribute according to size with the larger drops on the outer periphery of spray. In addition, the results of present study provide detailed information on the paint spray structure and transfer processes.
In view of innovated utilization of Korean clay resources conventional techniques for pulverization are reviewed in comparison with fluid energy milling processes of fluidized-bed type. Throughout experiment indigenous halloysite ores (white grade) after usual pretreatment are employed as typical sample. It is evidenced that grinding by means of porcelain ball mills has limitation in reducing clay particles to less than 10${\mu}{\textrm}{m}$ in diameter regardless of whether it is processed in dry or wet. Upon use of tungsten carbide bull mill particulation to submicron sizes could be effected with relative ease but severe coloration in grey is attended indicating metallic contamination possibly from friction of the grinding apparatus itself. In contrast the modified fluid en ergy milling enables particulation to $\leq$10${\mu}{\textrm}{m}$ in diameter with simultaneous classification int olimited ranges of particle size distributions. Since this technique is in principle based on the interparticle collisions rather than on the frictions between particles and mill surfaces minimum impurity attendance would be an additional advantage. Evidence leads to the conclusion that the fluidized-bed type milling is regarded as highly effective in puverization as well as fractionation of the clay minerals under examination. This is especially so in contemplating high-value and/or high-purity clay products.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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