$SiO_2$ 식각을 위한 판형 Low Angle forward Reflected Neutral Beam 식각장치에 관한 연구
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회 초록집
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- pp.56-56
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- 2003