Measurements of Lattice Strain in $SiO_2/Si$ Interface Using Convergent Beam Electron Diffraction
(수렴성빔 전자회절법을 이용한 $SiO_2/Si$ 계면 부위의 격자 변형량 측정)
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- Applied Microscopy
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- v.25 no.2
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- pp.73-79
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- 1995