Influence of Assisted lon Energy on Properties of Transparent $SiO_x$ Thin Films Deposited by Dual Ion Beam Sputtering (DIBS)
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- 한국세라믹학회:학술대회논문집
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- 한국세라믹학회 2004년도 춘계총회 및 연구발표회 초록집
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- pp.36.3-36.3
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- 2004