$Ta_2O_5$ 의 유전 특성과 안정성에 관한 연구
(The study on dielectric and thermal property of $Ta_2O_5$ Thin-films)
-
- 대한전기학회:학술대회논문집
- /
- 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C
- /
- pp.1487-1489
- /
- 2001