• 한국인터넷방송통신학회논문지
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• 제20권2호
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• pp.133-140
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• 2020

본 논문에서는 고해상도 거리분해능을 가지는 펄스 레이더에서의 고정밀 거리 인지 및 생성 방법에 대해서 다룬다. 레이더의 목표한 거리분해성능을 테스트를 위해서 점검장비를 이용하는데 이때 설계한 거리분해능 이하의 거리를 정확히 인지하고 발생시켜야 한다. 이때 발생하는 거리 정확도는 일반적으로 시스템 기준 클럭(clock) 주파수에 비례한다. 하지만 종래의 방법은 기준 클럭 타이밍을 트리거(trigger)하고 발생시는 프로세스의 입력 기준 클럭이 한계가 있고 설령 이러한 칩이 있다할지라도 매우 고가이다. 이를 해결하기 위해 일반적인 프로세서에서 범용적으로 적용 가능한 위상 변위 합성을 이용한 거리 신호 생성 방법과 구조를 제시하였다. 제안하는 방법을 이용하여 모의 실험을 진행하였으며 종래에 방법에서 발생하는 문제점을 완전 제거하는 결과를 확인하였다.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제20권4호
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• pp.119-124
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• 2021

In a situation where Moore's law, which states that the performance of semiconductor integrated circuits doubles every two years, is showing a limit from a certain point, and it is difficult to increase the performance due to the limitations of exposure technology.In this study, a wafer hybrid method that can increase the degree of integration Various research on bonding technology is currently in progress. In this study, in order to achieve rotational precision between wafers in wafer hybrid bonding technology, modeling of θ_z alignment stage and VCM actuator modeling used for rotational alignment, magnetic field analysis and desgin, control, and evaluation are performed. The system of this study was controlled by VCM actuator, capactive sensor, and dspace, and the working range was ±7200 arcsec, and the in-position and resoultion were ±0.01 arcsec. The results of this study confirmed that safety and precise control are possible, and it is expected to be applied to the process to increase the integration.