• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2007년도 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.148-149
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• 2007

We present the design and fabrication prcoess of a two-axis tilting micromirror device driven by the electrostatic vertical comb actuator. A high aspect-ratio comb actuator is fabricated by multiple DRIE process in order to achieve large scan angle. The proposed fabrication process enables a mirror to be fabricated on the wafer-scale. By bonding a double-side polished (DSP) wafer and a silicon-on-insulator (SOI) wafer together, all actuators on the wafer are completely hidden under the reflectors. Nickel lines are embedded on a Pyrex wafer for the electrical access to numerous electrodes of mirrors. An anodic bonding step is implemented to contact electrical lines with ail electrodes on the wafer at a time. The mechanical angle of a fabricated mirror has been measured to be 1.9 degree and 1.6 degree, respectively, in the two orthogonal axes under driving voltages of 100 V. Also, a $8{\times}8$ array of micromirrors with high fill-factor of 70 % is fabricated by the same fabrication process.

• 한국광물학회지
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• 제20권2호
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• pp.71-81
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• 2007

접촉변성과 열수변질 작용이 중첩되어 형성된 자성 광산의 대리암형 백운석은 대개 98 wt.% 이상의 매우 높은 백운석 함유도를 보이는 고품위백운석으로서 부수적으로 석영, 백운모, 활철석과 같은 불순물을 미량 함유한다. 열수변질 산물로 여겨지는 황철석으로 인해 0.4 wt.% 정도의 상당히 높은 철분 함유 수준을 보이는 것이 특징이다. 대체로 백색을 띠는 이 백운석은 $0.35{\sim}0.46mm$의 결정 입도를 보이며 반자형의 등립상 조직을 이룬다. 이 백운석의 분체 특성은 전형적인 고품위석회석인 풍촌층 석회석에 비해 분쇄 효율, 미분체의 형성 및 입도 분포 면에서는 다소 우수한 것으로 나타난다. 또한 철분 함량을 제외하고는 기타 충전재로서의 품질상의 주요 요소들 즉, 백색도, 흡유율 및 비표면적은 물론 신장비, 형상비, 구형도와 같은 형상 특성 면에서도 결코 뒤떨어지지 않는 분체 특성을 보인다. 이 같은 자성 백운석의 양호한 분체 특성은 원광에서의 기본적으로 높은 백운석 함유도와 비교적 높은 결정도에 기인한 것으로 여겨진다. 이 백운석은 비교적 높은 철분 함량과 황화광물의 혼재로 인해서 금속제련용을 제외한 소성용 용도로는 적합하지 않은 것으로 판단된다. 그렇지만 적절한 선광 공정이 적용된다면 현재 중탄용 석회석이 차지하고 있는 대부분의 충전재 응용 부문에서는 고품위석회석의 대체재로써 충분히 활용이 가능할 것으로 평가된다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.347.1-347.1
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• 2016

Screen printing is commonly used to form the electrode for crystalline silicon solar cells. However, it has caused high resistance and low aspect ratio, resulting in decrease of conversion efficiency. Accordingly, Ni/Cu/Ag plating method could be applied for crystalline silicon solar cells to reduce contact resistance. For Ni/Cu/Ag plating, laser ablation process is required to remove anti-reflection layers prior to the plating process, but laser ablation results in surface damage and then decrease of open-circuit voltage and cell efficiency. Another issue with plating process is ghost plating. Ghost plating occurred in the non-metallized region, resulting from pin-hole in anti-reflection layer. In this paper, we investigated the effect of Ni/Cu/Ag plating on the electrical properties, compared to screen printing method. In addition, phosphoric acid layer was spin-coated prior to laser ablation to minimize emitter damage by the laser. Phosphorous elements in phosphoric acid generated selective emitter throughout emitter layer during laser process. Then, KOH treatment was applied to remove surface damage by laser. At this step, amorphous silicon formed by laser ablation was recrystallized during firing process and remaining of amorphous silicon was removed by KOH treatment. As a result, electrical properties as Jsc, FF and efficiency were improved, but Voc was lower than screen printed solar cells because Voc was decreased due to surface damage by laser process. Accordingly, we expect that efficiency of solar cells could be improved by optimization of the process to remove surface damage.

• 대한기계학회논문집B
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• 제41권6호
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• pp.423-427
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• 2017

본 논문은 silicon-on-glass(SOG) 공정에서 접합력 균일도 향상을 위한 고정단 설계에 대한 내용을 다룬다. SOG 공정은 전극이 형성된 유리 기판층과 실리콘 구조층의 양극접합을 기반으로 하며, 가속도 센서와 공진형 센서를 비롯한 고종횡비 구조를 갖는 다양한 실리콘 센서들의 제작에 널리 사용된다. 본 논문에서는 전극과 유리 기판층의 표면 사이에 발생하는 단차로 인한 불균일한 접합을 방지하기 위해, 실리콘 구조층에서 유리 기판층과 접합되는 부분과 전극과 겹쳐지는 부분을 트렌치(trench)를 이용해 분리하는 새로운 형상의 고정단을 제안한다. 본 고정단은 추가적인 공정 없이 기존의 SOG 공정으로 제작되는 디바이스들에 손쉽게 적용이 가능하다.

• Composites Research
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• 제24권1호
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• pp.45-50
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• 2011

자체-감지능 있는 다기능성 나노복합소재를 위해, 투명하고 전도성 있는 카본나노튜브 (CNT)로 코팅된 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)를 함침 방법으로 제조하였다. CNT 코팅의 전기적 광학적 특정의 변화는 함침 횟수와 CNT용액의 농도에 주로 의존하였다. 결과적으로, CNT 코팅의 표면저항과 투과도는 제조공정의 변수들에 따라 예민하게 조절되었다. CNT 코팅의 표면저항은 4점법과 이중 배열법에 의해 측정되었으며, 광학적 투과도는 UV 스펙트럼을 사용하여 평가하였다. CNT 코팅의 표면특성을 측정한 정적 및 동적 접촉각은 상호 일치함을 보여주었다. 함침 코팅수가 증가함에 따라, CNT코팅한 PET의 표면저항은 현저하게 저하했으나, 투명도는 CNT 네트워크의 특성으로 거의 감소하지 않았다. CNT와 인듐틴옥사이드 (ITO)의 계면 및 전기적 특성들은 피로 시험을 통하여 비교하였다. CNT는 2000회 반복 후에도 표면저항의 변화가 없는 반면에, ITO는 1000회 반복까지 표면저항의 급격한 증가를 보여주었다가 안정화하였다. 이는 형상비가 큰 CNT는 전기 접촉점을 계속 유지하는 반면에, 취성이 있는 ITO는 미세 균열이 발생하여 전지 접촉점을 많이 상실하기 때문이다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제51권6호
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• pp.766-773
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• 2013

본 연구에서는 물리적 강도가 뛰어나고 고온에서 안정하며 유연한 친환경 소재인 박테리아 셀룰로오스를 기반으로 투명 전도성막을 제조하였다. 전기전도성의 확보를 위해 은나노와이어(AgNW)와 그래핀을 도입하였다. 합성한 AgNW는 평균적으로 길이 약 $15{\mu}m$, 폭 약 70 nm로 종횡비 214이었다. 종횡비가 클수록 접촉저항을 낮추어 전도성을 개선시키게 된다. 총 7가지의 막을 제조하고 열적 및 전기적 물성을 조사하였다. 또 전도성막으로 제조하기 위해서 BC막을 칼로 길이 2 mm, 깊이 $50{\mu}m$ 간격으로 홈을 파서 직교상의 그물모양을 형성한 후 이 홈에 AgNW와 그래핀을 채워 넣었다. 대표적으로 AgNW 첨가막은 두께 $350{\mu}m$, 전자농도 $1.53{\times}10^{19}/cm^3$, 전자이동도 $6.63{\times}10^5cm^2/Vs$, 비저항 $0.28{\Omega}{\cdot}cm$로 가장 우수한 전기적 특성을 지닌 것으로 평가되었다. 또한 그래핀 첨가막은 두께 $360{\mu}m$, 전자농도 $7.74{\times}10^{17}/cm^3$, 전자이동도 $0.17cm^2/Vs$, 비저항 $4.78{\Omega}{\cdot}cm$이었다. 550 nm 광투과는 AgNW 첨가막 98.1%, 그래핀 첨가막 80.9%로 투명한 전도성 막이 형성되었다. 모든 막이 평면과 휜 상태에서 LED 점등 실험에서 전구의 밝기에 차이가 있었으나 불이 켜졌다. $150{\pm}5^{\circ}C$의 열판에서 박테리아 셀룰로오스 막은 형태가 매우 안정하였으나 같은 두께의 PET는 형태가 심하게 변형되었다. 이러한 연구 결과를 통해 박테리아 셀룰로오스 기반의 투명전도성막을 제조할 수 있는 가능성을 확인하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제28권7호
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• pp.777-782
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• 2011

Micro features on the surface are well-known to have significant effects on optical or mechanical properties such as the optical interference, reflectance at the surface, contact angle, interfacial friction, etc. These surface micro features are increasingly employed to enhance the functionality of the applications in various application areas such as optical components for LCD or solar panel. Diverse surface features have been proposed and some of them are showing excellent efficiency or functionality, especially in optical applications. Most applications employing the micro features need manufacturing process for mass production and the injection molding and roll-to-roll forming, which are typical processes for mass production adopting polymeric materials, may be also preferred for micro patterned plastic product. Since the functionality or efficiency of the surface structures generally depends on the shape and the size of the structure itself or the array of the structures on the surface, it would be very important to replicate the features very precisely as being designed during the molding the micro pattern applications. In this paper, a series of research activities is introduced for roll-to-roll forming of micro patterned film including filling of patterns with UV curable resin, demolding of surface structures from the roll tool, control of surface energy and cure shrinkage of resin and dispose time and intensity of the UV light for curing of UV curable resin.

• Pediatric Infection and Vaccine
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• 제4권1호
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• pp.64-72
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• 1997

목 적 : 소아의 결핵성 뇌막염은 소아 결핵중 가장 심한 후유증을 남기므로 조기 발견과 치료를 요하는 질환으로 국내에서의 소아 결핵성 뇌막염 발생은 1980년대에 와서 전반적으 로 다른 폐외결핵과 함께 현저히 감소된 양상을 보이고 있다. 그러나 소아 결핵이 소멸되고 있지 않은 우리나라 실정에서 실제 결핵성 뇌막염은 지속적으로 발생되며, 발병이 낮아진 상황으로 인하여 임상 경험 결여와 무관심에 따른 문제점이 예견되고 있다. 이러한 관점에 서 전형적 또는 비전형적 소아 결핵성 뇌막염의 진단, 임상 특성, 합병증 및 예후 등에 관한 임상 연구는 요구되어 본 연구를 시행하게 되었다. 대상 및 방법 : 1985년부터 1996년 사이에 가톨릭의대부속 성모자애 병원, 성가 병원, 성 빈센트 병원, 의정부 성모 병원에 결핵성 뇌막염으로 진단되어 입원 치료 및 경과 관찰이 이루어진 44명의 환아를 대상으로 하였다. 이들 대상 환아들에서 결핵성 뇌막염의 진단적 기준, 초기 임상 특성, 신경학적 단계에따른 예후, 동반 합병증, 뇌 척수액 및 방사선 검사 소견들에 관한 내용을 의무 기록 내용을 통하여 후향적으로 연구하였다. 결과 : 1) 소아 결핵성 뇌막염의 발생은 1980년대 중반 이후에도 지속 되고 있으며, 3세 이하의 연령에서 높은 발병이 관찰되었다. 2) 이 질환의 진단은 활동성 결핵 환자와의 접촉력, 양성 결핵 반응, 항 결핵제 치료 반응, 뇌척수액 및 이외 가검물에서 결핵균 분리 또는 확인된 순으로 이루어 졌다. 이들 환아 들의 16%는 BCG 접종을 실시하지 않은 경우였고, 40%에서만 결핵 반응 검사상 양성이었다. 3) 내원시 주증세는 발열, 구토, 두통, 권면, 식욕 감소, 체중 감소, 경부 강직, 경련, 복통, 운동 장애순이었다. 4) 내원시 신경적 단계는 1단계 59%, 2단계 32%, 3단계 9%이었고, 합병증으로는 경한 신 경 손상이 29.5%, 중한 손상이 4.6% 그리고 사망한 경우가 6.8%이었다. 5) 뇌척수액 검사상 염증 세포가 평균 $239.5/mm^3$, 단백은 펑균 239.5mg%, 당은 40.7mg%이었다. 그러나 31.8%에서 염증 세포, 단백 및 당의 검사 소견이 이와같지 않은 비정형 뇌척수액 소견이 보였다. 6) 입원 약 4병일정도에서 SIADH 소견이 약 45.5%에서 보였으며, 이들중 반 정도에서 SIADH 임상 소견이 관찰되었다. 7) 뇌단층 촬영상 뇌수종, 뇌기저막 음영 증가, 혈류장애, 지주하막 염증순으로 이상 소견 이 34명에서 관찰되었다. 흉부 X선상 속립성 결핵(34.1%), 정상(29.5%), 폐침윤(11.4%), 석회 화 음영(9.1%)의 소견을 보였다. 결 론 : 국내의 소아 결핵은 과거에 비해 뚜렷한 감소를 보였으나 지속적 발생이 관찰되었고, 이들중 비정형 결핵성 뇌막염의 비율이 높아 광범위한 진단적 기준을 활용하여 조기 진단에 많은 고려가 있어야 하며 뇌 영상 검사의 적극적 활용도 필요함을 확인하였다. 그리 고 SIADH에 대한소견도 임상 경과중에 고려해야할 사항으로 인지해야 할 것이다.