• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제37권2호
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• pp.169-174
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• 2024

In this study, the structural, electrical, and optical properties of AZO films of various thicknesses are compared. The AZO films were deposited on a glass substrate by FTS (Facing-Target-Sputtering) This research was conducted to find the optimal thickness for Transparent Conductive Oxide (TCO). AZO has suitable properties for TCO such as low resistivity, and high transmittance. Thin films of all thicknesses showed a transmittance of over 80% in the visible light region and electrical properties improved as thickness increased. It was confirmed that the film of 300 nm thick had the best performance due to its low resistivity, and uniform surface. This research is expected to help find optimal conditions in various fields where TCO is used, such as solar cells, displays, and sensors in the future.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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• pp.66-66
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• 2008

본 연구에서는 ITO/Ag/ITO 다층 박막을 유기발광소자와 플렉시블 광전소자의 전극으로 적용하기 위하여 선형 대항 타겟 스퍼터(Linear facing target sputter) 시스템을 이용하여 성막하였고, ITO/Ag/ITO 다층박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성을 분석하였다. 선형 대항 타겟 스퍼터 시스템은 강한 일방항의 자계와 타겟에 걸린 음극에 의해 전자의 회전, 왕복 운동이 가능해 마주보는 두 ITO 타겟 사이에 고밀도의 플라즈마를 구속 시켜 플라즈마 데미지 없이 산화물 박막을 성막시킬 수 있는 장치이다. 대항 타겟 스퍼터 시스템을 이용하여 성막한 ITO 전극을 DC power, working pressure, Ar/O2 ratio 에 따른 특성을 각각 분석하였다. glass 기판위에 최적화된 ITO 전극을 bottom layer로 두고, bottom ITO layer 위에 thermal evaporation 을 이용하여 Ag 박막을 6~20nm의 조건에 따라 두께를 다르게 성막하고, Ag 박막을 성막한 후에 다시 bottom ITO 전극과 같은 조건으로 ITO 전극을 top layer로 성막 하였다. 두 비정질의 ITO 전극 사이에 매우 앓은 Ag 박막을 성막 함으로 해서 glass 기판위에 ITO/Ag/ITO 다층 박막전극은 매우 낮은 저항과 높은 투과도를 나타낸다. ITO/Ag/ITO 박막의 전기적 광학적 특성을 보기 위해 hall measurement와 UV/visible spectrometer 분석을 각각 진행하였다. ITO/Ag/ITO 다층 박막 전극이 매우 얇은 두께임에도 불구하고 $4\Omega$/sq.의 낮은 면저항과 85%의 높은 투과도를 나타내는 이유는 ITO/Ag/ITO 전극 사이에 있는 Ag층의 표면 플라즈몬 공명 (SPR) 현상으로 설명할 수 있다. ITO/Ag/ITO 전극의 Ag의 거동을 분석 하기위해 FESEM분석과 synchrotron x-ray scattering 분석을 하였다. ITO/Ag/ITO 전극의 Ag층이 islands의 모양에서 연속적으로 연결되는 변화과정 중에 SPR현상이 일어남을 알 수 있다. 여기서, 대항 타겟 스퍼터 시스템을 이용하여 성막한 ITO/Ag/ITO 다층박막을 OLED 또는 inverted OLEDs의 top 전극으로의 적용 가능성을 보이고 있다.

• 한국진공학회지
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• 제17권2호
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• pp.102-108
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• 2008

대향 타겟식 스퍼터링법 (Facing Targets Sputtering)을 이용하여 유리기판위에 증착한 Ag/ZnO 다층 박막의 특성을 연구하였다. Ag 박막의 높은 전도도와 투과율을 나타내는 공정조건을 찾기 위하여, 증착시간, 기판온도 변화에 따른 Ag박막의 특성을 살펴보았으며, ZnO 박막의 두께 변화에 따른 Ag/ZnO 다층박막의 특성을 살펴보았다, 10초간 증착한 Ag 박막은 연속된 막구조를 가지지 못하여, 30초간 증착된 막에 비해 전기적, 광학적 특성이 저하되는 것을 확인할 수 있었다. ZnO 박막의 AFM 측정 결과 박막의 거칠기(Rrms) 값의 변화에 따라 Ag/ZnO박막의 특성에 영향을 미쳤으며, 거칠지 않은 표면을 지닌 박막에서 Ag 박막 증착 시 좋은 특성을 나타냈다. 제작된 박막은 four point probe, UV/VIS spectrometer, AFM을 사용하여 전기적, 광학적, 구조적 특성을 조사하였다. 제작결과 Ag/ZnO 다층박막의 면저항은 9.25 $[\Omega/sq.]$을 나타내었으며, 가시광영역에서 광투과율은 80%이상을 나타내었다.

• 한국진공학회지
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• 제5권2호
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• pp.139-146
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• 1996

rf 마그네트론 스파터링법을 이용하여 투명 전도성 Sb-doped $SnO_2$ 박막을 증착하였으나 박막표면에서 막손상현상이 발생하였다. 특히 기판 중심부 및 타게트 부식부위에 대응하는 부분에서 발생된 막손상을 방지하고자 , 환원형의 마스크 유리가 타게트표면에서 1.5cm지점에 설치되었다. 또한 마그네트론 스파터링의 작동조건인 rf전력, 스파터링 가스압력 및 기판온도를 최적으로 조절하면서 박막의 균일성과 전기적 특성을 평가하였다. 작동조건을 이용한 실험결과에서 균일하고 막손상이 없는 박막을 증착하는 최적온도는 압력 변화에 따라 변하며, 비율은 50w의 rf전력에서 5mTorr당 약 $100^{\circ}C$정도였다. 유사하게 rf 전력？ md가에 대한 보상에서 최적온도는 적절한 비율로 내려간다.

• 한국재료학회지
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• 제26권4호
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• pp.207-211
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• 2016

Ti films were deposited on glass substrates under various preparation conditions in a chamber of two-facing-target type dc sputtering; after deposition, the electric resistivity values were measured using a conventional four-probe method. Crystallographic orientations and microstructures, including the texture and columnar structure, were also investigated for the Ti films. The morphological features, including the columnar structures and surface roughness, are well explained on the basis of Thornton's zone model. The electric resistivity and the thermal coefficient of the resistivity vary with the sputtering gas pressure. The minimum value of resistivity was around 0.4 Pa for both the $0.5{\mu}m$ and $3.0{\mu}m$ thick films; the apparent tendencies are almost the same for the two films, with a small difference in resistivity because of the different film thicknesses. The films deposited at high gas pressures show higher resistivities. The maximum of TCR is also around 0.4 Pa, which is the same as that obtained from the relationship between the resistivity and the gas pressure. The lattice spacing also decreases with increasing sputtering gas pressure for both the $0.5{\mu}m$ and $3.0{\mu}m$ thick films. Because they are strongly related to the sputtering gas pressures for Ti films that have a crystallographic anisotropy that is different from cubic symmetry, these changes are well explained on the basis of the film microstructures. It is shown that resistivity measurement can serve as a promising monitor for microstructures in sputtered Ti films.

• 한국태양에너지학회 논문집
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• 제40권5호
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• pp.1-12
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• 2020

To assess the performance and characteristics of colored building-integrated photovoltaic (BIPV) modules, a comparative assessment of empirical performance was conducted on colored BIPV modules (gray, blue, and orange) and general BIPV module. These modules were installed on the south-facing slope (30°) for comparative assessment through a field test. Monitoring data were collected every 10 min from December 20, 2019 to January 21, 2020 and used to performance and characteristics analysis. Performance ratio and module efficiency were utilized during performance indexing for comparative assessment. For general BIPV modules, the operational efficiency was analyzed at 16.63%, whereas for colored BIPV modules, 13.70% (gray), 15.12 % (blue), and 14.49% (orange) were analyzed. It was discovered that the efficiency reduction caused by transmission losses owing to the application of colored cover glasses were 17.74% (gray), 9.05% (blue), and 9.86 % (orange), under field testing conditions. These values turned on an additional 7% reduction in efficiency for gray BIPV modules, compared to the degradation resulting from transmission drop (gray: 10.87%, blue: 8.99%, and orange: 9.02%) calculated using the efficiency of each module in standard test conditions (STC). Performance ratio analysis resulted in the following values: 0.92 for general BIPV modules, and 0.85 (gray), 0.91 (blue), and 0.91 (orange) for colored BIPV modules. As demonstrated by the above results, modules with a colored cover glass may differ in their operational performance depending on their color, unlike general modules. Therefore, in addition to the performance evaluation under STC, additional factors of degradation require consideration through field test.

• 대한소아치과학회지
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• 제26권2호
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• pp.284-295
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• 1999

아말감의 단점인 건전 치질 삭제와 미세 누출을 줄이기 위한 접착 아말감(bonded amalgam)에 사용되는 치과용 접착제의 접착 강도를 측정하고 파절면을 관찰하여 콤포지트 레진과 비교 평가하였다. 발거한 우전치의 순면을 직경 8mm의 원형으로 천공하여 얻은 부분을 순면이 바깥쪽으로 향하도록 아크릴릭 레진 블록에 매몰하여 상아질과 법랑질군을 각각 55개씩 준비하였다. 1군:Superbond C&B, 2군:Panavia 21, 3군:All-Bond 2, 4군:Fuji I Glass Ionomer Luting Cement, 5군:Scotchbond Multi-Purpose(Restorative Z-100)의 5개 군으로 나누어 지름 6.3mm, 깊이 1.5mm의 구멍이 뚫린 충전용 틀(mold)을 위치시키고 표면을 접착제로 처리한 후 아말감 충전을 하였다. 5군은 레진 충전 후 40초간 광중합하였다. 각 시편은 아말감 충전 24시간 후 접착 강도 측정용 기구에 장착하고 만능 시험기에서 0.2mm/min의 cross-head 속도로 하중을 가하여 시편이 탈락할 때까지의 하중값(kg)을 측정하고, 파절면을 검사하여 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 상아질군에서 1, 2, 4군은 5군에 비하여 통계학적으로 유의성 있게 낮은 접착 강도를 보였다(P<0.05). 2. 법랑질군에서 4군은 5군에 비하여 통계학적으로 유의성 있게 낮은 접착 강도를 보였다(P<0.05). 3. 2군에서는 상아질군에서 법랑질군에 비하여 통계학적으로 유의성 있게 낮은 접착 강도를 보였으나(P<0.05), 다른 접착제에서는 상아질군과 법랑질군에서의 접착 강도가 유의성 있는 차이를 보이지 않았다(P>0.05). 4. Cohesive failure는 1E군과 5D군에서 관찰되었고, mixed failure는 1, 5군에서 관찰되었으며, 2, 3, 4군에서는 adhesive failure만 관찰되었다.