Ar/$CI_2$ 식각 후 SBT 박막의 표면에 관한 연구
(The Study on the surface of SBT Thin Film after Etching in Ar/$CI_2$ Plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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- pp.363-366
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- 2000