The present work proposes an improved numerical simulator for design and modification of large area capacitively coupled plasma (CCP) processing chamber. CCP, as notoriously well-known, demands the tremendously huge computational cost for carrying out transient analyses in realistic multi-dimensional models, because electron dissociations take place in a much smaller time scale (${\Delta}t{\approx}10-8{\sim}10-10$) than time scale of those happened between neutrals (${\Delta}t{\approx}10-1{\sim}10-3$), due to the rf drive frequencies of external electric field. And also, for spatial discretization of electron flux (Je), exponential scheme such as Scharfetter-Gummel method needs to be used in order to alleviate the numerical stiffness and resolve exponential change of spatial distribution of electron temperature (Te) and electron number density (Ne) in the vicinity of electrodes. Due to such computational intractability, it is prohibited to simulate CCP deposition in a three-dimension within acceptable calculation runtimes (<24 h). Under the situation where process conditions require thickness non-uniformity below 5%, however, detailed flow features of reactive gases induced from three-dimensional geometric effects such as gas distribution through the perforated plates (showerhead) should be considered. Without considering plasma chemistry, we therefore simulated flow, temperature and species fields in three-dimensional geometry first, and then, based on that data, boundary conditions of two-dimensional plasma discharge model are set. In the particular case of SiH4-NH3-N2-He CCP discharge to produce deposition of SiNxHy thin film, a cylindrical showerhead electrode reactor was studied by numerical modeling of mass, momentum and energy transports for charged particles in an axi-symmetric geometry. By solving transport equations of electron and radicals simultaneously, we observed that the way how source gases are consumed in the non-isothermal flow field and such consequences on active species production were outlined as playing the leading parts in the processes. As an example of application of the model for the prediction of the deposited thickness uniformity in a 300 mm wafer plasma processing chamber, the results were compared with the experimentally measured deposition profiles along the radius of the wafer varying inter-electrode gap. The simulation results were in good agreement with experimental data.
Background: In ecosystem carbon cycle studies, distinguishing between $CO_2$ emitted by roots and by microbes remains very difficult because it is mixed before being released into the atmosphere. Currently, no method for quantifying root and microbial respiration is effective. Therefore, this study investigated the relationship between soil respiration and underground root biomass at varying distances from the tree and tested possibilities for measuring root and microbial respiration. Methods: Soil respiration was measured by the closed chamber method, in which acrylic collars were placed at regular intervals from the tree base. Measurements were made irregularly during one season, including high temperatures in summer and low temperatures in autumn; the soil's temperature and moisture content were also collected. After measurements, roots of each plot were collected, and their dry matter biomass measured to analyze relationships between root biomass and soil respiration. Results: Apart from root biomass, which affects soil's temperature and moisture, no other factors affecting soil respiration showed significant differences between measuring points. At each point, soil respiration showed clear seasonal variations and high exponential correlation with increasing soil temperatures. The root biomass decreased exponentially with increasing distance from the tree. The rate of soil respiration was also highly correlated exponentially with root biomass. Based on these results, the average rate of root respiration in the soil was estimated to be 34.4% (26.6~43.1%). Conclusions: In this study, attempts were made to differentiate the root respiration rate by analyzing the distribution of root biomass and resulting changes in soil respiration. As distance from the tree increased, root biomass and soil respiration values were shown to strongly decrease exponentially. Root biomass increased logarithmically with increases in soil respiration. In addition, soil respiration and underground root biomass were logarithmically related; the calculated root-breathing rate was around 44%. This study method is applicable for determining root and microbial respiration in forest ecosystem carbon cycle research. However, more data should be collected on the distribution of root biomass and the correlated soil respiration.
This paper is aimed at predicting the life of rubber insulating gloves under normal operating stresses from relatively rapid test performed at higher stresses. Specimens of rubber insulating gloves are subject to multiple stress conditions, i.e. combined electrical and thermal stresses. Two modes of electrical stress, step voltage stress and constant voltage stress are used in specimen aging. There are two types of test for electrical stress in this experiment: the one is Breakdown Voltage (BDV) test under step voltage stress and thermal stress and the other is lifetime test under constant voltage stress and temperature stress. The ac breakdown voltage defined as the break-down point of insulation that leakage current excesses a limit value, l0mA in this experiment, is determined. Because the very high variability of aging data requires the application of statistical model, Weibull distribution is used to represent the failure times as the straight line on Weibull probability paper. Weibull parameters are deter-mined by three statistical methods i.e. maximum likelihood method, graphical method and least squares method, which employ SAS package, Weibull probability paper and FORTRAN, respectively. Two chosen models for predicting the life under simultaneous electrical and thermal stresses are inverse power model and exponential model. And the constants of life equation for multistress aging are calculated using numerical method, such as Gauss Jordan method etc.. The completion of life equation enables to estimate the life at normal stress based on the data collected from accelerated aging test. Also the comparison of the calculated lifetimes between the inverse power model and the exponential model is carried out. And the lifetimes calculated by three statistical methods with lower voltage than test voltage are compared. The results obtained from the suggested experimental method are presented and discussed.
The effects of the interaction between flow field and heat transfer caused by the longitudinal vortices are experimentally investigated using a five hole probe and a transient liquid crystal technique. The test facility consists of a wind tunnel with vortex generators protruding from a bottom surface and a mesh heater. In order to control the strength of the longitudinal vortices, the angle of attack of vortex generators used in the present experiment is 20$^{\circ}$, and the spacing between the vortex generators is 25mm. The height and cord length of the vortex generator is 20mm and 50mm, respectively. Three-component mean velocity measurements are made using a f-hole probe system, and the surface temperature distribution is measured by the hue capturing method using a transient liquid crystal technique. The transient liquid crystal technique in measuring heat transfer has become one of the most effective ways in determining the full surface distributions of heat transfer coefficients. The key point of this technique is to convert the inlet flow temperature into an exponential temperature profile using the mesh heater set up in the wind tunnel. The conclusions obtained in the present experiment are as follows: The two maximum heat transfer values exist over the whole domain, and as the longitudinal vortices move to the farther downstream region, these peak values show the decreasing trends. These trends are also observed in the experimental results of other researchers to have used the uniform heat flux method.
In this study, we performed numerical analysis for 1 kWe SOFC stack of internal manifold types according to the different manifold sizes to verify the influence of the flow uniformity into each cell. To simulate the flow phenomena in the stack, the continuity and momentum conservation equations including the standard k-𝜺 turbulent model for the steady-state conditions were applied. From the calculation results, we verified that the pressure drop from inlet pipes to outlet pipes decreased to a log scale as the manifold size increased in the internal manifold types. Also, we found that the flow uniformity increased on an exponential scale as the manifold size increased. In addition, the calculation results showed that the flow uniformity gradually improved as the fuel and oxygen utilization increased.
Electromagnetic (EM) waves used to send signals under seawater are normally restricted to low frequencies (f) because of sudden exponential increases of attenuation (𝛼) at higher f. The mathematics of EM wave propagation in seawater demonstrate dependence on relative permeability (𝜇r), relative permittivity (𝜀r), conductivity (𝜎), and f of transmission. Estimation of 𝜀r and 𝜎 based on the W. Ellison interpolation model was performed for averaged real-time data of temperature (T) and salinity (S) from 1955 to 2012 for all oceans with 41 088 latitude/longitude points and 101 depth points up to 5500 m. Estimation of parameters such as real and imaginary parts of 𝜀r, 𝜀r', 𝜀r", 𝜎, loss tangent (tan 𝛿), propagation velocity (Vp), phase constant (𝛽), and α contributes to absorption loss (La) for seawater channels carried out by using normal distribution fit in the 3 GHz-40 GHz f range. We also estimated total path loss (LPL) in seawater for given transmission power Pt and antenna (dipole) gain. MATLAB is the simulation tool used for analysis.
Spatial and temporal aspects of toxic dinoflagellate Cochlodinium.p blooms and consequences of physical features in complex coastal ecosystems, off the southern Korean coast, have been investigated using data obtained from SeaWiFS and AVHRR as well as in-situ observations. Hydrographic parameters measured using CTD sensors were used to elucidate physical factors affecting the spatial distribution and abundance of Cochlodinium.p blooms. The results show spatial and temporal variations of chlorophyll-a (Chl-a) and sea surface temperature (SST) and reveal significant information about Cochlodinium.p blooms and process underlying their evolution. Satellitederived Chl-a estimates appear to be potential in explicating the evolution, movement and distribution of Cochlodinium.p blooms in the enclosed bays of the South Sea. The existence of thromohaline waters offshore provide favorable conditions for the rapid growth and subsequent southward initiation of Cochlodinium.p blooms that are influenced to flow on the offshore branch (OB) during September. It was observed that there was a significant variation in the sun-induced chlorophyll-a fluorescence signal in the remote sensing fluorescence spectra and its high-intensity was recognized during the period of exponential growth and physical transport. Satellite-derived Chl-a concentration during September 1999 ranged between $360mg/m^3$ inside the Jin-hae and adjacent Bays and $1-6mg/m^3$ in offshore waters, with varying Cochlodinium.p abundances 1500 to 26000 cells $ml^{-1}.$ The closely spaced CTD surveys and satellite-derived SST give a complete overview on the initiation of Cochlodinium.p blooms in hydrodynamically active regions of the offshore southern East Sea by the influence of Tsushima Warm Current (TWC).
An analytical formulation and solution process for the buckling analysis of porous magneto-electro-elastic functionally graded (MEE-FG) beam via different thermal loadings and various boundary conditions is suggested in this paper. Magneto electro mechanical coupling properties of FGM beam are taken to vary via the thickness direction of beam. The rule of power-law is changed to consider inclusion of porosity according to even and uneven distribution. Pores possibly occur inside FGMs due the result of technical problems that lead to creation of micro-voids in these materials. Change in pores along the thickness direction stimulates the mechanical and physical properties. Four-variable tangential-exponential refined theory is employed to derive the governing equations and boundary conditions of porous FGM beam under magneto-electrical field via Hamilton's principle. An analytical model procedure is adopted to achieve the non-dimensional buckling load of porous FG beam exposed to magneto-electrical field with various boundary conditions. In order to evaluate the influence of thermal loadings, material graduation exponent, coefficient of porosity, porosity distribution, magnetic potential, electric voltage and boundary conditions on the critical buckling temperature of the beam made of magneto electro elastic FG materials with porosities a parametric study is presented. It is concluded that these parameters play remarkable roles on the buckling behavior of porous MEE-FG beam. The results for simpler states are proved for exactness with known data in the literature. The proposed numerical results can serve as benchmarks for future analyses of MEE-FG beam with porosity phases.
일본 미카와만의 연안 모니터링 부이에서 연속 관측한 수온 및 염분자료를 이용하여 성층의 시간적인 변화 양상을 분석하였다. 분석결과 우선 성층은 뚜렷하고 우세한 1년 주기의 변화 양상을 보이고 있으며, 표층과 저층의 밀도차이로 정의되는 성층강도는 강도가 증가할수록 발생빈도는 기하급수적으로 감소하는 양상을 보이는 것으로 파악되었다. 한편 성층강도의 발생빈도 분포는 정규분포 형태와는 다른 대수 정규분포 또는 지수분포 형태에 보다 근접한 것으로 파악되었다. 수온과 염분의 분산도 분석결과, 저층은 직선 형태의 변화 양상을 보이고 있으나 표층은 곡선 또는 고리(loop) 형태의 변화양상을 보이고 있는 것으로 파악되었다. 한편 성층강도 추정오차를 분석한 결과, 월 4회 관측빈도의 자료를 이용한 오차범위는 본 연구에서와 같이 관측부이의 1일 연속자료를 이용한 오차범위보다 4.45배 이상 증가하는 것으로 파악되었다.
가무락조개(Cyclina sinensis)에 의한 방사성핵종(放射性核種) $^{137}Cs$의 흡수(吸收)와 잔류(殘留)에 미치는 온도(溫度)의 영향을 알기 위하여 실험실 조건하에서 조사(調査)한 결과는 다음과 같다. 1) 가무락조개는 $15^{\circ}C$에서 적응(適應)시킨 것보다 $25^{\circ}C$에서 적응시킨 경우에 더 높은 생물농축계수(生物濃縮係數)를 나타냈다. 2) 가무락조개를 14일간 $^{137}Cs$에 노출시킨 후의 생물농축계수(生物濃縮係數)는 여러 조직(組織)중에서 내장(內臟)이 가장 높았으나 조직간(組織間) $^{137}Cs$의 분포상(分布相)은 노출온도에 의하여 큰 영향을 받지 않았다. 3) 가무락조개에 의한 $^{137}Cs$의 흡수속도(吸收速度)는 노출온도 $25^{\circ}C$에서 보다는 $15^{\circ}C$에서 약간 높이 나타났으며 5주간 노출후의 생물농축계수(生物濃縮係數)는 최고 5.5에 도달하였다. 4) 가무락조개에 의하여 흡수(吸收)된 $^{137}Cs$은 방사성핵종(放射性核種)이 없는 바다물에 노출시 이단계(二段階) 모델에 의하여 다시 방출(放出)되었다. 흡수(吸收)된 $^{137}Cs$ 중 장수명성분(長壽命成分)의 생물학적(生物學的) 반감기(半減期)는 노출온도가 $10^{\circ}C$상승함에 따라 $\frac{1}{2}$로 감소되었으나 단수명성분(短壽命成分)의 그것은 변화되지 않았다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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