Air Damping Evaluation for Laterally Driven Electrostatic Repulsive-Force Microactuators Using Creeping Flow Model (수평 구동형 정전 반발력 마이크로엑추에이터의 Creeping 유동 모델에 의한 공기 감쇠)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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- v.50 no.11
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- pp.581-588
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- 2001