Compensation of Five DOF Motion Errors in a Ultra Precision Hydrostatic Table Using the Active Controlled Capillaries (능동제어모세관을 이용한 초정밀 유정압테이블의 5 자유도 운동 오차 보정)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2005.06a
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- pp.769-772
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- 2005