Design, Fabrication, Static Test and Uncertainty Analysis of a Resonant Microaccelerometer Using Laterally-driven Electrostatic Microactuator (수평구동형 정전 액추에이터를 이용한 금속형 공진가속도계의 설계, 제작, 정적시험 및 오차분석)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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- v.25 no.3
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- pp.520-528
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- 2001