• 제목/요약/키워드: driving frequency

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Research to Achieve Uniform Plasma in Multi-ground Capacitive Coupled Plasma

  • 박기정;이윤성;유대호;이진원;이정범;장홍영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.247.1-247.1
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    • 2014
  • The capacitive coupled plasma is used widely in the semiconductor industries. Especially, the uniformity of the industrial plasma is heavily related with defect ratio of devices. Therefore, the industries need the capacitive coupled plasma source which can generate the uniform plasma and control the plasma's uniformity. To achieving the uniformity of the large area plasma, we designed multi-powered electrodes. We controlled the uniformity by controlling the power of each electrode. After this work, we started to research another concept of the plasma device. We make the plasma chamber that has multi-ground electrodes imaginary (CST microwave studio) and simulate the electric field. The shape of the multi-ground electrodes is ring type, and it is same as the shape of the multi-power electrodes that we researched before. The diameter of the side electrode's edge is 300mm. We assumed that the plasma uniformity is related with the impedance of ground electrodes. Therefore we simulated the imaginary chamber in three cases. First, we connected L (inductor) and C (capacitor) at the center of multi-ground electrodes. Second, we changed electric conductivity of multi-ground electrode. Third, we changed the insulator's thickness between the center ground electrode and the side ground electrode. The driving frequency is 2, 13.56 and 100 MHz. We switched our multi-powered electrode system to multi-ground electrode system. After switching, we measured the plasma uniformity after installing a variable vacuum capacitor at the ground line. We investigate the effect of ground electrodes' impedance to plasma uniformity.

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Characteristics of Nonthermal Plasma Source in Various Liquids

  • Lim, Seung-Ju;Min, Boo-Ki;Taylor, Nathan;Kim, Tae-Gyu;Kim, Hyeong-Seok;Yang, Seon-Pil;Jung, Jin-Yong;Han, Jin-Hyun;Lee, Jong-Yong;Kang, Seung-Oun;Choi, Eun Ha
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.259.1-259.1
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    • 2014
  • Recently non-thermal plasma has been frequently applied to various research fields. The liquid plasma have received much attention lately because of interests in surgical and nanomaterial synthesis applications. Especially, intensive researches have been carried out for non-thermal plasma in liquid by using various electrode configurations and power supplies. We have developed a bioplasma source which could be used in a liquid, in which outer insulator has been covered onto the outer electrode. Also we have also put an insulator between the inner and outer electrode. Based on the surface discharge mode, the nonthermal bioplasma has been generated inside a liquid by using an alternating current voltage generator with peak voltage of 12 kV under driving frequency of 22 KHz. Here the discharge voltage and current have been measured for electrical characteristics. Especially, We have measured discharge and optical characteristics under various liquids of deionized (DI) water, tap water, and saline by using monochromator. We have also observed nitric oxide (NO), hydrogen peroxide (H2O2), and hydroxyl (OH) radical species by optical emission spectroscopy during the operation of bioplasma discharge inside various kinds of DI water, tap water, and saline. Here the temperature has been kept to be $40^{\circ}C$ or less when discharge in liquid has been operated in this experiment. Also we have measured plasma temperature by high speed camera image and density by using either H-alpha or H-beta Stark broadening method.

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소셜 네트워크 환경에서 GPS기반 증강현실 시스템 (GPS-based Augmented Reality System for Social Network Environment)

  • 양승의;유걸;정회경
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제17권3호
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    • pp.762-767
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    • 2013
  • 최근 증강현실(Augmented Reality, AR)에 대한 연구가 활발히 진행 중이고, 소셜 네트워크 시스템(Social Network System)에 증강현실 기능의 추가 필요성이 부각되고 있다. 본 논문에서는 소셜 네트워크를 위한 GPS기반 증강현실 시스템을 제안한다. 제안한 시스템은 페이스북(facebook)에서 친구 목록을 자동으로 동기화하여 최근 체크인 좌표를 추가하고, AR을 이용하여 추가된 위치 좌표를 실제 환경에서 표현하는 시스템이다. 기존 이용자들이 사용했던 마커기반 AR 시스템은 핸드 장치 구동에 필요한 프로세싱 빈도와 저장 공간의 소모가 많다. 그러나, 위치기반 AR어플리케이션은 기존 마커기반 AR 시스템의 단점을 해결 할 수 있다. 따라서, 본 논문의 시스템은 향후 iOS 핸드 장치를 가지고 있는 사용자가 GPS기반 AR 시스템을 Wifi와 4G 네트워크에 대해 최적의 속도를 자동으로 검색하여 소셜 네트워크 서비스의 제공이 가능하다.

좁은 Channel에서의 자기적 Creep (Magnetic Creep in Narrow Channel)

  • 박영문
    • 전기의세계
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    • 제23권2호
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    • pp.55-61
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    • 1974
  • Nature of magnetic creep phenomena in low coercive force films(Ni 80%-Fe 20%) in form of narrow channels imbedded in high coercive force films is studied in this work. Aluminium is evaporated on the hot glass substrate and eched free in the shape of narrow channels by photoetoetching method. then, Permalloy(Ni 80%, Fe 20%) is deposited on these Aluminium substrate under the uniform field of 30(Oe) to introduce anisotropy. Permalloy film on Al has a high coercive force and one on the substrate devoid of Al has how coercive force. Magnetic revers domain which is introduced at the end of channel grows under the a.c field in hard axis direction, in spite of very weak d.c field in easy axis direction. This creeping is investigated as a function of external fields and channel widths. Permalloy film thickness is 500.angs.-900.angs. and channel widths are 40, 51, 65, 81, 115.mu. respectively. Creeping increases as external field increases while it decreases with channel width decrease. Creep velocity in channels depends on the a.c field along hard axis, d.c field along easy axis and channel widths and its range is 1-10cm/sec in this experiment. From study of dependence of creep velocity on channel width, it can be concluded that creep velocity is expressed in form of v=v$_{0}$ exp .alpha.(H-H$_{0}$) where .alpha. is a function of a.c field along hard axis and H is driving d.c field along easy axis, H$_{0}$ is not a coercive force of film as usuall expected but the d.c threshold field along easy axis which is a function of channel width. This characteristic is also confirmed by the study of dependence of creep velocity upon easy axis field strength. Value of .alpha. obtained is 1.3-2.3cm/sec We depending upon film charactor, hard axis field strength and frequency.uency.

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FolksoViz: Wikipedia 본문을 이용한 상하위 관계 기반 폭소노미 시각화 기법 (FolksoViz: A Subsumption-based Folksonomy Visualization Using the Wikipedia)

  • 이강표;김현우;장충수;김형주
    • 한국정보과학회논문지:컴퓨팅의 실제 및 레터
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    • 제14권4호
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    • pp.401-411
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    • 2008
  • 다수의 사용자들의 협력태깅으로 생성되는 폭소노미는 웹 2.0을 이끌고 있는 대표적인 요소이다. 태그는 어떤 웹 문서를 기술하는 웹 메타데이타라고 할 수 있는데, 협력태깅으로 이루어진 태그들 사이의 의미적인 상하위 관계를 밝혀내 이를 시각화한다면, 사용자들이 문서의 메타데이타를 보다 직관적으로 이해하는 데 도움을 줄 수 있다. 이에 본 논문에서는 del.icio.us의 태그들을 대상으로 하여, Wikipedia 텍스트를 이용한 태그들간 상하위 관계 산출 기법을 제안한다. 이를 위해 태그들이 Wikipeida 텍스트상에서 출현하는 빈도수를 기반으로 태그들간 상하위 관계를 산출하는 통계적인 모델링을 제안하였고, 각각의 태그를 그에 상응하는 Wikipedia 텍스트에 매핑시키는 TSD 기법을 제안하였다. 이렇게 산출된 상하위 관계 짝들은 시각화 기법을 통하여 효과적으로 화면에 표현되었다. 실제로 우리가 제안하는 알고리즘이 태그들간의 상하위 관계들을 높은 정확도로 찾아내었음을 실험을 통해 확인하였다.

유압밸브 구동용 서보 액추에이터의 신뢰성 향상을 위한 설계 파라미터 도출 (Inducement of Design Parameters for Reliability Improvement of Servo Actuator for Hydraulic Valve Operation)

  • 성백주;김도식
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제38권5호
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    • pp.475-482
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    • 2014
  • 유압밸브 구동용 서보 액추에이터는 항공기, 자동차의 유압시스템 그리고 산업용 유압시스템의 정밀한 작동에 중요한 장치이다. 서보 액추에이터의 신뢰성 있는 동작은 전체 유압시스템의 정밀한 제어에 큰 영향을 미친다. 서보 액추에이터의 주파수 응답특성, 스텝 응답특성과 같은 응답특성은 액추에이터의 성능을 판단하는 중요한 기준이 된다. 본 논문에서는 신뢰성해석을 통해 신뢰성 있는 동작과 응답특성을 만족시키기 위한 구성 부품에 대한 분석을 실시하였다. 또한 신뢰성 있는 동작과 빠른 응답성을 구현하기 위해 현장의 경험적 지식과 문헌 및 전문가의 전자기 이론을 통해 유압밸브 구동용 서보 액추에이터의 설계 파라미터를 도출하였다. 보빈, 요크, 플런저의 설계값, 그리고 코일의 감긴 수와 같은 서보 액추에이터의 설계값들을 결정하는 설계 파라미터를 제안하고, 설계방정식을 통해 산출한 설계값을 유한요소해석을 통해 타당성을 검증하였다. 또한 서보 액추에이터가 장착된 유압밸브의 성능시험을 통해 제안한 설계 방안의 타당성을 검증하였다.

터보 냉동기의 변동 기어하중을 고려한 로터다이나믹 해석 Part II : 피동 고속 압축기 피니언-임펠러 로터-베어링 시스템 (Rotordynamic Analysis of a Turbo-Chiller with Varying Gear Loadings Part II : A Driven High-Speed Compressor Pinion-Impeller Rotor-Bearing System)

  • 이안성;정진희
    • 소음진동
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    • 제9권5호
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    • pp.1042-1049
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    • 1999
  • In the Part I has been reported a rotordynamic analysis of the driving motor-bull gear rotor-bearing system of a turbo-chiller. In this study, Part II, a rotordynamic analysis is performed with the turbo-chiller compressor pinion-impeller rotor system supported on two fluid film bearings. The pinion-impeller rotor system is driven to a rated speed of 14,600 rpm through a speed-increasing pinion-bull gear. It is modeled utilizing the finite element method for analysis. As loadings on the bearings due to the gear action are significant in the system considered, each resultant bearing load is calculated statically by considering the generalized forces of the gear action as well as the rotor itself. The two support bearings, the generalized forces of the gear action as well as the rotor itself. The two support bearings, partial and 3-axial groove bearings, are designed to take their varying loads along with their varying load angles, and they are also analyzed to give their rotordynamic coefficients. Then, a complex rotordynamic analysis of the compressor pinion-impeller rotor-bearing system is carried out to evaluate its stability, whirl natural frequencies and mode shapes, and unbalance responses under various loading conditions. Results show that the bearings and entire rotor system are well designed regardless of operating conditions, i.e., loads and operating speeds.

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감속기 내부 기어의 가공정밀도와 구동간 소음의 연관특성에 관한 연구 (Analysis of the Relation Between Machining Accuracy of Internal Gear and Noise in Reduction Gears)

  • 박성필;김우형;정진태
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제36권5호
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    • pp.537-543
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    • 2012
  • 본 연구는 운전조건 하에서 감속기 내부기어의 가공정밀도와 소음의 연관 특성에 관한 실험적 연구이다. 이를 위하여 유성기어열로 이루어진 감속기를 제작하였으며, 내부 기어는 정밀도를 다르게 가공한 기어로서 4 세트를 제작하여 비교 실험하였다. 감속기에 대한 소음 및 진동 신호는 신호분석법에 의해 채집되었으며, 정지상태로부터 운전 가능 최고 속도까지 균등하게 증속하며 신호를 채집하였다. 또한 소음 레벨은 소음계를 이용하여 측정하여 비교하였다. 기어의 가공정밀도에 대한 평가는 한국 산업기술 시험원(ktl)에 의뢰하여 일본공업규격(JIS)에 준하여 객관적으로 평가되었으며, 이를 소음, 진동 신호와 함께 비교 분석하였다.

IPMC 작동기로 구동되는 초소형 비행체 날개의 공기흐름 조절용 ZNMF(zero-net-mass-flux) 펌프의 예비설계 및 해석 (Design and Analysis of IPMC Actuator-driven ZNMF Pump for Air Flow Control of MAV's Wing)

  • 이상기;김광진;박훈철
    • 한국항공우주학회지
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    • 제34권3호
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    • pp.22-30
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    • 2006
  • 본 논문은 초소형 비행체 날개 주위의 공기흐름 조절을 위한 IPMC 작동기로 구동되는 ZNMF 펌프의 체계적인 설계 및 해석 기법을 소개한다. IPMC는 낮은 인가전압에서 큰 굽힘 변위를 발생시키며, 공기 중에서도 작동이 가능하고, 작은 크기로 손쉽게 제작할 수 있기 때문에 소형 펌프의 작동 막으로 매우 적합한 재료이다. 본 연구에서는 수치해석 기법을 이용하여 최대 작동 체적을 발생시키는 IPMC 작동 막의 최적 형상을 찾고, 이러한 최적형상에 기초하여 슬롯을 갖는 ZNMF 펌프를 설계하였다. 이후 초소형 비행체의 비행속도, 펌프 작동 막의 구동 주파수(~ 40 Hz), 슬롯을 통과하는 공기의 속도 등을 이용하여 무차원화 된 진동수와 모멘텀 계수를 구하였고, 설계된 ZNMF 펌프가 초소형 비행체 날개의 공기흐름 조절에 적용이 가능함을 보였다.

도난방지 및 구조신호 전송기능이 있는 저가형 농용트랙터 블랙박스 개발 (Development of an Inexpensive Black Box with Transmission of SOS and Theft Signal for an Agricultural Tractor)

  • 김유용;신승엽;김병갑;김형권;김진오;조용호
    • Journal of Biosystems Engineering
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    • 제37권6호
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    • pp.352-358
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    • 2012
  • Purpose: The inexpensive black box system was developed to acquire and save driving information, to give the slope information, and to transmit SOS and theft signal. Method: The device consists of a main micro controller to acquire and save data, a GPS sensor module, a CDMA module, a touch LCD module, a RF (Radio Frequency) ID module, a SD (Secure Digital) card module, an emergency electric power source, a theftproof circuit, and a sensing device. The sensing device consists of a 8 bit micro controller, a accelerometer to detect impulse, two slope sensors to detect roll and pitch angle and a circuit to detect operation of 6 lighting devices. Results: Test results are as follows: 1) a tractor can be start up only with an electronic key (password or RFID card), 2) theft signal was transmitted when a tractor moved without an electronic key, 3) SOS was transmitted at conditions that rollover or crash happened. 4) 5 more than per 1s data are recorded at 5 minute intervals as new file name in SD card. Conclusions: This system can be used to save travelling record, reduce accident, prevent theft and rescue life in the accidents.