The inline manufacturing equipment using a combination of the belt source and LPS source which is innovatively designed is introduced for the large-size AMOLED. The features of the inline system include 60sec TACT time, 19 numbers of chambers, non-substrate bending and easy application to very thin TFT substrates for the $4^{th}$ - $8^{th}$ Generation AMOLEDs.
Recent cleaning technologies of mask in extremely ultraviolet semiconductor processes were reviewed, focused on newly developed issues such as particle size determination or hydrocarbon and tin contaminations. In detail, critical particle size was defined and proposed for mask cleaning where nanosized particles and its various shapes would result in surface atomic ratio increase vigorously. A new cleaning model also was proposed with amphoteric behavior of electrolytically ionized water which had already shown excellent particle removing efficiency. Having its non-equilibrium and amphoteric properties, electrolyzed ion water seemed to oxidize contaminant surface selectively in nano-scale and then to lift up oxidized ones from mask surface very effectively. This assumption should be further investigated in future in junction with hydrogen bonding and cluster of water molecules.
In CO2 laser surface machining of plastic films in modern display manufacturing, scattering of fume particles could be a major source of well-recognized film surface contamination. This computational fluid dynamics research investigates the suction air flow patterns over a film surface as well as the dispersion of micron-sized fume particles with low-Reynolds number particle drag model. The numerical results show the recirculatory flow patterns near laser machining point on film surface and also over the surface of vertical suction slot, which may hinder the efficient removal of fume particles from film surface. The dispersion characteristics of fume particles with various particle size have been tested systematically under different levels of suction flow intensity. It is found that suction removal efficiency of fume particles heavily depends on the particle size in highly nonlinear manners and a higher degree of suction does not always results in more efficient particle removal.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.28
no.12
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pp.776-780
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2015
In this paper, we have studied the effect of mechanical polishing to Ga-polar face for reducing the wafer bowing and strain in free-standing GaN. After the mechanical polishing to Ga-polar face, the bowing of the free-standing GaN substrate significantly decreased with increasing the size of diamond slurry, and eventually changed the bowing direction from concave to convex. Furthermore, the full width at half maximum (FWHM) of high-resolution X-ray diffraction (HR-XRD) were decreased, especially the FWHM of (1 0 2) reflection for $1.0{\mu}m$ size of diamond slurry was significantly decreased from 630 to 203 arcsec. In the case, we confirmed that the compressive strain in Ga-polar face was fully released by Raman measurement.
Human error has brought about accidents more than 50% in system of a large size and complicated expecially in nuclear power plants(NPPs). The technology of Man Machine Interface(MMI) has been changed to the digitalized controls employing computer-based technology. According to this trend. the human factors guidelines are becoming main issue for reliable supports to digitalized information displays. However. the existing human factors guidelines is not enough for advanced information display on NPPs. The purpose of this research is to develop the reliable design and evaluation guidelines for advanced information display in main control room (MCR) of NPPs. In this study. the various general human factors guidelines concerning information display on CRT are integrated on data base management system. unified based on the integration rules. and applied in computer based procedures. The use of the integrated guidelines are expected to evaluate the existing information display on MCR in NPPs from the human factors point of view.
We report the suitable SLS (sequential lateral solidification) as a function of laser intensity. Precursor film is changed from 50nm to 100nm and is deposited on glass substrate by PECVD. We can find the suitable SLS length by changing the mask size. In this paper, we present the well-defined grain growth conditions as a function of laser intensity.
Decreasing the thermal resistance is the critical issue for high-brightness light-emitting diodes. In this paper, the effects of some design factors, such as chip size (24 and 35 mil), substrate material (AlN and high-temperature co-fired ceramic), and die-attach material (Ag epoxy and PbSn solder), on the thermal-dissipation characteristics were investigated. Using the thermal transient method, the temperature sensitivity parameter, $R_{th}$ (thermal resistance), and junction temperature were estimated. The 35-mil chip showed better thermal dissipation, leading to lower thermal resistance and lower junction temperature, owing to its smaller heat source density compared with that of the 24-mil chip. By adopting an AlN substrate and a PbSn solder, which have higher thermal conductivity, the thermal resistance of the 24-mil chip can be decreased and can be made the same as that of the 35-mil chip.
Kim, J.M.;Hong, J.P.;Park, N.S.;Ryu, Y.S.;Jung, J.E.;Hong S.S.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1998.02a
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pp.23-23
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1998
High resolution field emission dispplay(FED) devices of 5 inch diagonal in size are fully developped for the applications of near-future flat ppanel dispplays. Under the unique gate-switching drive scheme electron trajectory pprofiles are simulated and tested by considering leakage effects of each ppixel. Uniquely-pprinted sppacer with high asppect ratio are fabricated on real ITO glass for high vacuum ppackaging. In addition new gas aging scheme of stabilizing field emitting array are extensively investigated during the sealing and exhausting pprocess in order to pprevent oxidation effects on the micro tipp. Finally fulll color images of 64 gray scale will be demonstrated.
We proposed a new fabrication method for stable flexible LCDs using stamping method with durable elastomer such as poly(dimethylsiloxane) (PDMS). In the device, the LC molecules are isolated in pixels where LCs are surrounded by PDMS microstructure, and two substrates are tightly attached by phase separated polymer layer. The electro-optic characteristics of our cell are comparable to those of normal sample without PDMS microstructure. We propose cost-effective roll-to-roll process for large size of plastic LCDs with our method.
In this paper, a composition modulation of Dot-matrix display grayscale is presented. There's two method of expression of Dot-matrix Display grayscale. One is PWM by controlling pulse width. The other is PAM by controlling pulse amplitude. Composition modulation of Dot-matrix use PWM and PAM together. Composition modulation shows the number of grayscale as number of grayscale of PWM$\times$number of grayscale of PAM and have the effect of reduced size than existing single modulation.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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