• 청정기술
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• 제15권2호
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• pp.69-74
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• 2009

초임계이산화탄소와 공용매의 혼합물을 사용하여 반도체 웨이퍼 기판으로부터 고농도이온주입 포토레지스트(HDIPR)를 제거하였다. 또한 고압 셀 내부에 초음파 장치를 부착하여 웨이퍼 표면에 물리적 힘을 제공함으로서 세정용액의 HDIPR에 대한 스트리핑 성능을 현저히 향상시키고, 제거 시간을 단축시켰다. 공용매의 종류 및 농도, 공정 온도, 압력 변화에 따른 HDIPR 스트리핑 특성을 조사하였으며, 웨이퍼 표면의 제거 전후의 상태 및 성분을 scanning electron microscopy 과 energy dispersive X-ray spectrometer를 이용하여 분석하였다. 10 w/w% 함량의 아세톤 공용매를 이용하여 공정압력 27.6 MPa과 온도 343 K 의 조건에서 3분의 초음파 처리시간을 거쳐 HDIPR을 완전히 제거할 수 있었다.

• 융합정보논문지
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• 제12권2호
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• pp.149-156
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• 2022

본 논문에서는 광센서의 주요 구성요소인 도체를 상압플라즈마 공정 기술을 이용하여 티타늄(Ti: Titanium) 박막을 형성하고자 하였다. 이를 위해 기존의 상압플라즈마 장비를 개조하였으며, CF4 가스를 이용하여 sputter용 4인치 크기의 Ti 타겟을 식각하여 그 부산물이 글라스 소재의 샘플에 코팅되는 방법을 이용하였다. 이러한 부산물이 약 2cm까지 형성되었으며, 색깔에 따라 총 15영역으로 구분할 수 있었다. SEM(Scanning Electron Microscopy) 및 EDS(Energy Dispersive Spectrometer), 4-point probe 장비를 이용하여 표면 형상 및 구성 원소를 분석하였으며, 또한, 전기적인 특성을 측정하였다. 증착률 및 Ti 비율을 고려한다면, 타겟에서 약 4.5mm에서 5mm 정도에 샘플을 위치시켜 코팅하면 전체적으로 균일한 박막이 형성되지만, 이 박막에 상당량의 플루오린이 함유되어 있어 박막의 전기적인 특성에 큰 영향을 미치는 것을 알 수 있었다. 따라서 플루오린을 제거하거나 증착시 최소화하는 방안에 대해 추가 실험 및 연구를 진행해야 할 것이다.

• Elastomers and Composites
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• 제37권4호
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• pp.258-264
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• 2002

본 연구에서는 열처리에 의한 실리카의 표면특성과 실리카/폴리우레탄 복합재료의 기계적 계면물성에 대하여 고찰하였다. 열처리에 의한 실리카의 표면특성은 Fourier Transform-IR(FT-IR), Solid-state 29Si NMR spectroscopy, 그리고 접촉각을 통하여 알아보았으며 실리카/폴리우레탄 복합재료의 기계적 계면물성은 인열에너지 (GIIIC)를 측정하여 관찰하였다. 본 실험결과, 열처리 온도가 증가함에 따라 실리카의 Si-OH가 축합하여 Si-O-Si를 형성하고 표면자유에너지의 비극성 요소가 증가하는 것을 확인할 수 있었다. 이러한 결과로부터, 증가된 실리카의 표면자유에너지의 비극성요소는 폴리우레탄 내에 실리카의 분산성을 향상시켜 결과적으로 실리카/폴리우레탄 복합재료의 기계적 계면물성인 인열에너지가 증가된 것으로 사료된다.

• 대한토목학회논문집
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• 제26권5B호
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• pp.557-562
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• 2006

준설작업으로 인해 재부유된 퇴적물로 구성된 탁도플륨의 이송확산 거동을 예측하기 위해 이(1998)가 제안한 수치 해석의 혼합방법(hybrid method)을 사용하여 3차원 수치모형을 개발하였다. 본 모형에서는 이송 및 확산식의 수치해석에 있어 이송 과정은 전방입자추적기법(forward particle-tracking method), 확산 과정은 유한차분기법을 사용하여 수치계산에 있어 무작위 행보(random walk) 방법에 비해 계산시간이 크게 단축되었으며, 수치모의 결과의 정확성도 크게 향상되었다. 본 모형을 검증하기 위하여 1, 2차원 해석해와의 비교, 그리고 Kuo 등(1985)의 3차원 수리해석모형의 계산결과와 비교하였다. 본 모형의 검증 결과는 비교적 해석해와 잘 일치하였다.

• Journal of the Korean Association of Oral and Maxillofacial Surgeons
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• 제50권2호
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• pp.94-102
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• 2024

The exact mechanism of sialolith formation has yet to be determined. Recurrence of sialolithiasis is rare, affecting only 1%-10% of patients. The current study presents a case of recurrent stones that occurred twice on the right submandibular gland 6 months postoperative and 7 months after reoperation in a 48-year-old female patient. The stones were analyzed using histology, scanning electron microscopy, energy dispersive spectroscopy, and transmission electron microscopy (TEM). The first stone showed a three-layered structure with a poorly mineralized peripheral multilayered zone, highly mineralized middle layer, and the central nidus. The stones were composed of Ca, C, O, Cu, F, N, P, Si, Zn, and Zr. In TEM, compact bi-layered bacterial cell membrane was found on the peripheral layer and the central nidus of the stone as well as exosomes in the central nidus. The results demonstrated the essential components of sialolith formation, including bacteria, inflammatory exosomes, and exfoliated salivary epithelial cells that cooperatively underwent the pathogenetic progresses of central nidus formation, induction of compact zone calcification of the middle layer, and repeated subsequent deposition in the peripheral multilayer zone. The rapid recurrence could have resulted from residual pieces of a sialolith acting as the nidus of bacterial infection.

• 한국음향학회지
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• 제25권3호
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• pp.107-112
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• 2006

판재를 따라 전파하는 Lamb wave (램파)는 주파수에 따라 속도가 변하는 분산특성을 갖는다. 일반적으로 등방성 재료에서는 파수 벡터 방향과 에너지 흐름 방향은 같아, 파면이 원형을 유지하면서 전파하지만, 복합재료와 같이 이방성재료에서는 파수 벡터와 에너지 흐름 방향이 서로 다르다. 따라서 이방성 재료에서 하나의 속도에서 다른 속도로 전환하려면 방향을 교정해야 하고 이에 따라 크기도 달라지게 된다. 본 연구에서는 복합재료 판재에서 전파하는 램파 분산방정식을 이용하여 대칭, 비대칭 모드의 분산선도를 작성하였고, 각도에 따라구한 위상속도 분산선도에서 얻어진 위상속도 값으로 slowness surface를 구한 후, 이로부터 군속도의 크기와 방향을 교정하였고, 이를 실험적으로 측정한 속도값과 비교하여 서로 일치함을 확인하였다.

• 치위생과학회지
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• 제13권2호
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• pp.203-212
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• 2013

한국 땃쥐속 우수리땃쥐 Crocidura lasiura와 작은땃쥐 C. suaveolens, 뒤쥐속 뒤쥐 Sorex caecutiens의 치아형태와 법랑질 표면의 함유물을 EDX를 이용하여 정성 분석하였다. 우수리땃쥐와 작은땃쥐의 경우, 치식은 I3/1 C1/1 P1/1 M3/3=28이었고, 상악 제1대구치와 제2대구치는 5개의 교두들로 만들어진 균형이 맞지 않는 W형을 가지고 있었고, 상악 제3 대구치는 상악 제1대구치와 제2대구치의 3/1크기였으며, 상악 제1절치는 2개의 다른 크기의 갈고리 모양이었으며, 하악 제1 절치는 매끈하였다. 뒤쥐의 경우, 치식은 I3/1 C1/1 P3/1 M3/3=32이었고, 상악 제1대구치와 제2대 구치는 균형이 맞는 W형을 가졌고 상악 제3대구치는 다른 대구치의 약 절반 크기였으며, 상악 제1절치는 2개의 비슷한 크기의 갈고리 모양이었으며 하악 제1절치는 매끈하지않은 톱니모양이었다. 치아와 두개골 측정치 비교에서 우수리땃쥐가 3종 중 가장 컸으나(p<0.001), 작은땃쥐와 뒤쥐는 크기에서 차이가 없었다(p>0.05). EDX를 이용한 하악 제1절치와 하악 제1대구치의 법랑질 표본의 정성적 분석으로부터, C, O, P, Ca, Cu가 모든 표본에서 검출되었고 Pb는 몇몇 표본에서만 검출되었다. 3종들에서 이들의 함유량은 통계적 차이를 보이지 않았다(p>0.05). Fe는 붉게 착색된 치아를 가지는 뒤쥐의 법랑질 표면에서만 검출되었다. 따라 서 Fe가 치아의 붉은 착색의 원인이다. 이상의 결과들은 치아 끝의 색을 포함한 치아 형태학적 특징들이 땃쥐속과 뒤쥐속의 분류키가 될 수 있음을 시사하고 있다.

• 한국소성가공학회:학술대회논문집
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• 한국소성가공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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• pp.263-266
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• 2008

This paper is concerned with the analysis of elasto-plastic stress waves in a mode I semi-infinite cracked solid subjected to Heaviside pulse load. This study adopts a time-discontinuous variational integrator based on Hamiltonian in order to reduce the numerical dispersive and dissipative errors. This also utilizes an integration scheme of the constitutive model with 2nd-order accuracy which is formulated on the strain space for a rate and temperature dependent material model. Finite element analyses of elasto-plastic stress waves are carried out in order to compare the accuracy between a conventional Galerkin method and the time- discontinuous variational integrator.

• International Journal of Automotive Technology
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• 제7권4호
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• pp.385-390
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• 2006

A fast response $CO_2$ analyzer has been developed to study transient characteristics on an SI engine. The analyzer has the delay time of 4.5 ms and time constant of 2.8 ms, which is fast enough to measure $CO_2$ concentration on a transient condition. Wide range of A/F(Air/Fuel) ratio can be estimated using the analyzer with an additional switch type oxygen sensor. The results of measurement of $CO_2$ concentration and A/F ratio on a transient condition including rapid acceleration/deceleration and EGR(Ehxaust Gas Recirculation) on/off are presented and compared with a commercial exhaust gas analyzer and UEGO(Universial Exhaust Gas Oxyzen) sensor.

• Journal of Electrical Engineering and Technology
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• 제1권2호
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• pp.246-250
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• 2006

Highly ordered gold nanodot arrays have been successfully obtained by vacuum evaporation using an anodic aluminum oxide (AAO) as a shadow mask. An AAO mask with the thickness of 300 um was prepared through an anodization process. The structure of the nanodot arrays was studied by a field- emission scanning electron microscope (FE-SEM) equipped with an energy dispersive spectrometer (EDS). A tapping mode atomic force microscope (AFM) was employed for studies of height and phase feature. The nanodot arrays were precisely reproduced corresponding to the hexagonal structure of the AAO mask in a large area. In the gold nanodot arrays, the average diameter of dots is approximately the same as the AAO pore size in the range from 70 um to 80 nm and 100 nm center-to-center spacing. EDS analysis indicated that the gold dots were almost entirely consisted of gold, a highly demanded material.