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Si (001) 기판에서 $N_2$처리에 의해 형성된 에피택셜 C49-$TiSi_2$상의 열적 거동과 결정학적 특성에 관한 연구 (Thermal Behavior and Crystallographic Characteristics of an Epitaxial C49-$TiSi_2$ Phase Formed in the Si (001) Substrate by $N_2$Treatment)

  • 양준모;이완규;박태수;이태권;김중정;김원;김호정;박주철;이순영
    • 한국재료학회지
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    • 제11권2호
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    • pp.88-93
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    • 2001
  • $N_2$처리에 의해 Si (001) 기판에 형성된 C49상의 구조를 갖는 에피택셜 $TiSi_2$상의 열적 거동과 결정학적 특성을 X선 회절법 (XRD)과 고분해능 투과전자현미경법 (HRTEM)으로 조사하였다. 에피택결 $C49-TiSi_2$상은 $1000^{\circ}C$ 정도의 고온에서도 안정상인 C54상으로 상변태하지 않고 형태적으로도 고온 특성이 우수하다는 것이 밝혀졌다. HRTEM 결과로부터 에피택결 $TiSi_2$상과 Si 사이의 결정학적 방위관계는 (060) [001]TiSi$_2$//(002) [110]Si임을 알 수 있었고 계면에서의 격자 변형에너지는 misfit 전위의 형성에 의하여 해소되는 것을 확인할 수 있었다. 또한 HRTEM상의 해석과 원자 모델링을 통하여 Si에서 에피택셜 C49-TiSi$_2$상의 형성기구와 C49상의 (020) 면에 존재하는 적층결함을 고찰하였다.

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액상에피택시 방법에 의한 InP기판상의 GaAs 이종접합 박막 성장 (Liquid Phase Epitaxial Growth of GaAs on InP Substrates)

  • 김동근;이형종;임기영;장성주;장성주;김종빈;이병택
    • 한국재료학회지
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    • 제4권5호
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    • pp.600-607
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    • 1994
  • LPE방법을 이용하여 InP기판 상에 GaAs이종접합 박막을 최초로 성장하였으며 제반 성장조건들이 박막특성에 미치는 영향을 NDIC광학현미경, SEM, TEM 및 DCXRD 등을 이용하여 조사하였다. 적정 LPE성장온도는 $720^{\circ}C$(냉각속도 $0.5^{\circ}C$/min.)이었으며 성장된 GaAs 박막의 표면형상은 융액 균질화 처리 시 기판을 InP cover웨이퍼로 보호한 경우가 In/InP 융액으로 보호한 경우에 비해 현저히 개선되었다. 박막 성장 시 Ga성장융액 내에 0.005wt% 정도의 Se을 첨가함으로서 기판의 열융해(meltback)현상이 억제되었고 박막의 표면 거칠기도 현저히 개선되었다. 미세 격자가 식각된 InP기판 상에 성장된 GaAs 박막의 DCXRD측정결과 미세 격자 패턴이 없는 기판 위에 성장된 시료보다 결정성이 더욱 향상되었으며 이는 TEM 관찰결과 GaAs/InP계면에서 생성된 전위들 중 일부가 상호반응에 의하여 미세격자 영역 내에 국한되기 때문으로 판단되었다.

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일방향 응고 니켈기 초내열 합금 CM247LC의 온도에 따른 크리프 특성 (Temperature Dependent Creep Properties of Directionally Solidified Ni-based Superlloy CM247LC)

  • 최백규;도정현;정중은;석우영;이유화;김인수
    • 한국주조공학회지
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    • 제41권6호
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    • pp.505-515
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    • 2021
  • 일방향응고로 제조된 니켈기 초내열합금 CM247LC의 다양한 온도 및 응력조건에서 크리프 특성에 대해 고찰하였다. 열처리 후 일부 공정조직이 남아 있었으며 비교적 균일한 육면체의 γ'이 수지상 내부와 수지상간 영역에서 관찰되었다. 상대적 저온인 750℃의 고응력 크리프 영역에서는 1차 크리프 동안 많은 변형이 발생하였으나 고온으로 갈수록 3차 크리프 구간이 크리프 변형시간의 대부분을 차지함을 알 수 있었다. 저온 고응력에서는 부분 전위가 γ'으로 진입하며 적층결함을 γ'내에 생성시켰으며 초기 크리프 변형속도가 증가하는 부분이 있었으나 850℃ 이상의 온도에서는 γ' 내부에서 적층결함이 관찰되지 않았으며 이는 적층결함에너지의 온도의존성 때문인 것으로 판단된다. 고온이어서 확산속도가 빠른 950℃와 1000℃에서는 γ'의 래프팅이 관찰되었다. 온도가 좀 더 낮은 850℃에서는 변형기구가 응력에 따라 다르게 나타나서 상대적으로 크리프 시간이 긴 저응력에서만 래프팅이 관찰되었다.

급냉응고된 Al-9.45wt%Fe-4.45wt%Cr합금의 고온 크?거동 (Elevated Temperature Creep Behavior of Rapidly Solidified Al-9.45wt%Fe-4.45wt%Cr Alloy)

  • 임종국;김경환;김택수
    • 한국안전학회지
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    • 제14권1호
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    • pp.208-215
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    • 1999
  • 급냉응고 강화된 Al-9.45wt%Fe-4.45wt%Cr 합금의 크 거동을 40~115Mpa 응력범위와, 300~$441^{\circ}C$(0.53~0.66Tm) 온도 범위에서 조사하였다. 이 계열의 합금은 비행기 및 자동차의 구조용재료 혹은 엔진용 부품에 많이 사용되고 있으며, 재료의 사용이 주로 고온에서 이루어지므로 안전성을 확보하기 위해서는 크 실험이 특히 중요하다. 이 합금의 크 실험 결과 응력지수와 크 활성화에너지가 높았으며 실험 응력과 온도에 크게 좌우되었다. 크 응력이 조대화에 강하게 영향미치는 것으로 보이기 때문에 모든 크 시편의 분산입자의 조대화율은 등온 소둔시편 보다도 더 빠르게 나타났다. 분산상과 연결된 전위는 고응력, 저온의 크 시편에서 더욱 자주 관찰되었다. Power law creep에서의 크 변형 속도는 문턱응력과 전위분리기구를 포함하는 Sherby와 Rosler/Arzt식으로 예견되는 것과 일치함을 발견하였다. 이 합금에서 분산상은 void생성원으로 작용하였으며 소위 입계파괴인 입자내의 연성파괴의 원인이 되었다. 생성된 void는 성장하여 Al기지내의 분산상과 분리되고, 슬립에 의해 결정립계에 집적되어 결국 입계파괴가 일어났다. 그러므로 이들 분산상이 $Al_{13}Fe_4$, $Al_{13}Cr_2$ and $Al_2O_3$의 형성에 의해 파괴 기구의 중요한 역할을 함이 입증되었다.nd $Al_2O_3$의 형성에 의해 파괴 기구의 중요한 역할을 함이 입증되었다.

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(100) 및 (111) 배향을 갖는 CaF2 단결정 기판의 결함 분석 (Defect analysis of calcium fluoride single crystal substrates with (100) and (111) orientation)

  • 최예진;강민규;이기욱;박미선;정광희;정해균;김두근;이원재
    • 한국결정성장학회지
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    • 제34권1호
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    • pp.8-15
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    • 2024
  • 다양한 광학 재료에 사용되는 CaF2 단결정은 밴드갭(12 eV)이 크고, 넓은 파장영역에서 투과율이 뛰어나며 낮은 굴절률과 분산을 가지는 특징이 있다. 이런 우수한 특성을 바탕으로 최근 리소그래피(Lithography) 공정에서 짧은 파장의 광원에서도 사용가능한 렌즈의 재료로 CaF2 단결정이 주목받고 있다. 다만 CaF2의 경우 157 nm에서 재료 고유의 복굴절이 존재하며, 이로 발생한 수차는 (100)면과 (111)면의 결합을 통해 보상할 수 있기 때문에 면 방향에 따른 특성을 조사하는 것이 필요하다. 이 연구에서는 초크랄스키(Czochralski) 방법으로 성장하여 상용화 된 CaF2 단결정 웨이퍼를 이용하여 면 방향에 따른 결정성, 광학적 특성을 분석하였다. 특히 chemical etching을 통해 etch pit의 형태가 면 방향에 따라 다르게 나타나는 것을 확인하였고, 결함 분석을 통해 결정 내 전위의 배열과 결함의 존재가 etch pit 형상에 영향을 주는 것을 확인하였다.

재발성 슬개골 탈구에서 관절경적 외측 유리술 및 내측부 중첩술 (Arthroscopically Assisted Lateral Release and Medial Imbrication for Recurrent Patella Dislocation)

  • 강성식;유재두
    • 대한정형외과스포츠의학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.98-103
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    • 2010
  • 목적: 슬개골 재발성 탈구 환자에 있어 관절경 보조하의 외측 유리술 및 내측부 중첩술의 결과를 보고하고자 한다. 대상 및 방법: 재발성 슬개골 탈구로 수술적 치료를 받은 20 명의 환자, 21례를 대상으로 하였다. 남자가 4 명, 여자가 16명이고 평균연령 20.2세였다. 모든 환자가 외상의 병력이 있었고 평균 추시 기간은 19개월이었다. 수술 결과의 평가는 Lysholm점수와 Kujala슬관절 점수를 이용하였고, 방사선 사진상 congruence angle, lateral patellofemoral angle을 측정하였고, 전산화 단층촬영에서 tibial tuberosity-trochlear groove distance를 측정하였다. 결과: 단순 방사선 사진상 congruence angle은 술전 중위값 $16.5^{\circ}$ (범위, $0.0{\sim}+34^{\circ}$) 에서 추시 시 $-6.4^{\circ}$ (범위, $-19{\sim}10^{\circ}$), lateral patellofemoral angle은 술전 중간값 -4.5도(범위, $-8{\sim}+6^{\circ}$)에서 $4.0^{\circ}$ (범위, $2.0{\sim}10^{\circ}$)로 호전되었다(p=0.034). Lysholm 점수는 수술 전 중위값 70점(범위, 63~81점)에서 최종 추시 시 중위값 88점(범위, 80~95점)이었다(p=0.341). Kujala 슬관절 점수는 수술 전 중위값 72점(범위,65~80점)에서 수술 후 중위값 87점(범위, 80~92점)으로 호전되었다. (p=0.024). 재발성 탈구는 총 2례에서 발생하였으며 1례는 thumb to forearm검사 양성이었던 경우로 재탈구 되어 내측 슬개대퇴인대 재건술을 시행하였다. 결론: 관절경적 외측 유리술 및 내측부 중첩술은 대퇴슬개관절의 골성 부정정렬이 없는 경우에서 시행하여 좋은 결과를 얻을 수 있었지만, 관절 이완이 심한 환자에서는 좀 더 주의가 필요하다고 사료된다.

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초음파를 이용한 주관절 주위 척골 신경의 동적 형태학적 연구 (Dynamic Morphologic Study of the Ulnar Nerve Around the Elbow Using Ultrasonography)

  • 전인호;이성만;최진원;김풍택
    • Clinics in Shoulder and Elbow
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    • 제10권1호
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    • pp.99-105
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    • 2007
  • 목적: 정상인에 있어 주관절 주위 척골 신경에 대하여 초음파를 이용한 척골 신경의 형태학적인 연구 및 동적 안정성을 조사하고, 주관 증후군 환자에서 척골 신경병증에 대한 초음파 영상의 진단에 있어 기초 자료를 마련하고자 한다. 대상 및 방법: $20{\sim}30$세 사이 건강한 정상 성인 남자 25명 50예의 척골 신경에 대하여 연구를 시행하였다. 7.5 MHz 고해상도 초음파의 선상 프로브를 이용하여 주관절 주위의 척골신경을 장축 및 단축영상에서 조사하였다. 장축영상을 통해 척골 신경의 주행경로와 위치, 신경의 굵기를 파악하고, 단축 영상을 내상과 근위부 1 cm, 내상과 후방, 오스본 인대부위, 오스본 인대 원위부 1 cm에서 측정하여 주관절의 굴곡 신전시 각 네 지점에서 척골 신경의 장단경과, 동적 안정성을 측정하였다. 결과: 주관절 신전시 척골 신경의 단경은 각각 2.66 mm, 2.97 mm, 2.64 mm, 2.69 mm로 측정되었다. 한편 장경은 각각 4.61 mm, 4.56 mm, 4.36 mm, 4.37 mm로 측정되어 각 네 곳의 해부학적 지점 간에 큰 변화가 관찰되지 않았다. 한편 굴곡시 척골 신경의 단경은 각각 2.72 mm, 2.34 mm, 2.65 mm, 2.41 mm로 변경되고, 장경은 각각 4.49 mm, 5.40 mm, 4.16 mm, 4.66 mm로 측정되었다. 주관절 굴곡시 내상과 후방에서 척골신경이 의미 있는 형태의 변화가 관찰되었으며 신전 굴곡시 모두 오스본 인대 입구에서 장단경이 가장 작게 관찰되었다. 동적 안정성 측정에서 척골 신경의 아탈구는 9예, 척골 신경 탈구는 7예 관찰되었다. 결론: 주관절 척골 신경의 초음파 검사에서 척골 신경은 정상인에서도 동적 불안정성과 굴곡신전에 따른 척골 신경의 장단경의 형태 변화가 관찰되기에 초음파로 척골 신경병증 진단에 있어 참고해야 할 소견이라고 판단된다.

선택성장영역 크기에 따른 InGaN/GaN 다중양자우물 청색 MOCVD-발광다이오드 소자의 특성 (The characteristic of InGaN/GaN MQW LED by different diameter in selective area growth method)

  • 배선민;전헌수;이강석;정세교;윤위일;김경화;양민;이삼녕;안형수;김석환;유영문;하홍주
    • 한국결정성장학회지
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    • 제22권1호
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    • pp.5-10
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    • 2012
  • 일반적으로 mesa 구조의 발광다이오드 제작은 MOCVD법으로 수행되고 있다. 특히 개개의 발광다이오드 칩을 식각하고 분리하기 위해서 발광다이오드는 반응성이온식각(RIE)공정과 절단(scribing) 공정을 거치게 된다. 플라즈마를 이용한 건식식각공정인 RIE 공정은 결함, 전위, 표면의 댕글링 본드 형성과 같은 몇 가지 문제점을 유발하고, 이러한 이유로 인해 소자 특성을 저하시킨다. 선택영역성장법은 사파이어 기판 위에 고품질의 GaN 에피층을 성장시키는 방법으로써 주목받고 있다. 본 논문에서는 고품질의 막을 제작하고 공정을 간소화하기 위해서 선택영역성장법을 도입하였고, 기존의 발광다이오드 특성에 영향을 주지 않는 선택영역의 크기를 규정하고자 한다. 실험에 사용된 원형의 선택성장영역의 직경크기는 2500, 1000, 350, 200 ${\mu}m$이고, 선택성장 된 발광다이오드의 소자 특성을 얻고자 SEM, EL, I-V 측정을 시행하였다. 주된 발광파장의 위치는 직경크기 2500, 1000, 350, 200 ${\mu}m$에서 각각 485, 480, 450, 445 nm로 측정되었다. 직경 350, 200 ${\mu}m$에서는 불규칙한 표면과 기존 발광다이오드보다 높은 저항 값을 얻을 수 있었지만, 직경 2500, 1000 ${\mu}m$에서는 평탄한 표면과 앞서 말한 350, 200 ${\mu}m$의 특성보다 우수한 전류-전압 특성을 얻을 수 있었다. 이러한 결과들로 기존 발광다이오드의 특성에 영향을 주지 않는 적당한 선택성장 직경크기는 1000 ${\mu}m$ 이상임을 확인하였다.

학교급식 조리종사원의 안전사고 실태 및 신체적 피로도 분석 (Safety Accidents and Physical Fatigue of School Foodservice Employees)

  • 조연정;김현아
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제42권9호
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    • pp.1482-1491
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    • 2013
  • 본 연구는 향후 학교급식 안전관리 개선 방안 모색에 도움이 되고자 경남지역 초 중 고등학교 조리종사원을 대상으로 학교급식소 안전사고 실태 및 신체적 피로도를 분석하고자 수행되었다. 2011년 12월 1일부터 20일까지 총 300부의 설문지를 배부하여 276부가 회수되었고, 이 중 응답 내용이 불충분한 54부를 제외하고 총 222부(74%)를 최종 분석 자료로 사용하였으며, 본 연구 결과의 요약은 다음과 같다. 첫째, 안전사고 유형별 경험 유무 및 발생 빈도 조사 결과 타박상 경험자는 92.8%, 화상 경험자 73.0%, 피부외상 경험자 69.4%, 염좌 경험자 47.7%, 낙상 경험자 42.8%, 골절 탈구 경험자 31.5%, 감전사고 경험자 2.7% 순으로 나타났으며, 안전사고 유형별 발생 정도는 화상 2.04, 타박상 3.18, 염좌 1.64, 피부외상 2.07, 감전사고 1.06, 골절 탈구 1.42, 낙상 1.52로 나타나 타박상의 경험율 및 발생 빈도가 가장 높았다. 둘째, 노동 강도가 가장 크다고 생각되는 작업공정으로는 청소(55.4%), 안전사고가 가장 많이 발생하는 작업공정으로는 주조리 과정(48.6%), 급식소 안전사고의 주된 원인으로는 조리종사원의 과도한 업무량(3.52)이 조사되었다. 셋째, 조사대상이 작업 시 자각하는 신체적 피로도는 팔과 손목의 통증 4.18로 가장 높게 나타났으며 어깨의 통증 4.10, 척추의 통증 3.88, 빠른 피로감 3.81, 눈의 피로 3.70, 다리의 통증 3.69, 발바닥과 발목 통증 3.62, 귀의 이상 3.63, 목의 통증 3.45, 체중의 변화 3.21, 두통 2.95의 순으로 분석되었다. 넷째, 학교급식 조리종사원의 신체적 피로도에 영향 미치는 요인은 학교급(P<0.05), 1일 급식횟수(P<0.05), 1일 급식인원(P<0.001), 조리종사원 1인당 급식인원(P<0.05), 근무전 준비 운동 여부(P<0.05)로 중학교, 1일 3식을 제공하는 학교, 1일 급식 인원이 1,000명 이상인 학교, 조리종사원 1인당 급식인원이 110명 초과인 학교의 조리종사원의 신체적 피로도가 높았으며, 준비운동을 하는 경우 신체적 피로도가 낮았다. 본 연구 결과로부터 다음과 같이 제언하고자 한다. 첫째, 학교급식 조리종사원들이 가장 많이 안전사고가 발생한다고 생각하는 작업공정은 주조리 과정으로 이에 대한 정확한 작업환경을 진단하여 인체공학적 작업환경 개선이 이루어져야 할 것이다. 둘째, 노동 강도가 가장 크다고 생각하는 청소 과정에서 무거운 물체를 들거나 반복동작으로 의한 근골격계 질환 예방하기 위해 관련시설 및 장비의 보완이 필요하겠다. 셋째, 노동량의 증가에 따라 신체적 피로도가 증가함을 알 수 있었으므로 조리종사원의 적정 인력기준에 대한 후속 연구가 필요하다고 사료된다. 넷째, 준비운동을 할 때 신체적 피로도가 낮은 것으로 나타났으므로, 근무 시작 전 준비운동이 이루어지도록 충분한 교육이 이루어져야 하겠다.

두개 경추 이행부의 병소에 대한 경구적 접근법의 유용성 (The Clinical Applicability of Transoral Transpharyngeal Approach to the Craniovertebral Junction Lesions)

  • 조태구;박관;조양선;백정환;남도현;김종수;홍승철;신형진;어환;김종현
    • Journal of Korean Neurosurgical Society
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    • 제29권3호
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    • pp.379-388
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    • 2000
  • 목 적 : 경구적 접근법은 두개 경추이행부의 병소에 대한 유용한 접근방법이나 신경외과 의사에게는 비교적 친숙하지 않은 해부학적 구조물과 뇌척수액 누출로 인한 뇌막염의 위험성으로 인하여 많이 사용되지 않고 있다. 본원 신경외과에서는 다양한 두개 경추이행부의 병변에 대한 경구적 접근법을 시행하였으며, 수술 방법에 따른 결과 및 이의 적응증에 대해 발표하고자 한다. 방 법 : 1996년 9월부터 1999년 4월까지 총 8예의 환자에서 경구적 접근법을 시행하였다. 3명의 환자에서 선천성 기형에 의한 두개저 함입이 있었고, 2명에서는 외상성 치상돌기 골절, 2명에서는 외상성 환축추탈구, 1명에서는 비인두부위 가양성 종양을 동반하였다. 5명의 환자에서 전방 접근법 시행후 후방 골유합술을 시행하였다. 결 과 : 환자 전 예에서 양호한 결과를 보였으며 수술전 사지의 부진마비가 있었던 환자에서는 시간이 경과 함에 따라 신경학적 호전을 보였으며, 골유합술을 시행하였던 5예에서 성공적인 골유합이 관찰되었고, 연구개를 절개하였던 환자 4명중 1명이 창상 열개를 보여 재수술로 상처 치유가 가능하였다. 뇌척수액 누수는 한 예에서도 발생하지 않았다. 결 론 : 경구적 접근법은 두개 경추 이행부의 병소에 대한 유용한 접근법으로 사용될 수 있을 것으로 생각된다.

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