Kim, Jin-Beom;Hong, Pil-Gi;Seo, Tae-Il;Son, Chang-Woo
Design & Manufacturing
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v.13
no.1
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pp.13-18
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2019
The size and prospects of the domestic semiconductor equipment market are increasing every year. In the case of various parts used inside semiconductor equipments, high durability such as high strength and abrasion resistance is demanded. Particularly, the gases used in semiconductor production processes are toxic. In order to prevent such toxic gas leakage, a precision processing technique and a surface treatment technique for preventing corrosion are required. Electro-polishing is an electro-chemical method of polishing a metal surface to make it smooth and polished. Electro-polishing is mainly used in the finishing process of metal surface. Unlike mechanical polishing, electro-polishing is used in many fields, such as fine chemical etching equipment, since no damaged layer or burr, fine polishing groove and particles are generated. However, in order to withstand the gas used in the semiconductor equipment, the parts must have high corrosion resistance. However, the surface hardness generally become lowered through electro-polishing. Therefore, in this study, surface hardness were experimentally observed before and after electro-polishing. Then, a method of improving hardness by preparing a nitrided layer by plasma ion nitriding treatment.
Present - day inlay casting procedures have been developed for more than 100 years and experimentation has focused on the perfect adaptation to the cavity preparation. Marginal adaptation is considered to be an important indicator of the acceptability of the cast restotration, especially on the gingival margin. The purpose of this study was to evaluate the effects of a dissecting microscope and burnishing on vertical discrepancies, horizontal discrepancies, and cement thicknesson master die. Extracted premolars were prepared for class II gold inlays and master dies were made with conventional techniques. The experiments consisted of 4 groups. Group 1 : unaided eye, no burnishing on master die. Group 2 : unaided eye, burnishing on master die. Group 3 : microscope, no burnishing on master die. Group 4 : microscope, burnishing on master die. Cemented inlays were embedded in the hard resin and sectioned with microcutter through the gingival margins. The sectioned surfaces were polished with emery paper and finally with aluminum oxide powders. The results of the experiments were measured for vertical discrepancies, horizontal discrepancied and cement thickness under the scanning electron microscpe at the beveled gingival margin. The results of the study were summarized as follows. 1. Group 1 showed the vertical discrepancies of $81.6{\mu}m({\pm}48.6{\mu}m)$, horizontal discrepancies of $60.1{\mu}m({\pm}41.1{\mu}m)$, and cement thickness of $59.6{\mu}m({\pm}24.6{\mu}m)$. 2. Group 2 showed the vertical discrepancies of $78.6{\mu}m({\pm}30.9{\mu}m)$, horizontal discrepancies of $36.9{\mu}m({\pm}20.7{\mu}m)$, and cement thickness of $54.0{\mu}m({\pm}21.6{\mu}m)$. 3. Group 3 showed the vertical discrepancies of $57.5{\mu}m({\pm}26.4{\mu}m)$, horizontal discrepancies of $28.4{\mu}m({\pm}17.5{\mu}m)$, and cement thickness of $37.2{\mu}m({\pm}17.4{\mu}m)$. 4. Group 4 showed the vertical discrepancies of $56.7{\mu}m({\pm}35.0{\mu}m)$, horizontal discrepancies of $31.8{\mu}m({\pm}24.2{\mu}m)$, and cement thickness of $45.6{\mu}m({\pm}19.8{\mu}m)$. 5. Vertical discrepancies were not significantly different at any groups(p>.050). 6. Microscope groups(Group 3, 4) showed significantly improved horizontal marginal adaptation (p<.050). 7. Although cement thickness showed the subset of Group 3. 4, 2 and Group 4, 2, 1. Group 3 showed significantly smaller thickness than Group l(p<.050). 8. Finishing and polishing by means of a microscope produced significantly smaller discrepancies than doing so with the unaided eye(p<.050).
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2002.05a
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pp.3-8
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2002
An intelligent polishing robot automation system is developed. Automatic Tool Change System(A.T.C.), Tool Posture Angle Control, and Robot Program for Polishing Application are developed and integrated into a robotic system that consists of a robot, pneumatic finding tool, and finding abrasives (papers and special films). A.T.C. is specifically designed to exchange whole grinding tool set for complete unmanned operation. Tool Posture Angle Control is developed to give a certain skew angle rather than right angle to tools on the surface for best finishing results. A.T.C. and Tool Posture Angle Control is controlled by a PC and the robot controller. Also, there have been some considerations on enhancing the performance of the system. Some elastic material is inserted between the grinding pad and the holder for better grinding contact. The robot path data is generated automatically from the NC data of previous machining process.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2001.04a
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pp.45-48
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2001
SL(Stereolithogrphy) part is made by piling up thin layers which causes the stair stepping effect at the surface of SL parts. This effect causes excessive surface roughness and requires additional postprocess finishing such as abrasive basting which is detrimental to part geometry and time consuming. Hence paraffin coating and grinding postprocess is proposed to raise the surface quality of SL part. The paraffin which has suitable properties for the proposed postprocess is coated all over the part surface. By grinding the thin layer of coated on the SL part only, the surface roughness can be improved without any damage on the part. From the experimental result, It is verified as very practical for die casting with silicon rubber mold.
The purpose of this study was to compare the marginal fitness between Ni-Cr alloy and type III gold alloy, according to two finishing line, chamfer and shoulder. As experimental materials, author selected type III gold alloy and Ni-Cr alloy (Hicrown) which were popularly used in Korea for the full cast crown. Author prepared the wax patterns with milled stainless steel die and ring. The wax patterns were invested, burnouted, and casted. The maginal discrepancy was measured with scanning electron microscope. Author obtained the following results from this study. 1. The maginal fitness of Type III gold alloy was not significantly different from that of Ni-Cr alloy (Hi-crown). 2. There is no significant difference between chamfer and shoulder in case of Type III gold alloy. 3. The maginal fitness of chamfer type is significantly superior to that of shoulder type in the Ni-Cr alloy (Hi-Crown).
A study has been made of the dry-jet-wet spinning of PAN copolymer fibers using 60% aqueous zinc chloride solution as solvent and 25∼40% aqueous zinc chloride solution as non-solvent. The technological characteristics of this method were that small streams of dope were extruded from the die and allowed to pass through a short distance of air gap(about 10mm) before entering the spinning bath for full coagulation. This work showed the importances which coagulation condition, stretch ratio and fiber tenacity up to 10.5 g/d could be obtained with elongation of 11∼16%. Individual fibers were evaluated on the basis of density and mechanical properties such as tenacity and elongation etc.
A study has been made of the dry-jet-wet spinning of PAN copolymer fibers using 60% aqueous zinc chloride solution as solvent and 25∼40% aqueous zinc chloride solution as non-solvent. The technological characteristics of this method were that small streams of dope were extruded from the die and allowed to pass through a short distance of air gap(about 10mm) before entering the spinning bath for full coagulation. This work showed the importances which coagulation condition, stretch ratio and fiber tenacity up to 10.5 g/d could be obtained with elongation of 11∼16%. Individual fibers were evaluated on the basis of density and mechanical properties such as tenacity and elongation etc.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2002.10a
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pp.659-662
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2002
SL(Stereolithography) part is made by piling up thin layers which causes the stair stepping effect at the surface of SL parts. This effect brings about excessive surface roughness and requires additional post-process finishing such as abrasive techniques that are detrimental to part geometry and time consuming. Hence a wax coating and grinding post-process is proposed to improve the surface quality of SL part. The wax that has suitable properties for the proposed post-process is coated all over the part surface. By grinding the thin layer of coated on the SL part only, the surface roughness can be improved without any damage on the part. From the experimental results, This approach is considered to be very practical fur die casting with RT(Rapid Tooling) techniques.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology
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v.5
no.5
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pp.571-581
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2018
In the present study, monitoring of elliptical vibration cutting process by utilizing internal data in the ultrasonic elliptical vibration device without external sensors such as a dynamometer and displacement sensor is investigated. The internal data utilized here is the change of excitation frequency, i.e. resonant frequency of the device, voltages applied to the piezoelectric actuators composing the device, and electric currents flowing through the actuators. These internal data change automatically in the elliptical vibration control system in order to keep a constant elliptical vibration against the change of the cutting process. Correlativity between the process and the internal data is described by using a vibration model of ultrasonic elliptical vibration cutting and verified by several experiments, i.e. planing and mirror surface finishing of hardened die steel carried out with single crystalline diamond tools. As a result, it is proved that it is possible to estimate the elements of elliptical vibration cutting process, e.g. tool wear and machining load, which are important for stable cutting in such precision machining.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.11
no.1
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pp.177-183
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1994
The ball-end milling process is widely used in the die/mold industries, and it is very suitable for the machining of free-from surfaces. However, cusps(or scallops) remaining at the machined part along the cutter paths require anothe finish process such as polishing or grinding. In this study, a high sped micro ball-end milling method has been suggested for the finish of free- form surfaces. A new tool path which makes the geometrical roughness of workpiece be constant through the machined surface has been developed. In the high speed machining of micro ball-end muling experimets, the developed tool paths have been successfully applied. And it was concluded that the surface roughness from this finish cuts of micro ball-end milling process was acceptable.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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