고압의 수소 및 중수소 분위기에서 열처리된 실리콘 산화막의 전기적 특성 관찰
(Electrical Characteristics of Ultra-thin $SiO_2$ Films experienced Hydrogen or Deuterium High-pressure Annealing)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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- pp.29-30
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- 2005