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Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber

  • 김호준;이승무;원제형
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.221-221
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    • 2014
  • The present work proposes an improved numerical simulator for design and modification of large area capacitively coupled plasma (CCP) processing chamber. CCP, as notoriously well-known, demands the tremendously huge computational cost for carrying out transient analyses in realistic multi-dimensional models, because electron dissociations take place in a much smaller time scale (${\Delta}t{\approx}10-8{\sim}10-10$) than time scale of those happened between neutrals (${\Delta}t{\approx}10-1{\sim}10-3$), due to the rf drive frequencies of external electric field. And also, for spatial discretization of electron flux (Je), exponential scheme such as Scharfetter-Gummel method needs to be used in order to alleviate the numerical stiffness and resolve exponential change of spatial distribution of electron temperature (Te) and electron number density (Ne) in the vicinity of electrodes. Due to such computational intractability, it is prohibited to simulate CCP deposition in a three-dimension within acceptable calculation runtimes (<24 h). Under the situation where process conditions require thickness non-uniformity below 5%, however, detailed flow features of reactive gases induced from three-dimensional geometric effects such as gas distribution through the perforated plates (showerhead) should be considered. Without considering plasma chemistry, we therefore simulated flow, temperature and species fields in three-dimensional geometry first, and then, based on that data, boundary conditions of two-dimensional plasma discharge model are set. In the particular case of SiH4-NH3-N2-He CCP discharge to produce deposition of SiNxHy thin film, a cylindrical showerhead electrode reactor was studied by numerical modeling of mass, momentum and energy transports for charged particles in an axi-symmetric geometry. By solving transport equations of electron and radicals simultaneously, we observed that the way how source gases are consumed in the non-isothermal flow field and such consequences on active species production were outlined as playing the leading parts in the processes. As an example of application of the model for the prediction of the deposited thickness uniformity in a 300 mm wafer plasma processing chamber, the results were compared with the experimentally measured deposition profiles along the radius of the wafer varying inter-electrode gap. The simulation results were in good agreement with experimental data.

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스마트 제조기술을 도입하는 일학습병행 학습기업을 위한 NCS 기반 교육훈련 및 자격 제안 (NCS-based Education & Training and Qualification Proposal for Work-Learning Parallel Companies Introducing Smart Manufacturing Technology)

  • 최환영
    • 실천공학교육논문지
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    • 제12권1호
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    • pp.117-125
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    • 2020
  • 중소·중견기업을 대상으로 하는 정부의 스마트 팩토리 추진 사업에 따라서 전국에 10,000개 이상의 지능형 공장이 구축 완료 또는 구축 예정으로 되어 있고 정부주도로 2022년까지 10만명의 전문 인력 육성을 목표로 하고 있다. 스마트 팩토리는 자동화된 제조현장에 효율적 자원관리 체계와 ICT 기술이 융합되는 형태로 각 지방 정부와 일부 대학, 공공단체 소속 훈련기관등이 중심이 되어 공급자 입장에서 수많은 종류의 교육훈련 과정을 소개하고 있으나 산업계 직업훈련의 표준이라고 할 수 있는 NCS와는 연계성이 부족한 상태로 그 방향성과 적정성은 재고의 여지가 있어 보인다. K 대학의 일학습병행제에 참여 중인 수도권과 충남권 학습기업을 대상으로 스마트 팩토리 도입 희망 여부와 수요를 파악하고 직무 매칭을 통하여 기업 내에서 스마트 팩토리 기술 도입의 창구 역할을 하게 될 실무자를 정의하여 커리어 패스를 감안한 육성목표를 설정하고 스마트 팩토리를 도입 및 운영에 적정한 훈련 필수능력단위와 선택능력단위의 수준, 훈련 시간을 포함하는 NCS 기반 자격 설계 안을 제시하고자 한다.

실시간 객체 지향 모델을 위한 시나리오 기반 구현 합성 (Scenario-Based Implementation Synthesis for Real-Time Object-Oriented Models)

  • 김세화;박지용;홍성수
    • 정보처리학회논문지D
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    • 제12D권7호
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    • pp.1049-1064
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    • 2005
  • 내간형 시스템이 제공하는 기능이 다양해지고 그 구조가 복잡해짐에 따라, 이들 시스템을 설계하는 데에 객체 지향 설계 방법론이 널리 사용되고 있다. 객체로 설계된 시스템을 대상 하드웨어에서 수행시키기 위해서는 객체들로부터 태스크 집합을 유도해야 하는데, 여기에 몇 개의 태스크가 존재하며 각 태스크가 어떤 객체들로 도착한 어떤 이벤트를 처리하느냐에 따라 시스템의 응답성이 크게 좌우된다. 그럼에도 불구하고 객체와 태스크의 상이함 때문에 최적의 태스크 집합을 유도하는 것은 매우 어려운 일이며, 그로 인해 지금까지는 여러 태스크 집합을 반복적으로 시도해 보는 것이 보편적인 방법이었다. 본 논문에서는 이 문제를 해결하는 Scenario-based Implementation Synthesis Architecture(SISA)를 제안한다. SISA는 객체로 설계된 시스템에서 태스크 집합을 유도하는 방법, 그리고 이를 지원하는 개발 도구와 런타임 시스템 아키텍처를 총칭한다. 이를 이용하여 개발된 시스템은 가능한 적은 개수의 태스크들로 이루어져 있으면서도 시스템의 각 이벤트에 대한 응답 시간이 최소임이 보장된다. 우리는 UML 2.0을 모델링 언어로 사용하는 개발도구인 ResoRT를 확장하여 SISA를 구현했으며, 기 개발된 산업용 PBX(사설교환기) 시스템에 이를 적용했다 이 시스템의 성능 평가 결과, 지금까지 알려진 최선의 태스크 유도 방식을 이용하여 개발되었을 때에 비해 ,시스템의 최대 응답 시간이 평균 $30.3\%$ 단축된다는 것을 확인할 수 있었다.

실내공간의 부분적 개방에 따른 음향특성변화 I - 확산음장과 자유음장의 수평적 결합을 중심으로 - (Acoustic characteristics of sound field in partially opened rooms - Emphasis on horizontal coupling of diffuse and non-diffuse field -)

  • 정대업;최영지;김지영;오양기;최석주
    • 한국공간구조학회논문집
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    • 제7권2호
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    • pp.105-114
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    • 2007
  • 최근 다양한 목적의 대공간 사용이 보편화되고 있다. 이들 공간에 대한 다목적요구로 인해 최근 건립되는 대형 스포츠시설들은 스포츠뿐만 아니라 공연과 같은 다양한 이벤트를 수용하도록 요구받고 있다. 다양한 이벤트 상태의 제공을 위해서 건물의 일부를 부분적으로 개폐하는 방식의 사용이 빈번해지고 있으며 이와 같은 부분적 개폐는 자유음장과 확산음장의음향적 연결을 초래하여 음향설계단계에서 어려움을 초래할 것으로 예상된다. 본 연구에서는 1/10 축소모형을 이용하여 확산음장과 자유음장의 음향적 연결에 따른 음장의 음향특성을 측정 분석하였다. 연구결과, 저중주파수 대역에서의 잔향시간은 개구율이 증가함에 따라 고주파수 대역에서보다 빠른 감쇠를 나타내었다. 또한 EDT는 모든 주파수대역에서 개구율 증가에 선형적으로 비례하여 감쇠하는 것으로 나타났다. 명료도는 개구율이 12.5%에 이르기까지 거의 영향을 받지 않으며 그 이후에는 선형적으로 비례하여 증가하였다. 에너지 감쇠패턴의 분석결과, 이중 및 삼중의 감쇠패턴이 나타나고 있으며, Schroeder 적분에 의한 잔향시간의 산출은 부적절한 것으로 판단된다. 따라서 부분적 개방형 공간의 잔향예측에 있어서 EDT가 보다 적절한 것으로 판단된다.

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조경교육에 있어 학습자 중심 스튜디오 수업의 쟁점 (Issues of Learner-Centered Studio Classes in Landscape Architectural Education)

  • 김아연
    • 한국조경학회지
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    • 제43권1호
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    • pp.139-156
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    • 2015
  • 산업사회에서 지식기반사회로의 시대적 변화에 부응하는 새로운 조경전문가의 인재상과 핵심역량에 대한 정의가 필요한 시점에서 스튜디오 교육은 조경학과 교과과정에서 실천적 전문가를 양성하기 위한 핵심적인 교육방법론이다. 본 연구는 실무현장과 대학교육의 간극을 극복할 수 있는 스튜디오 수업의 의미와 주요 쟁점을 교육학적 접근을 통해 도출하여 스튜디오 수업을 재정비하기 위한 이론적 기초를 제공하고자 하였다. 조경의 외부적, 내부적 여건 변화와 교육의 관계성을 역량을 중심으로 살펴보고, 대학교육 패러다임의 변화와 스튜디오 교육을 학습자의 관점에서 고찰하며, 조경교육의 변화를 추적하여 현재 우리나라 조경 스튜디오 수업의 현주소를 살펴보았다. 이를 통해 우리나라 스튜디오 교육을 진단하기 위한 다섯 가지 쟁점을 도출하였다. 먼저 역량에 대한 총체적 접근의 필요성을 제기하였으며, 두 번째로 전체 교과과정에서 스튜디오 과목의 위상을 재정립하고 이론과목과의 연계성을 강화할 필요성을 제시하였다. 셋째, 현재 가장 활성화되어 있는 설계 스튜디오의 의미를 되짚어 학년별 차별화 전략을 도입할 필요성을 논의하였고, 네 번째로 스튜디오 방법론의 연구와 실천을 통한 실질적인 수업개선이 필요하다는 점을 제기하였다. 마지막으로 스튜디오의 현장성 강화 및 다양성 확보 전략 수립과 기반시설의 확충과 관련한 문제를 제시하였다.

대학의 학교홍보를 위한 광고 표현전략연구 - 인쇄매체 광고디자인을 중심으로 - (The Creative strategy for the school Advertising)

  • 장호철
    • 디자인학연구
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    • 제12권2호
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    • pp.75-86
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    • 1999
  • 1995년 시작된 교육개혁이후 국내의 대학들은 설립이래 가장 큰 위기를 맞고 있다. 대학 설립이 자유로워지고 외국 교육기관의 국내 시장 진출이 가능해졌으며 무엇보다도 핵가족화에 따른 인구자연감소로 2003년에는 대학의 모집인원이 지원하는 학생 수보다도 더 많아지게 됐다. 이미 지방의 경쟁력이 없는 대학에서는 정원 미달이란 초유의 사태가 벌어지고 있으며 무사안일과 보수적 성향에 있었던 대학들은 이제 개혁과 변화의 물결에서 벗어날 수 없게 되었다. 2년제 포함 300여 개가 넘는 대학의 수는 서로를 경쟁의 상대로 느끼기 시작했으며 각 대학들은 이 치열한 경쟁의 해결책으로 광고 마케팅을 인식하고 본격적인 광고활동을 벌이고 있다. 양적으로 급작스럽게 커지고 있는 대학광고는 그 질적인 수준이라 할 수 있는 크리에이티브 전략에서는 기업광고나 제품광고에 비해 많이 뒤쳐져 있다. 본 연구를 통해 대학광고 특성을 파악하고 집행된 대학광고물의 표현전략으로서의 크리에이티브를 분석, 효과적인 표현전략을 제시하고자 한다. 대학이 가지는 공공성의 특성 때문에 일반 기업광고의 상업적인 차원과는 다른 접근이 필요하며 기존의 모집 공고형태의 수동적인 자세에서 이미지 홍보형태의 적극적인 표현전략이 요구된다. 이러한 효과적이고 적극적인 표현전략을 통해 수험생을 1차적 타켓오디언스로 하는 대학광고의 소비자들에게 대학선택의 기회를 제공할 뿐 아니라 미래의 잠재적 고객인 초·중학생 또는 일반인에게도 긍정적이고 적극적인 이미지를 주입시켜 효과적인 커뮤니케이션을 가능케 할 것이다.

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농산물 구매선택 속성이 로컬푸드 직매장 이용에 미치는 영향 연구 (A Study on the Effects of Selection Attributes for Agricultural Products on Using Local Food Store)

  • 정준호;황성혁
    • 유통과학연구
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    • 제14권4호
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    • pp.117-125
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    • 2016
  • Purpose - As consumers' needs for purchasing fresh and safe food have been bigger in Korea, their interest in local food is also growing recently. So, the number of local food stores has been increased from 3 in 2012 to 103 in 2015. Local food stores should operate a business responding consumers' needs in order that local food stores are not to be a one-time fad. Therefore, the purpose of this study is to analyze the characteristics of consumers who use a local food store and provide helpful implications to design a strategy for sustainable growth of local food store. Research design, data, and methodology - In this study, Probit model was used for empirical analysis in order to examine the effect of purchase choice attributes of agricultural products, consumer's satisfaction, and their demographic factors upon the intention to use a local food store. After estimating coefficients of the probit model, marginal effects were calculated as a standard normal, and cumulative distribution is differentiated with respect to explanatory variables. To collect the data, questionnaire survey was carried out with the consumers using the local food store (Youngjin Nonghyup near to Jeonju city located in Jeollabuk-do). Result - The data analysis found that the more consumers are satisfied with local food store, the higher intention they have to use the local food store. In addition, it was known that the factors related to quality of agricultural products and shopping convenience among the purchase choice attributes have a considerable impact on the purchase intention of a local food store. In demographic factors, income was turned out to be an important factor affecting purchase intention of local food. Such a result supports the hypothesis that high income consumers are likely to purchase local food, which is based on the inference that consumers who have a high income tend to pursue wellbeing life. Futhermore, information delivery, through a reputable media source among general factors, was known to play an important role in forming an intention to purchase local food. According to the analysis of marginal effects, probability of purchase intention of a local food store is increased by 11.4%, if a monthly average income of a household is above 4.5 million Won(Korean currency). If purchasing satisfaction with local food stores is high, the probability of purchase intention would be increased by 24.1%. Likewise, such a probability goes up by 8.7%, 5.8%, respectively as an increasing one unit of quality of agricultural products and shopping convenience of local food stores, respectively. Conclusion - For attaining sustainable growth in a local food store, it is considered necessarily to establish a proper store operation system to meet consumers' needs, especially for quality and shopping convenience of local food. Moreover, as it was found that appropriate communication through media source has a positive effect on the intention to use local food store, PR activity seems to be necessary to expand the consumers' demands for local foods.

미디어기술 융합공연 사례분석을 통한 무대미술 전공 교과목 연구 (A Development of Theatre Art Major Course based on Case Studies of Media Technology-converged Performances)

  • 박진원;김가은
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제19권5호
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    • pp.562-571
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    • 2019
  • 예술과 미디어 기술을 융합한 새로운 장르의 공연콘텐츠 시장의 확장은 전통적인 무대미술 표현범위의 한계를 넘어 창의적인 시공간적 표현을 자유롭게 하며 공연예술분야 내 블루오션으로 성장하고 있다. 이러한 시대적 변화와 요구에 따른 공연예술 산업 발전에 이바지할 예술 기술 융합 콘텐츠 제작이 가능한 융합 인재 수요가 급증하고 있다. 이에 따라 대학의 무대미술 전공 관련학과에서는 기존의 미술교육 외 시대에 상응하는 무대영상 및 다양한 미디어 매체 기술(가상현실. 홀로그램, 인터렉티브 모션센서)등을 공연예술 분야 시각화 과정에 접목시키는 역량제고를 위한 교과목 개발이 시급하다고 판단했다. 본 논문은 최근 10년간 미디어기술 융합공연 사례분석을 통하여 구체적인 기술융합 무대미술 전공 교과목 개발에 관하여 연구하고자 한다. 무대미술과 미디어 기술 융합교육 시도는 기존의 전통적인 무대미술 개념을 기반으로 작품성과 더불어 창조적인 시각적 표현의 한계를 뛰어넘는 융합인재 양성의 초석이 될 것이다.

광분해반응을 통한 MTBE 제거에 대한 통계적 최적화 연구 (The Study of Statistical Optimization of MTBE Removal by Photolysis(UV/H2O2))

  • 천석영;장순웅
    • 한국지반환경공학회 논문집
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    • 제12권9호
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    • pp.55-61
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    • 2011
  • 본 연구는 UV와 $H_2O_2$를 통한 광분해 반응기에서의 Methyl Tert Butyl Ether(MTBE) 제거에 대해 조사하였다. 이 공정은 일반적으로 UV의 존재 하에 수용액 상에 생성되는 OH 라디칼을 요구하며, 이 라디칼들은 MTBE 분자를 공격하여 최종적으로 파괴하거나 무해한 단순 화합물로 전환시킨다. 반응들은 조사강도, MTBE 초기농도와 $H_2O_2$/MTBE비의 독립변수를 수학적으로 표현하였고, 반응표면법(Response Surface Methodology; RSM)을 사용하여 모델화하였다. 이 실험들은 Box-Behnken Design(BBD)를 통한 15개의 실험을 포함하여 실시하였다. ANOVA의 회귀분석 항은 유의한 p-value(p<0.05)와 높은 결정계수($R^2$=94.60%)를 나타내어 2차 회귀모델의 예측이 적절한 것으로 나타났다. 그리고 반응에 대한 정준분석을 통해 예측된 Y에 대한 최적 반응과 최대반응의 예측된 능선을 통해 최적조건은 각각 조사강도인 $x_1$=25.75W, MTBE 초기농도의 $x_2$=7.69mg/L 와 $H_2O_2$/MTBE비인 $x_3$=11.04로 관찰되었다. 본 연구는 RSM이 MTBE 제거의 최대화와 운전조건의 최적화에 적용하기에 알맞은 것으로 나타났다.

박근혜정부의 교원정책 평가 (Evaluating Teacher Policy of Park Geun-hye Government)

  • 신현석;윤지희
    • 한국교육학연구
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    • 제23권4호
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    • pp.101-133
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    • 2017
  • 본 연구는 박근혜정부 임기동안 이루어진 교원정책의 궤적을 추적하여 정책 형성에서부터 종료에 이르기까지의 과정을 종합적으로 평가하고, 도출된 성과와 문제점을 바탕으로 정책적 제언을 제시하는 데에 목적을 두었다. 이러한 목적을 달성하기 위해 먼저 박근혜정부 교원정책 추진의 실제를 알아보고, 정책과정 전반을 살펴볼 수 있는 CIPP 모형에 기반하여 각 평가준거를 설정하였으며, 이를 토대로 평가를 실시하였다. 결과를 종합하여 결론을 제시하면 다음과 같다. 우선, 상황평가의 환경적합성이 충족되었다. 박근혜정부의 교원정책은 환경의 변화와 정책 이해관계자들의 요구를 적극 반영하여 도입되었기 때문이다. 환경적합성을 갖출 때, 정책은 정당성을 확보할 수 있기에 향후 정책추진 시에도 이를 고려해야 한다. 투입평가의 정책목표의 타당성과 실현가능성은 충족되지 않았다. 정책방안의 목표에 결함이 있거나, 방안의 목표가 정책목표와 연계되지 않았으며, 정책집행에 필요한 예산이 확보되지 않았기 때문이다. 향후 정책 설계 시에는 정책목표와 정책방안 목표가 타당한지를 검토하고, 정책추진에 필요한 자원을 확보하여 정책의 실현가능성을 높이려는 노력이 필요하다. 과정평가의 절차적 합리성과 수단의 적합성도 충족되지 않았다. 일부 정책방안의 집행과정에서 이해집단과의 논의가 생략되거나 정책방안 자체에 오류가 있어 해당 방안의 실행이 어떻게 정책의 목표 달성과 연계되는지가 불명확했기 때문이다. 향후 정책집행 과정에서는 이해관계자와의 소통과 협업 등의 절차를 중시하고, 방안에 문제가 있을 경우 이를 즉각적으로 수정하려는 노력이 필요하다. 산출평가의 효과성과 만족도도 낮았다. 정책목표의 타당성과 수단의 적합성 그리고 절차적 합리성이 충족되지 못했기 때문이다. 향후에는 정책실패를 미연에 방지하게 위해 정책을 체계적으로 설계하고, 집행과정에서 이해관계자들과 적극적으로 소통을 하려는 노력이 필요하다.