• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 춘계학술대회 논문집 반도체재료
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• pp.34-37
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• 2001

As the integrated circuit device shrinks to smaller dimensions, chemical mechanical polishing (CMP) process was required for the global planarization of inter-metal dielectric (IMD) layer with free-defect. However, as the inter-metal dielectrics (IMD) layer gets thinner, micro-scratches are becoming as major defects. Micro-scratches are generated by agglomerated slurry, solidified and attached slurry in pipe line of slurry supply system. To prevent agglomerated slurry particle from inflow, we installed 0.5${\mu}m$ POU (point of use) filter, which is depth-type filter and has 80% filtering efficiency for the $1.0{\mu}m$ size particle. In this paper, we studied the relationship between defect generation and pad count to understand the exact efficiency of the slurry filtration, and to find out the appropriate pad usage. Our preliminary results showed that it is impossible to prevent defect-causing particles perfectly through the depth-type filter. Thus, we suggest that it is necessary to optimize the flow rate of slurry to overcome depth type filters weak-point, and to install the high spray of de-ionized Water (DIW) with high pressure.

• 방사선산업학회지
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• 제12권4호
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• pp.297-302
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• 2018

The wedge filter has two movements, fixed and dynamic. In this study, the depth dose distribution was analyzed to determine the stability of the dose distribution and dose volume histograms obtained by evaluating the usability of the critical normal tissue dose around the tumor dose. The depth dose was analyzed from the dose distribution from a Linac (6 MV and 10 MV irradiation field of energy $20{\times}20cm^2$, wedge filter with a SSD of 100 cm and $15^{\circ}$, $30^{\circ}$, $45^{\circ}$ Y1-in (Left -7 cm), Y2-out(Right +7 cm). To analyze the fluctuations of the depth dose, a fixed wedge and dynamic wedge toe portion was examined according to the energy and angle because the size of the fluctuations was included in the error bound and did not show significant differences. The neck, breast, and pelvic dosimetry in tumor tissue are measured more commonly with a dynamic wedge than a fixed wedge presumably due to the error range. On the other hand, dosimetry of the surrounding normal tissue is more common using a fixed wedge than with a dynamic wedge.

• 한국정보전자통신기술학회논문지
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• 제15권2호
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• pp.109-116
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• 2022

본 논문에서는 센서 시스템에 유입된 60Hz 라인 주파수 잡음의 영향을 효과적으로 제거하기 위한 상태 변수 필터(state variable filter, SVF) 구조의 대역 억제 필터(band rejection filter, BRF)를 제안한다. 기존 SVF 구조의 BRF는 추가적인 연산 증폭기(operational amplifier, OPAMP)를 사용하여 저역 통과 필터(low pass filter, LPF) 출력과 고역 통과 필터(high pass filter, HPF) 출력 간의 합 또는 입력 신호와 대역 통과 필터(band pass filter, BPF) 출력 간의 차를 구함으로써 구현한다. 따라서 BRF의 신호 감쇄를 결정하는 노치 주파수(notch frequency)와 노치 깊이(notch depth)가 신호의 합 또는 차를 구하는데 사용한 저항의 허용 오차(tolerance)에 크게 의존된다. 반면에 제안 된 BRF는 SVF 구조 내에 BRF 출력이 자연발생적으로 형성되기 때문에 각 포트 간의 조합이 필요 없게 되어 기존 BRF와 달리 노치 주파수와 노치 깊이가 저항의 허용 오차에 영향을 받지 않는다. 제안된 BRF의 노치 주파수는 59.99Hz이며 몬테 카를로 시뮬레이션 결과를 통해 저항의 허용 오차에 전혀 영향을 받지 않는 것을 확인할 수 있었다. 노치 깊이도 평균 -42.54dB, 표준편차 0.63dB를 가져 BRF로서 정상적인 동작이 가능함을 확인하였다. 또한 제안된 BRF를 가지고 60Hz 잡음에 간섭이 된 심전도 신호에 대하여 잡음 필터링을 적용한 결과를 보여주었으며 60Hz 잡음이 적절하게 억제되는 것을 확인할 수 있었다.

• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제4권1호
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• pp.55-71
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• 1993

Measured and calculated the TMR and SMR factors from percent depth dose underpartial attenuators which cover the whole part of the radiation beam with variousfilter thickness from 0 to 50 mm. This study was performed for x-ray beams generated with a 6 MV linear acceleratorat source to surface distance of 100cm in a water phantom for Lipowitz metal. TMR(0,d,t) was derived from non-linear polynomial regression with field sizedifferencies and a given filter thickness. In this experiments, the TMR(0,10,50) of 50mm of filter thickness was showed13.6 % higher than that of open field and SMR(5,10,50) was 38.5% smaller than thatof open field in same depth.

• 상하수도학회지
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• 제26권5호
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• pp.659-668
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• 2012

In Korea, almost every water treatment plant suffers from seasonal problem of algae and turbidity which result from eutrophication and heavy rainfall. To relieve this problem, experimental investigation was performed to study the applicability of a floating-media and sand filter to preliminary water treatment in terms of algae and turbidity removal. Experimental results using pure-cultured algae influent showed that the shape of algae species as well as filtration velocity affects the removal efficiency. From the experiments using natural river water, it was concluded that algae removal is more sensitive to floating-media depth but turbidity more sensitive to sand depth. As the filtration velocity increased, the removal of turbidity decreased but that of algae was not affected. The floating-media and sand filter removed more than 30 % of TP, TN, turbidity, Chl-a and CODcr, and less than 20 % of DOC and $UV_{254}$.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제15권5호
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• pp.1155-1163
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• 2011

본 논문에서는 깊이 맵(depth map)에 대한 효율적인 부호화를 위하여 전처리 기법을 제안한다. 현재 3차원 비디오 부호화(3D video coding : 3DVC)에 대한 표준화가 진행 중에 있지만 아직 깊이 맵의 부호화 방법에 대한 표준은 확정되지 않은 상태이다. 제안하는 기법에서는 먼저 입력된 깊이 맵의 히스토그램 분포를 가우시안 혼합모델(Gaussian mixture model : GMM) 기반의 EM(expectation maximization) 군집화 기법을 이용하여 분리한다. 분리된 히스토그램을 기반으로 깊이 맵을 여러 개의 레이어로 분리하게 된다. 분리된 각각의 레이어에서 배경과 객체의 포함여부에 따라 다른 조건의 민쉬프트 필터(mean shift filter)를 적용한다. 결과적으로 영상내의 각 영역 경계는 최대한 살리면서 영역내의 화소 값에 대해서는 평균 연산을 취하여 부호화시 효율을 극대화 하고자 하였다. 다양한 실험영상에 대하여 제안한 기법을 적용한 깊이 맵을 부호화하여 비트율(bit rate)이 감소하고 부호화 시간도 다소 줄어드는 것을 확인 할 수 있었다.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제15권4호
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• pp.103-106
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• 2016

3D technology is main factor in Augmented Reality. Depth map is essential to make cubic effect using 2d image. There are a lot of ways to construct Depth map. Among them, stereo matching is mainly used. This paper presents how to generate depth map using stereo matching. For stereo matching, existing Dynamic programming method is used. To make accurate stereo matching, High-Boost Filter is applied to preprocessing method. As a result, when depth map is generated, accuracy based on Ground Truth soared.

• Journal of information and communication convergence engineering
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• 제11권2호
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• pp.139-146
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• 2013

This paper proposes a new spatial filtering approach for increasing the depth-of-field (DOF) of imaging systems, which is very useful for obtaining sharp images for a wide range of axial positions of the object. Many different techniques have been reported to increase the depth of field. However the main advantage in our method is its simplicity, since we propose the use of purely absorbing beam-shaping elements, which allows a high focal depth with a minimum modification of the optical architecture. In the filter design, we have used the analogy between the axial behavior of a system with spherical aberration and the transverse impulse response of a 1D defocused system. This allowed us the design of a ring-shaded filter. Finally, experimental verification of the theoretical statements is also provided.

• 열병합발전
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• 통권68호
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• pp.14-18
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• 2009

• 한국정보통신학회논문지
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• 제20권7호
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• pp.1369-1375
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• 2016

본 논문에서는 요소 영상간의 상관관계를 위상필터를 이용하여 구하고 집적 영상 기술에서 이를 활용하여 깊이정보를 추출하는 시스템을 제안한다. 집적 영상 기술은 수동 광원을 사용하여 렌즈 배열을 통해 3차원 물체의 광선정보를 2차원 영상 획득 장치로 기록하고 이를 동일한 렌즈 배열을 통해 3차원 영상을 디스플레이 하는 3차원 영상 시스템 기술이다. 렌즈 배열을 통해 획득된 2차원 영상들은 서로 다른 원근감을 가지는 요소 영상이다. 이 영상들과 물체와의 상관관계를 구하여 깊이정보를 추출할 수 있다. 그리고 요소 영상으로 컴퓨터 재생을 하여 다시 필터를 이용한 상관관계를 구하게 되면 더욱 정확한 깊이정보를 얻을 수 있다. 본 논문에서는 제안된 기술을 검증하기 위해 광학적 실험을 수행하고 상관관계의 지표로써 Peak Side lobe Ratio (PSR)을 구하였다.