• Title/Summary/Keyword: cos

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Carbon 계 유기막질 Plasma Etching에 있어 COS (Carbonyl Sulfide) Gas 특성에 관한 연구

  • Kim, Jong-Gyu;Min, Gyeong-Seok;Kim, Chan-Gyu;Nam, Seok-U;Gang, Ho-Gyu;Yeom, Geun-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.460-460
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    • 2012
  • 반도체 Device가 Shrink 함에 따라 Pattern Size가 작아지게 되고, 이로 인해 Photo Resist 물질 자체만으로는 원하는 Patterning 물질들을 Plasma Etching 하기가 어려워지고 있다. 이로 인해 Photoresist를 대체할 Hard Mask 개념이 도입되었으며, 이 Hardmask Layer 중 Amorphous Carbon Layer 가 가장 널리 사용되고 지고 있다. 이 Amorphous Carbon 계열의 Hardmask를 Etching 하기 위해서 기본적으로 O2 Plasma가 사용되는데, 이 O2 Plasma 내의 Oxygen Species들이 가지는 등 방성 Diffusion 특성으로 인해, 원하고자 하는 미세 Pattern의 Vertical Profile을 얻는데 많은 어려움이 있어왔다. 이를 Control 하기 인해 O2 Plasma Parameter들의 변화 및 Source/Bias Power 등의 변수가 연구되어 왔으며, 이와 다른 접근으로, N2 및 CO, CO2, SO2 등의 여러 Additive Gas 들의 첨가를 통해 미세 Pattern의 Profile을 개선하고, Plasma Etching 특성을 개선하는 연구가 같이 진행되어져 왔다. 본 논문에서 VLSI Device의 Masking Layer로 사용되는, Carbon 계 유기 층의 Plasma 식각 특성에 대한 연구를 진행하였다. Plasma Etchant로 사용되는 O2 Plasma에 새로운 첨가제 가스인 카르보닐 황화물 (COS) Gas를 추가하였을 시 나타나는 Plasma 내의 변화를 Plasma Parameter 및 IR 및 XPS, OES 분석을 통하여 규명하고, 이로 인한 Etch Rate 및 Plasma Potential에 대해 비교 분석하였다. COS Gas를 정량적으로 추가할 시, Plasma의 변화 및 이로 인해 얻어지는 Pattern에서의 Etchant Species들의 변화를 통해 Profile의 변화를 Mechanism 적으로 규명할 수 있었으며, 이로 인해 기존의 O2 Plasma를 통해 얻어진 Vertical Profile 대비, COS Additive Gas를 추가하였을 경우, Pattern Profile 변화가 개선됨을 최종적으로 확인 할 수 있었다.

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Development of a Methanol Absorption System for the Removal of $H_2S$, COS, $CO_2$ in Syngas from Biomass Gasifier (바이오매스 가스화 내의 $H_2S$, COS, $CO_2$ 복합 제거를 위한 메탄올 흡수탑 개발)

  • Eom, Won Hyun;Kim, Jae Ho;Lee, See Hoon
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.23 no.1
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    • pp.23-27
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    • 2012
  • To make synthetic liquid fuel from biomass such as wood pellet, energy crop and so on, a biomass to liquid (BTL) process by using a biomass gasifier with Fisher-Tropsch (FT) reaction was developed. However $H_2S$, COS and $CO_2$ in syngas from biomass gasifiers resulted in a decrease of the conversion efficiency and the deactivation of the catalyst. To remove acid gases in syngas, a lab-scale methanol absorption tower was developed and the removal characteristics of acid gases were investigated. The methanol absorption tower efficiently removed $H_2S$ and COS with a removal of $CO_2$, so it could be useful process for the BTL process.

A Study on the Factors affecting Child Adjustment (아동의 초기 유아원 적응에 영향을 미치는 변인 연구)

  • 김지은
    • Journal of the Korean Home Economics Association
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    • v.34 no.4
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    • pp.119-131
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    • 1996
  • The relationship of maternal separation anxiety, availability of support system and child gender to initial preschool adjustment was examined. Data were collected on 72 middle-class Korean children(35 boys, 37 girls) between the ages of 31 months and 60 months who were entering preschool. Subjects were from intact families, all with non-working mothers. Mothers completed the Maternal Separation Anxiety Scale(MSAS) and indicated the number of extended family members in the home as an index of social support. Classroom teachers completed the Preschool Behavior Questionnaire (PBQ) for each child after the first 2 weeks and again after 6 weeks of school. Each child was observed by the research team during the first 2 weeks of school and again after the 6th-week using the Child Observation System (COS). Applying the COS observed behavior was classified as being in the dependent, neutral, or active mode. All instruments were culturally relevant as validated by Korean experts. Maternal Separation Anxiety was a significant predictor for girls only, accounting for 11% of initial COS variance (p=<.05). In contrast, social support was a significant predictor for boys only, accounting for 28% of initial PBQ variance when entered after MSAS(p=.005). A significant difference between initial and 6th-week adjustment was obtained in the expected direction on the COS with behavior improving with time (t=-4.06, p=.001). Although a significant difference between initial and 6th-week PBQ adjustment was also obtained (t=-3.63, p=.001), it was not in the direction expected, problematic behavior were found to increase with time. Cultural and developmental factors help explain the findings. Given the patrilineal social system in Korea, boys are highly preferred over girls. Thus the at-home support system, comprised primarily of grandparents, may have a significant influence on school adjustment particularly of first-born sons. In contrast, since girls are viewed as fragile and vulnerable, mothers may express greater separation anxiety about girls. Finally, as would be expected, older children may be able to develop coping skills more readily than younger ones, as child adjustment on the COS significanlty improved over the 6-week period.

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COMPARISON OF HENYEY-GREENSTEIN WITH DRAINE SCATTERNING PHASE FUNCTIONS (DRAINE 과 HENYEY-GREENSTEIN 산란 위상 함수 비교)

  • Seon, Kwang-Il
    • Publications of The Korean Astronomical Society
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    • v.23 no.2
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    • pp.25-29
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    • 2008
  • Scattering of incident light by the interstellar dust is usually approximated by Henyey-Greenstein scattering phase function. Recently, Draine (2003) proposed a new analytic phase function with two parameters. We describe an algorithm to generate random numbers distributed according to the Draine’s function, and compare two phase functions. It is also derived exact solutions of two parameters for given values ${\langle}cos{\theta}{\rangle}$ and ${\langle}cos^2{\theta}{\rangle}$. It is found that Henyey-Greenstein function with g = ${\langle}cos{\theta}{\rangle}$ provides a good approximation for ${\lambda}\;>\;2000{\AA}$. At shorter wavelengths, more realistic phase function may be needed for radiative transfer models.

Noise Reduction Performance of a Reactive type Silencer with Perforated Panels (다공판이 내장된 반사형 소음기의 소음저감 성능)

  • Lee, Sun-Ki;Lee, Young-Chul;Song, Hwa-Young;Lee, Dong-Hoon
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.1415-1418
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    • 2007
  • When a high voltage COS fuse becomes a short circuit by the over current, the impulse noise over 150 dB(A) with the strong pulse jet is radiated from the COS fuse of an electric transformer. For the purpose of the impulse noise reduction, in this study, a reactive type silencer with perforated panels are considered. The transmission loss of the silencer are calculated by transfer matrix method. The effect of the porosity, the distance between panels, and the number of perforated panel on the sound transmission loss is investigated and discussed.

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Monitoring Kinetics Using Near Infrared Spectra and Two-dimensional Correlation Spectroscopy

  • Berry, R. James;Ozaki, Yukihiro
    • Proceedings of the Korean Society of Near Infrared Spectroscopy Conference
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    • 2001.06a
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    • pp.1282-1282
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    • 2001
  • Near Infrared (NIR) spectra has long been used in industry to monitor rates of reactions via calculation of analyte concentrations. However, the kinetic information is inherent in the data through spectral ratios. Two-dimensional correlation spectroscopy (2D-COS) is a spectral method that is based on changes (e.g. concentration) in time and is therefore uniquely suited for reaction monitoring. This method is especially useful in the understanding of how the reaction(s) proceeds. We will show the application of 2D-COS to synthetic kinetic data from different reaction orders to illustrate the method. We will then show application to real reactions of various orders. Finally, we will illustrate how 2D-COS will be of specific interest to developing optimized industrial reactions.

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Design and Implementation of A Distributed Shared Object Model for the Distributed Real-time Object, TMO (분산 실시간 객체 TMO를 위한 분산 공유 객체 모델의 설계 및 구현)

  • Choi, Young-Hwan;Kim, Jung-Guk;Han, Sueng-Yun
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2011.06a
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    • pp.502-505
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    • 2011
  • RT-eCos3.0은 대표적 분산 실시간 객체 모델인 TMO(Time-triggered Message-triggered Object)의 실행을 제공하기 위하여 공개소스 eCos3.0 기반으로 개발된 초경량 경성 실시간 임베디드 운영체제이다. RT-eCos3.0에서는 분산 컴퓨팅 지원을 위하여 네트워크에 투명한 채널 기반 publisher/subscriber 모델의 멀티캐스트 분산 IPC를 지원하고 있다. 본 논문에서는 이와 같은 기존의 분산 IPC를 이용하여 보다 더 직관적인 분산 동기화 read/write 인터페이스를 제공하는 객체 기반의 분산 공유 메모리 시스템을 설계/구현하였다. 구현된 분산 공유 메모리는 각 로컬 노드의 캐시 객체의 사용으로 가능한 한 최소한의 네트워크 통신으로 동기화가 가능하도록 설계 구현되었다.

New Cholinesterase Inhibitor, Lipoic Acid-Nitrone Derivatives

  • Seo, Yun-Mi;Nam, Kang-Hee;Kang, Pill-Seong;Ko, Sung-Bo;Oh, Eu-Gene;Sung, Min-Tae;Choi, Byoung-Wook;Lee, Bong-Ho;Park, Jeong-Ho
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • v.28 no.2
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    • pp.225-228
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    • 2007
  • Lipoic acid (LA) is a multifunctional antioxidant against a variety of ROS. Nitrone acts as free radical spin trap and exhibits neuroprotective activity. Thus, LA-nitrone derivatives (6, 7, 8, and 9) were synthesized and screened as an antioxidant and inhibitors for cholinesterases. Even though the antioxidant effect of LA-nitrone derivatives was not improved, they turned out to be effective inhibitors of acetylcholinesterase (AChE) and butyrylcholinesterase (BuChE) in μM range.

The Design and Implementation of Advanced MuTexS For Minimizing Priority Inversion Time In uCOS (우선순위 역전시간 최소화를 위한 uCOS 에서의 확장 MuTexS 설계 및 구현)

  • Lee, Jae-Ho;Kim, Heung-Nam;Kim, Sun-Ja
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2001.10a
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    • pp.659-662
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    • 2001
  • 본 논문은 실시간 운영체제에서 높은 우선순위를 가지는 태스크가 낮은 우선순위를 가지는 태스크가 사용중인 공유자원을 기다리는 과정에서 발생하는 우선순위 역전현상을 해결하기 위한 효과적인 방법에 대해 언급한다. 우선순위 역전현상은 실시간 운영체제의 주요 특징인 태스크 수행 완료의 바운드 타임을 예측하기 어렵게 만들어 실시간 운영체제를 사용하는 가장 큰 목적인 결정성(determinism)을 보장 받지 못하게 된다. 이를 해결하기 위해 논문에서 구현된 커널은 비교적 크기가 작으면서도 실시간 운영체제의 핵심적 특징을 잘 갖추고 있는 uCOS(Micro C/OS) 커널을 사용하였으나, 유일한 우선순위만을 갖는 uCOS의 제약사항을 보완하고 Priority Inheritance protocol을 이용한 MuTexS (Mutual Exclusion Semaphore)를 구현 하기위해 커널의 자료구조를 확장하여 수정된 스케줄링 방식을 사용하였다.

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A Study on the module design for vehicle multi-priority data processing based on RT-eCos (RT-eCos 기반의 차량용 다중 우선순위 데이터 처리 모듈 설계에 관한 연구)

  • Kim, Dongmin;Kim, Jungguk
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2013.11a
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    • pp.95-97
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    • 2013
  • 최근 지능형 자동차에 대한 연구가 활발하게 진행 되면서, 차량에서 발생하는 데이터를 처리하기 위한 다양한 기술들이 연구되고 있다. 더불어 운전자의 상태 인식을 위한 다양한 기술들이 되면서 지능형 자동차에 대한 구색을 갖추기 위한 연구도 활발히 이루어지고 있다. 하나의 MCU에서 차량상태표현을 위한 데이터 및 운전자 상태 정보를 표현하는 데이터를 동시에 처리하려면 병목현상이 발생되기 때문에 정상적이 데이터 처리가 어려울 것이다. 본 연구에서는 실시간 데이터 처리가 가능한 RT-eCos 기반의 태스크 처리에 우선순위를 두어 차량상태정보와 운전자 상태 정보의 원활한 데이터 처리를 위한 데이터 처리 모듈을 설계하기 위한 내용을 기술한다.