Chemical mechanical polishing(CMP) has been applied for planarization of topography after patterning process in semiconductor fabrication process. Tungsten CMP is necessary to build up interconnects of semiconductor device. But the tungsten dishing and the oxide erosion defects appear at end-point during tungsten CMP. It has been known that the generation of dishing and erosion is based on the over-polishing time, which is determined by pattern selectivity. Fixed abrasive pad takes advantage of decreasing the defects resulting flam reducing pattern selectivity because of the lower abrasive concentration. The manufacturing technique of fixed abrasive pad using hydrophilic polymers is introduced in this paper. For application to tungsten CMP, chemicals composed of oxidizer, catalyst, and acid were developed. In comparison of the general pad and slurry for tungsten CMP, the fixed abrasive pad and the chemicals resulted in appropriate performance in point of removal rate, uniformity, material selectivity and roughness.
Shehab, Hamdy K.;Eisa, Ahmed S.;El-Awady, Kareem A.
International Journal of Concrete Structures and Materials
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제11권2호
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pp.327-341
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2017
Openings in slabs are usually required for many different applications such as aeriation ducts and air conditioning. Opening in concrete slabs due to cutouts significantly decrease the member stiffness. There are different techniques to strengthen slabs with opening cutouts. This study presents experimental and numerical investigations on the use of Carbon Fiber Reinforced Polymers (CFRP) as strengthening material to strengthen and restore the load carrying capacity of R.C. slabs after having cutout in the hogging moment region. The experimental program consisted of testing five (oneway spanning R.C. flat slabs) with overhang. All slabs were prismatic, rectangular in cross-section and nominally 2000 mm long, 1000 mm width, and 100 mm thickness with a clear span (distance between supports) of 1200 mm and the overhang length is 700 mm. All slabs were loaded up to 30 kN (45% of ultimate load for reference slab, before yielding of the longitudinal reinforcement), then the load was kept constant during cutting concrete and steel bars (producing cut out). After that operation, slabs were loaded till failure. An analytical study using finite element analysis (FEA) is performed using the commercial software ANSYS. The FEA has been validated and calibrated using the experimental results. The FE model was found to be in a good agreement with the experimental results. The investigated key parameters were slab aspect ratio for the opening ratios of [1:1, 2:1], CFRP layers and the laminates widths, positions for cutouts and the CFRP configurations around cutouts.
Ge, Genwang;Liu, Yingzi;Al-Tamimi, Haneen M.;Pourrostam, Towhid;Zhang, Xian;Ali, H. Elhosiny;Jan, Amin;Salameh, Anas A.
Computers and Concrete
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제29권 6호
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pp.375-391
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2022
This paper examined the impact of the cross-sectional structure on the structural results under different loading conditions of reinforced concrete (RC) members' management limited in Carbon Fiber Reinforced Polymers (CFRP). The mechanical properties of CFRC was investigated, then, totally 32 samples were examined. Test parameters included the cross-sectional shape as square, rectangular and circular with two various aspect rates and loading statues. The loading involved concentrated loading, eccentric loading with a ratio of 0.46 to 0.6 and pure bending. The results of the test revealed that the CFRP increased ductility and load during concentrated processing. A cross sectional shape from 23 to 44 percent was increased in load capacity and from 250 to 350 percent increase in axial deformation in rectangular and circular sections respectively, affecting greatly the accomplishment of load capacity and ductility of the concentrated members. Two Artificial Intelligence Models as Extreme Learning Machine (ELM) and Particle Swarm Optimization (PSO) were used to estimating the tensile and flexural strength of specimen. On the basis of the performance from RMSE and RSQR, C-Shape CFRC was greater tensile and flexural strength than any other FRP composite design. Because of the mechanical anchorage into the matrix, C-shaped CFRCC was noted to have greater fiber-matrix interfacial adhesive strength. However, with the increase of the aspect ratio and fiber volume fraction, the compressive strength of CFRCC was reduced. This possibly was due to the fact that during the blending of each fiber, the volume of air input was increased. In addition, by adding silica fumed to composites, the tensile and flexural strength of CFRCC is greatly improved.
모발이 부스스하게 떠서 부피가 커졌거나 정발된 모발에서 이탈한 잔머리를 프리즈 모발이라고 하는데 어떤 요인이 프리즈 현상을 일으키는지에 대해서는 알려져 있지 않다. 모발 내부 지질은 탄력, 인장강도 등 물성과 관계되는데, 프리즈에 관해서는 인종 간 연구에서 프리즈 모발이 많은 아프리칸 모발과 지질량과의 관계가 보고되어 있다. 모발 외부에 손상을 입히지 않고 모발의 내부 지질량을 조절하는 방법은 세정에 의한 소실이 유일하지만 세정횟수와 지질 소실량은 비례하지 않는다. 본 연구에서는, 다양한 컨디셔닝 폴리머와 극성이 서로 다른 오일을 사용한 샴푸 처방으로 모발을 세정하여 모발 내부 지질량을 분석하였다. 그 결과 오일의 극성도가 높을수록 지질량이 많이 보존되는 것을 확인하였다. 이 방법을 인디언 프리즈 모발에 적용하여 프리즈 정도를 평가한 결과 지질량이 적은 모발일수록 부피가 커지는 볼륨 프리즈 정도가 심하다는 것을 발견하였다. 반면에 잔머리 프리즈 모발 부피는 지질량이 많은 모발에서 더 넓게 관찰되었다. 아울러 모발 표면 마찰력은 처리한 오일에 따른 차이가 없었기 때문에 모발 프리징은 오일간 점착력에 영향을 받지 않고 모발 내 지질량의 영향을 받고 있음을 알 수 있었다. 따라서 본 연구는 안티 프리즈 기술을 구현하는데 모발 내부 지질 조절이 중요한 해법이 될 수 있음을 제시한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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