• 한국진공학회지
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• 제6권1호
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• pp.9-19
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• 1997

본 연구에서는 실리콘 웨이퍼 표면에 존재하는 미량의 Zn, Fe, Ti 금속 오염물들이 UV-excited chlorine radical을 이용한 건식세정 방법으로 제거되는 반응과정을 찾아내고자 하였다. 실리콘 웨이퍼 상에 진공증착법으로 원형패턴이 있는 Zn, Fe, Ti 박막을 증착시켜 상온 및 $200^{\circ}C$에서 UV/$Cl_2$세정하였을 때, 염소 래디컬($Cl^*$)이 Fe, Zn, Ti와 반응하여 제거되 는 것을 반응 전후 광학현미경과 SEM을 통해 표면 형상 변화를 관찰하였고, in-line으로 연결된 XPS를 통해서 반응 후 웨이퍼 표면에 남아있는 화합물의 화학적 결합상태를 관찰 하였으며, UV/$Cl_2$ 세정 후 실리콘 기판이 손상받는 정도를 알기 위해 AFM으로 표면 거칠 기를 측정하였다. 광학현미경과 SEM의 분석 결과에 의하면 Zn와 Fe는 쉽게 제거되는 반면 염화물을 형성하기 보다는 휘발성이 적은 산화물을 형성하는 경향이 강한 Ti은 약간만 제 거되는 것을 확인하였다. XPS분석을을 통해서 이들 금속 오염물들이 chlorine radical과 반 응하여 웨이퍼 표면에 금속 염화물을 형성하고 있는 것을 확인하였고, UV/$Cl_2$세정처리를 하였을 때 실리콘 웨이퍼의 표면 거칠기가 약간 증가하는 것을 알 수 있었다. 지금까지의 결 과를 볼 때, 습식세정과 UV/$Cl_2$건식세정을 병행하면 플라즈마 및 레이저를 사용하는 다른 건식세정 방법에 비하여 보다 저온에서 실리콘 기판의 큰 손상 없이 비교적 용이하게 금속 오염물을 제거할 수 있음을 제안 하였다.

• 동의생리병리학회지
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• 제22권2호
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• pp.357-364
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• 2008

Mylabris is the dried body of the chinese blister beetle. The species used in medicine are Mylabris phalerata and M. cichorii. In recent studies, it has been found that Mylabris possesses antitumor properties, increases the number of leukocytes, and has irritant effects on the urinary organs. The crude extracts of Mylabris have been noted for their highly irritant action and other traditional uses of Mylabris include treatment of poor local blood circulation. The active constituent of Mylabris is cantharidin. The chemical is notable for its vesicant properties, but with severe side effects such as nephrotoxicity. This experiment examined the effect of extracts and fractions, obtained from Mylabris phalerata Pall. on hair growth activity of the C57BL/6N mice after topical application to skin. First, we examined the effect of an extracts, obtained from the alcohol extracts of dried Mylabris phalerata Pall. on hair growth activity of the C57BL/6N mice after topical application to skin. Second, we examined on hair growth activity of the cantharidin fraction of Mylabris phalerata Pall. compared to the control and 1% minoxidil groups. Third, we investigated the number of hair follicle and mast cells after topical application of extracts of Mylabris phalerata Pall. to skin for 16 days. The results were as follows: Hair growth effect from the extracts of Mylabris phalerata Pall.(0.312%) was observed in 80% of mice whose hair had been removed in 13 days. Hair growth effect from the extract of Mylabris phalerata Pall.(0.312 and 0.625%) and 1% minoxidil group was observed in 100% of mice whose hair had been clipped in 20 days. Hair growth effect from the cantharidin fraction(0.5%) and water fraction(0.5%) of Mylabris phalerata Pall. was observed in 100% of mice whose hair had been clipped in 24 days. The hair growth effect on the cantharidin fraction(0.125%) was observed to be strong compared with the minoxidil(3%) group, commercial hair growth agents, in mice whose hair had been clipped in 19 days. In the spontaneous alopecia mice model, the hair growth effect from the cantharidin fraction (0.125%) was observed to be strong as compared with the states before the 13 days experiment. These experiments suggest that extracts and fractions of Mylabris phalerata Pall. may stimulate the topical hair growth activity in low doses.

• 한국재료학회지
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• 제22권8호
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• pp.439-444
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• 2012

To compare the photocatalytic performances of titania for purification of waste water according to applied voltages and doping, $TiO_2$ films were prepared in a 1.0 M $H_2SO_4$ solution containing $NH_4F$ at different anodic voltages. Chemical bonding states of F-N-codoped $TiO_2$ were analyzed using surface X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The photocatalytic activity of the co-doped $TiO_2$ films was analyzed by the degradation of aniline blue solution. Nanotubes were formed with thicknesses of 200-300 nm for the films anodized at 30 V, but porous morphology was generated with pores of 1-2 ${\mu}m$ for the $TiO_2$ anodized at 180 V. The phenomenon of spark discharge was initiated at about 98 V due to the breakdown of the oxide films in both solutions. XPS analysis revealed the spectra of F1s at 684.3 eV and N1s at 399.8 eV for the $TiO_2$ anodized in the $H_2SO_4-NH_4F$ solution at 180 V, suggesting the incorporation of F and N species during anodization. Dye removal rates for the pure $TiO_2$ anodized at 30 V and 180 V were found to be 14.0% and 38.9%, respectively, in the photocatalytic degradation test of the aniline blue solution for 200 min irradiation; the rates for the F-N-codoped $TiO_2$ anodized at 30 V and 180 V were found to be 21.2% and 65.6%, respectively. From the results of diffuse reflectance absorption spectroscopy (DRS), it was found that the absorption edge of the F-N-codoped $TiO_2$ films shifted toward the visible light region up to 412 nm, indicating that the photocatalytic activity of $TiO_2$ is improved by appropriate doping of F and N by the addition of $NH_4F$.

• 자원환경지질
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• 제26권1호
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• pp.41-54
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• 1993

경상분지 남동부에 위치한 울산광산은 석회암을 교대한 전형적인 calcareous skarn강상으로 Fe W광화작용 이외에도 Cu, Pb, Zn, As, Bi, Ni, Co, Cr, Ag, Sn, In, Te, Sb 등이 수반되는 다금속광화작용의 특성을 보여주고 있다. 본 광상은 직립에 가까운 파이프상 광체로 산출되며, 자철석과 함께 북측의 혼펠스와의 경계부근에 회중석이 부분적으로 광염되어 있다. 본 광상의 스카른대는 석회암 및 혼펠스를 교대한 괴상 스카른과 양자를 각기 절단하는 맥상스카른으로 구분된다. 괴상스카른은 석회암 기원의 스카른이 주체를 이루며, 이러한 스카른대는 규회석 스카른, 석류석 스카른, 단사휘석-석류석 스카른, 단사휘석 스카른으로 분류되며, 부분적으로 스카른대 주변부를 따라 거정질 방해석대가 존재하고 있다. 스카른 진화과정은 초기스카른 및 후기스카른의 두 시기로 분류되며, 초기스카른은 prograde한 스카른 생성시기로 초기에는 규회석, Mg-rich 단사휘석, Al-rich garnet가 주로 정출되며 광석광물은 거의 불모한 시기이나, 초기스카른의 말기로 진행됨에 따라 자철석과 회중석이 정출된다. 그리고, 후기스카른의 전반기까지는 Fe-rich 단사휘석, Fe-rich garnet와 함께 자철석 회중석이 연속적으로 정출되었으나, 후기스카른의 중기부터는 Ni, Co, As, Cu, Zn, Fe, Bi 등의 황화광물이 정출되는 다금속광화 작용의 특정을 보인다. 또한, 최후기 열수작용시기에는 섬아연석과 방연석 등의 Base-metal 황화광물이 주로 정출되는 연 아연 광화작용의 양상을 나타낸다. 이러한 각 광화시기별 스카른 광물과 광석광물의 변화양상은 고온의 열수용액이 천부로 유출되는 과정에서 광화용액의 온도가 급격히 떨어진 결과 (telescope)에 기인된 것으로 사료된다.

• 에너지공학
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• 제24권4호
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• pp.42-47
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• 2015

국내에 유통되는 자동차용휘발유의 산소함량은 2.3 wt % 이하로 규제하고 있는 반면, 유럽 및 세계연료헌장(WWFC)에서는 2.7 wt % 이하로 규제하고 있다. 산소함량을 결정짓는 함산소물질은 내연기관 내에서 연료의 연소를 보조하여 옥탄가를 상승시키고, 불완전연소로 야기되는 CO, HC와 같은 배출가스 저감에 효과가 있는 것으로 보고되고 있다. 2000년대 이전 미국, 유럽 등에서 자동차용휘발유의 산소함량 변화에 따른 차량적용 평가연구가 추진된 바 있으나, 발전하고 있는 연료품질, 자동차기술현황을 반영한 국내실정의 연구는 많지 않다. 본 연구에서는 자동차용휘발유의 산소함량을 변화시킨 3종의 연료를 GDI, MPI 연료 분사 방식의 차량에 적용하여 비교 평가 하였다. 결과적으로 산소함량 변화에 따른 연비, 배출가스의 변화는 유사하였지만, GDI 엔진에서 산소함량이 증가할수록 PN은 감소하는 경향을 나타내었다.

• 대한공간정보학회지
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• 제17권3호
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• pp.3-12
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• 2009

지구상에서 가장 중요한 자원 중 하나인 토양은 지형조건에 따라 서로 다른 다양한 형태를 가지고 있기 때문에 최적화되고 지속 가능한 토양 자원의 활용을 위해서는 정확하고 포괄적인 정보가 필요하게 된다. 그러나 연구대상지역인 인도 Tamil Nadu지역의 경우 지형적인 영향으로 토양에 대한 정보가 많이 누락되어 있었다. 따라서 본 연구에서는Tamil Nadu 지역 Eastern Ghat의 Kolli Hill에 대한 지형 측량과 원격탐측을 통한 토양조사와 지도제작이 이루어졌으며 토양 샘플의 물리화학적 특성은 미국 농무부 (USDA) 기준에 따라 분석이 이루어졌다. 연구 결과로 토양을 5개의 대분류와 10개의 부분류로 구분할 수 있었으며 토양의 분포 특성을 보면 Entisol, Inseptisol 그리고 Alfisol의 세 계층 중 Entisol의 경우 전체 지역에 대하여 75%의 분포를 보였으며 5개의 대분류에 대해 Ustorthent 가 73% 로서 대부분 지역에 나타나고 있다. 또한 Lithic Ustorthents(40%), Typic Ustorthents(26%)의 분포를 나타내었다. 앞으로도 대상지역에 대한 토양자원에 대한 지속적인 연구가 요구되며 이를 통하여 토양에 대한 많은 정보를 활용할 수 있을 것이다.

• 한국지반환경공학회 논문집
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• 제10권6호
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• pp.27-33
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• 2009

본 연구에서는 사용 종료 생활폐기물 매립지의 10년 경과 후를 중심으로 하여 매립폐기물의 물리적 특성, TS, 수분, C/N비,용출실험, 원소분석을 하였으며, 매립지의 주변 토양을 분석하였다. 매립 폐기물의 유기성 물질은 7.2%~23.5%를 차지하였으며, 무기성 물질의 대부분은 토사류로서 54.1%~71.0%를 차지하고 있었다. TS는 51.5%~68.1%, VS 23.6%~56.1%, 수분은 32.0%~48.4%로 나타났다. 유해물질의 분석결과 수은, 6가 크롬, 시안, 유기인, 테트라클로로에틸렌, 트리클로로에틸렌은 검출되지 않았으며, 용출물질 중 Pb가 0.023~0.092mg/L로 가장 높은 결과를 나타내었다. 원소분석 결과 C는 47.74%~56.72%, N는 4.09%~9.92%, C/N비는 5.76~12.57이었고, 매립장 주변의 토양 분석 결과 Pb이 2.465mg/kg~10.251mg/kg으로 가장 많았다. 사용종료 매립장 폐기물의 환경현황 분석을 통하여 매립장에 대한 시간에 따른 특성, 안정화도, 주변 토양의 오염도를 평가하고자 하며, 매립지 특성 자료로 활용하고자 한다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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• pp.169-169
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• 2008

To keep pace with scaling trends of CMOS technologies, high-k metal oxides are to be introduced. Due to their high permittivity, high-k materials can achieve the required capacitance with stacks of higher physical thickness to reduce the leakage current through the scaled gate oxide, which make it become much more promising materials to instead of $SiO_2$. As further studying on high-k, an understanding of the relation between the etch characteristics of high-k dielectric materials and plasma properties is required for the low damaged removal process to match standard processing procedure. There are some reports on the dry etching of different high-k materials in ICP and ECR plasma with various plasma parameters, such as different gas combinations ($Cl_2$, $Cl_2/BCl_3$, $Cl_2$/Ar, $SF_6$/Ar, and $CH_4/H_2$/Ar etc). Understanding of the complex behavior of particles at surfaces requires detailed knowledge of both macroscopic and microscopic processes that take place; also certain processes depend critically on temperature and gas pressure. The choice of $BCl_3$ as the chemically active gas results from the fact that it is widely used for the etching o the materials covered by the native oxides due to the effective extraction of oxygen in the form of $BCl_xO_y$ compounds. In this study, the surface reactions and the etch rate of $Al_2O_3$ films in $BCl_3/Cl_2$/Ar plasma were investigated in an inductively coupled plasma(ICP) reactor in terms of the gas mixing ratio, RF power, DC bias and chamber pressure. The variations of relative volume densities for the particles were measured with optical emission spectroscopy (OES). The surface imagination was measured by AFM and SEM. The chemical states of film was investigated using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), which confirmed the existence of nonvolatile etch byproducts.

• 한국자기학회지
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• 제18권1호
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• pp.39-42
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• 2008

[ $AB_2X_4$ ]((A, B)=Transition Metal, X=O, S, Se) 물질에서의 8면체 자리의 이온 거동과 4면체 자리 이온과의 상호작용에 대하여 많은 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 4면체 자리에 비자성 이온인 Zn 이온을 치환함에 따른 자기구조의 변화를 관측하여 8면체 자리의 자기구조를 분석하고자 하였다. Cr이온의 일부를 Fe로 치환한 $[Co_{0.9}Zn_{0.1}]_A[Cr_{1.98}{^{57}Fe_{0.02}}]_BO_4$의 닐온도($T_N$는 90K로 $CoCr_{1.98}{^{57}Fe_{0.02}}O_4$ 비하여 감소하였다. 4.2 K에서의 초미세자기장값의 분석결과, 초미세자기장값의 작은 차이를 보이는 잘 분리된 2-set 형태로 나타났으며, $CoCr_{1.98}{^{57}Fe_{0.02}}O_4$의 초미세자기장값은 488, 478 kOe 인데 반하여, $Co_{0.9}Zn_{0.1}Cr_{1.98}{^{57}Fe_{0.02}}O_4$의 초미세자기장값은 $B_1=486$, $B_2=468$ kOe으로 나타났다. Zn 이온의 치환에 따라서 초미세자기장값의 변화를 알 수 있었다. 이러한 결과로 인하여, Zn 이온이 x=0.1 치환된 물질의 경우, 스핀재정렬온도($T_S$)가 18K으로 감소함을 알 수 있다.

• 대한임상독성학회지
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• 제2권1호
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• pp.41-44
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• 2004

With a recent well-being boom, our interest in chemical-free vegetables is also increasing. So, some people are trying to take in wild plants chosen by themselves. However, others often come to their rescue in an emergency department after eating them, caused by their misunderstanding poisonous herbs as edible vegetables. We have ever seen two persons carried into the emergency department with bradycardia and shock incurred by his intake by confusion between Caltha palustris and Ligularia fischeri lately. There were symptoms such as epigastric pain, nausea, vomiting and so on in their cases, and the symptoms of bradycardia and hypotension continued. Owing to sustained bradycardia and hypotension states, we applied a dopamine to a patient, and then the in-patient left the hospital two days later. We presumed the cause of the two symptoms appeared in two cases to be a saponin in Caltha palustris. For that reason, if someone has the bradycardia and hypotension symptoms from an unknown cause after taking in wild plants, they have to consider a toxication by the Caltha palustris. Therefore, this paper focused on the issue that unexpected poisoning would have to be prevented by studying about wild plants much more and informing the toxic risk from the plants.