DC sputtering법을 이용한 Al/AlN/Si MIS capacitor 제작 및 수소첨가가 전기적 특성에 미치는 영향 (Effect of hydrogen addition to use DC sputtering method on the electrical properties of Al/AlN/Si MIS capacitor fabrication)
-
- 대한전기학회:학술대회논문집
- /
- 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
- /
- pp.1919-1921
- /
- 1999