Electrical and Optical Properties of Amorphous ITZO Deposited at Room Temperature by RF Magnetron Sputtering (RF 마그네트론 스퍼터링법으로 상온 증착된 비정질 ITZO 산화물의 전기적 및 광학적 특성)
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- Journal of the Korean institute of surface engineering
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- v.47 no.5
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- pp.239-243
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- 2014