• 조명전기설비학회논문지
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• 제20권1호
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• pp.19-26
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• 2006

용량결합고주파(ccrf)방전은 홀로우음극방전이나, 직류방전에 비해서 방전관의 구조가 간단하고 균질한 플라즈마를 발생시키는 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 ccrf-방전을 기체레이저의 여기에 적용하기 위한 목표를 가지고 방전시스템을 선계, 제작하여 연속운전의 균질한 방전을 실현하였다. 13.56[MHz]의 rf-전력을 방전 내부로 효율적으로 결합하기 위해서 내부직경 5[mm]의 레이저방전관에 특수하게 제작된 rf-전극을 사용하였다. 또한 방전관의 임피던스가 rf-발생기의 풀력저항 50[$\Omega$]에 정합을 이루는 임피던스 정합회로를 개발하였다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제28권7호
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• pp.13-18
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• 2014

On 250.199nm uv-line, witch has the potential to emit as a laser line, from a ccrf-excited He-Zn discharge with overlapped DC was carried out optimization of the discharge parameters and measurement of the optical gain. In this study the optical gain of the 250.199nm uv-line has been optained 4% for the first time. At a rf-power of 400W with the frequency 13.56MHz the optimal He-pressure indicated 2kPa.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제22권1호
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• pp.33-39
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• 2008

직류방전이 추가로 인가된 용량결합고주파(CCRF)여기에 의한 아연증기레이저에서 6개의 레이저선들이 방출되었다. 이들의 파장은 491.162[nm]와 492.403[nm]의 청색선과 589.433[nm]의 오렌지선 그리고 747.979[nm], 758.848[nm], 773.25[nm]의 적외선 영역에 분포되어 있다. 최적의 레이저운전을 위해서 방전파라미터들이 결정되었다. 13.56[MHz]의 고주파전력 400[W]에서 오븐온도 $780{\sim}800[K]$, 헬륨압력 $3.5{\sim}5.5[kPa]$로 최적화되었다.