• 제목/요약/키워드: buffer layer

검색결과 1,103건 처리시간 0.026초

고밀도 플라즈마에 의한 $CeO_2$ 박막의 식각 메커니즘 연구 (A Study on the etching mechanism of $CeO_2$ thin film by high density plasma)

  • 오창석;김창일
    • 대한전자공학회논문지SD
    • /
    • 제38권12호
    • /
    • pp.8-13
    • /
    • 2001
  • $CeO_2$ 박막은 강유전체 메모리 디바이스 응용을 위한 금속-강유전체-절연체-실리콘 전계효과 트랜지스터 구조에서의 강유전체 박막과 실리콘 기판 사이의 완충층으로서 제안되어지고 있다. 본 논문에서는 $CeO_2$ 박막을 유도 결합 플라즈마를 이용하여 $Cl_2$/Ar 가스 혼합비에 따라 식각하였다. 식각 특성을 알아보기 위한 실험조건으로는 RF 전력 600 W, dc 바이어스 전압 -200 V, 반응로 압력 15 mTorr로 고정하였고 $Cl_2$($Cl_2$+Ar) 가스 혼합비를 변화시키면서 실험하였다. $Cl_2$/($Cl_2$+Ar) 가스 혼합비가 0.2일때 $CeO_2$ 박막의 식각속도는 230 ${\AA}$/min으로 가장 높았으며 또한 $YMnO_3$에 대한 $CeO_2$의 선택비는 1.83이였다. 식각된 $CeO_2$ 박막의 표면반응은 XPS와 SIMS를 통해서 분석하였다. XPS 분석 결과 $CeO_2$ 박막의 표면에 Ce와 Cl의 화학적 반응에 의해 CeCl 결합이 존재함을 확인하였고, 또한 SIMS 분석 결과로 CeCl 결합을 확인하였다. $CeO_2$ 박막의 식각은 Cl 라디칼의 화학적 반응의 도움을 받으며 Ce 원자는 Cl과 반응을 하여 CeCl과 같은 혼합물로 $CeO_2$ 박막 표면에 존재하며 이들 CeCl 혼합물은 Ar 이온들의 충격에 의해 물리적으로 식각 되어진다.

  • PDF

분리된 Simiduia sp. SH-4가 생산하는 β-agarase의 특성조사 (Characterization of β-agarase from Isolated Simiduia sp. SH-4)

  • 김재덕;이솔지;조정권;이동근;이상현
    • 생명과학회지
    • /
    • 제26권4호
    • /
    • pp.453-459
    • /
    • 2016
  • 경상남도 남해군 미조면 연안으로부터 채취한 해수를 Marine agar 2216 배지에 도말하여 한천분해활성을 보이는 SH-4 균주를 분리하였다. 선택된 SH-4 균주는 16S rDNA 염기서열분석을 통해 Simiduia sp. SH-4로 명명하였다. Simiduia sp. SH-4 균주의 배양액으로부터 한천분해효소를 획득하여 한천분해활성을 측정하였다. 한천분해활성의 강도에 있어서 Simiduia sp. SH-4 유래 한천분해효소의 최고활성은 120.4 U/l로 나타났다. 한천분해활성은 30℃에서 최고치를 나타내었으며, 30℃에서의 활성을 100%로 하였을 때 20℃에서 30%, 40℃에서 75%의 상대활성을 나타내었다. 최적 pH는 pH 6.0으로 pH 6.0의 활성을 100%로 하였을 때 pH 5.0과 pH 7.0에서 각각 91%와 59%의 상대활성을 나타내었다. TLC 분석 결과, Simiduia sp. SH-4는 neoagarotetraose 및 neoagarobiose 등의 neoagarooligosaccharides를 생성하는 것으로 보아 β-agarase를 생산하는 균주로 확인되었다. 따라서 Simiduia sp. SH-4균주와 이 균주가 생산하는 β-agarase는 식품, 화장품, 의약품 산업에서 기능성소재 생산자로서 유용하게 활용할 수 있을 것으로 기대된다.

난류 흐름의 RANS 수치모의를 위한 벽함수 성능 평가 (An evaluation of wall functions for RANS computation of turbulent flows)

  • 유동근;백중철
    • 한국수자원학회논문집
    • /
    • 제53권1호
    • /
    • pp.1-13
    • /
    • 2020
  • 높은 레이놀즈수를 갖는 공학적인 흐름을 예측하는 가장 일반적인 방법은 여전히 벽함수를 이용하는 난류모형에 근거한 RANS 수치모의이다. 최근 벽근처의 점성영역 관계식과 벽에서 떨어진 대수영역 관계식을 혼합하여 개발된 일반화된 벽함수들은 두 영역사이의 난류량과 유속이 부드럽게 천이하도록 한다. 이 연구는 난류운동에너지(TKE), 에너지 소산율, 비소산율, 와점성에 대해서 적용 가능한 벽함수들을 조합하여 일련을 수치 모의를 수행하여 널리 이용되고 있는 난류모형들의 성능과 수렴 특성을 분석하였다. 이 연구 결과는 RNG k-𝜖 모형의 경우 첫번째 계산격자가 완충층에 놓이게 될 때는 반복 계산시 작은 허용오차를 이용하여 주의 깊게 적용을 하여야 안정된 해를 구할 수 있음을 보여준다. 표준 k-𝜖과 RNG k-𝜖 모형은 TKE와 와점성에 대해서 적용 가능한 벽함수들 중 어느 것을 선택하여 적용하더라도 수치모의 결과가 민감하게 반응하지 않는 것으로 나타났다. 한편, k-ω SST 모형의 경우 TKE에 대해서는 kL-벽함수 그리고 와점성에 대해서는 nutUB-벽함수를 이용하여야 정확하고 안정된 경계 조건 설정을 보장할 수 있다. 레이놀즈수 155,000조건에서 적용한 후방계산흐름 수치모의 결과 격자 해상도에 상관없이 약 13% 정도 재부착 거리를 과소평가하는 모형을 제외하고 나머지 적용한 난류모형들 모두 적절히 세밀한 해상도의 격자에서 양호하게 재부착거리를 잘 예측하는 것으로 나타났다.

운동 강도가 수면장애 모델 쥐의 혈 중 멜라토닌 농도에 미치는 영향 (Effect of Different Exercise Intensity on Blood Melatonin Density in Sleep Disordered Rats)

  • 김희정;김동현
    • 대한물리의학회지
    • /
    • 제9권1호
    • /
    • pp.45-53
    • /
    • 2014
  • PURPOSE: In this study, we tried to find out what kind of exercise was more effective in sleep disorder by comparing melatonin in blood after applying low intensity with high intensity exercise to sleep disordered rats induced by experiment. METHODS: We used male Sprague-Dawley rats which were 8weeks old and weighted 300g. They were supplied with water and food without any restriction. We kept the room temperature at $25^{\circ}C$ and controld the length of day and night in 12 hours blocks, respectively. We divided the rats 60 into 2 groups. To one group we applied low intensity exercise, and to the other we applied high intensity exercise for 15minutes per day over a period of 4 weeks. We extracted the blood from abdominal aorta before, after exercise, moved into EDTA tube, performed centrifugation. We decanted the serum $200{\mu}l$ from the blood into microcentrifuge tube by samples and moved into polypropylene culture tubes with micro pipette. We split enzyme solution $50{\mu}l$ into the tubes with melatonin direct kits and make them react at $37^{\circ}C$ for 2 hours. We split assay buffer $50{\mu}l$ into each tube and mixed melatonin tracer $50{\mu}l$ and melatonin antiserum $50{\mu}l$, respectively. After we made them react in room temperature, we decanted the superficial layer with a centrifuge and measured the activity for 1 minute by competitive method with ${\gamma}$-counter equipment. We draw a standard curve through logit-log graph with CPM(counts per minute) and counted the melatonin by B/B0. We conducted independent t-test to examine the homogeneous of melatonin value of before low-intensity and high-intensity exercise. We performed paired t-test to compare before and after low-intensity and high-intensity exercise, respectively. We carried out independent t-test to compare melatonin value after low-intensity and high-intensity exercise. Significance level was .05. RESULTS: The results were as follows; firstly melatonin was more increased in the group who was exposed to high intensity exercise when we compared before to after high and low intensity exercise, respectively. Secondly, high intensity exercise was more effective than low intensity exercise when we compared the two. CONCLUSION: In conclusion, secretion of melatonin which is the material of sleep improvement could be promoted by high intensity exercise. Low intensity exercise acted as a stress rather than improving sleep and had a negative effect on the secretion of melatonin because the melatonin was affected by stress.

연안지역 포장면 비점오염물질 유출 및 최적관리방안 시설의 선정을 위한 가이던스에 관한 연구 (A Study on Non-point Source Pollutants from Pavement of Coastal Area and Guidance for Selecting BMP)

  • 고웅;박기수;진요평;김영철
    • 한국습지학회지
    • /
    • 제15권4호
    • /
    • pp.543-553
    • /
    • 2013
  • 우리나라에서는 유역 특성별 비점오염물질 유출특성을 파악하고 최적관리방안을 도모하기 위해 2000년 이후 다양한 형태의 실험실 규모 또는 실증 규모 최적관리방안(Best Management Practices, BMP) 시설에 대해 연구가 진행되고 있으나 유역 특성상 자정작용의 기회가 주어지지 않는 연안지역에서의 비점오염물질 유출특성 및 관리방안에 대한 연구는 미비한 상태이다. 최근 연안지역 개발에 따른 불투수층 비율은 지속적으로 증가하고 있으나, 초기우수의 직접유출을 방지하기 위한 완충 시설 및 최적관리방안 시설은 전무한 상태이다. 본 논문에서는 충남 보령시 대천항 주차장을 중심으로 연안 지역의 비점오염물질 유출특성을 파악하고, 이를 저감하기 위한 최적관리방안을 설정하여 연안지역 비점오염원 관리에 대한 기초자료를 제공하였다. 연안지역은 지역특성상 해안과 접하고 있기 때문에 지하수위가 낮고 경사차가 크지 않은 평탄한 지형을 이루고 있다. 즉, 최적관리방안을 선정하는데 있어 유출입구의 수두확보문제와 굴착 깊이에 제한을 받으며, 인공습지 및 저류지와 같은 대규모 저류형 시설의 입지조건으로는 부적합하다. 또한, 연안지역은 강우유출 특성상 염분의 함량이 높기 때문에 식물 생장에 미치는 영향이 커 식생을 이용한 자연형 최적관리방안 시설을 적용하는데도 제약을 받는다. 연안지역 비점오염원 유출 특성과 연안지역 지리 지형적 조건을 고려하여 선정된 최적관리방안 시설의 주관평가 결과 시공시 굴착 깊이가 적고, 식생의 이용이 제한적인 침투수로 형태의 시설이 적합한 것으로 사료되며 유지관리 측면에서도 유리하다.

흰쥐의 적출 간 관류법을 이용한 벤지딘 대사에 관한 연구 (The study on the metabolism of benzidine in the isolated perfused rat liver)

  • 배문주;노재훈;조영봉;김춘성;전미령;김치년
    • 한국산업보건학회지
    • /
    • 제6권1호
    • /
    • pp.28-37
    • /
    • 1996
  • Benzidine, an aromatic amine used primarily in the manufacture of azo dyes, is recognized as a urinary bladder carcinogen in humans. In rats, mice, and hamsters, chronic exposure to benzidine resulted in tumors of the liver. The present study was undertaken to suggest analyzing the metabolites of benzidine with the optimal condition, identify the metabolites of benzidine, and observe time variance of the metabolites in the isolated perfusated rat liver. N-acetylbenzidine was synthesized by acetylation of benzidine with acetic anhydride and separated by thin layer chromatography(TLC) and high performance liquid chromatography(HPLC). To analysis benzidine and the metabolites of benzidine, HPLC operating condition has been optimized by means of preliminary experiment. The mobile phase consisted of acetonitrile(37%) in phosphate buffer, flow rate maintained at 1.0 ml/min. Optimal detective conditions were electrochemicaldetector(ECD) at 0.75 V for benzidine and N-acetylbenzidine and ultravioletdetector(UVD) at 287 nm for N,N'-diacetylbenzidine. The separation system was composed of a guard column and a separation column(Polymer C18, $4.6{\times}250cm$) at a temparature of $40^{\circ}C$. The perfusion system was equilibrated for 30 minutes before addition of benzidine to the perfusate. Samples of the perfusate were collected at time intervals(0, 10, 20, 30, 60, 90, 120 min) during the 2 hour perfusion. Before analyzing samples by HPLC/ECD/UVD, samples had been treated with sep-pak. Samples of perfusate analyzed by HPLC/ECD/UVD and the metabolites of benzidine in the isolated perfused rat liver were N-acetylbenzidine and N,N'-diacetylbenzidine. Benzidine metabolized over 60% during the initial 30 minutes of perfusion, extensively by 1 hour, and was undetectable in the perfusate. N-acetylbenzidine increased by 30 minutes of perfusion, declined. N,N'-diacetylbenzidine increased the 0-90 minutes period, remained constant during the 90-120 minutes period.

  • PDF

In Situ Monitoring of the MBE Growth of AlSb by Spectroscopic Ellipsometry

  • 김준영;윤재진;이은혜;배민환;송진동;김영동
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
    • /
    • pp.342-343
    • /
    • 2013
  • AlSb is a promising material for optical devices, particularly for high-frequency and nonlinear-optical applications. And AlSb offers significant potential for devices such as quantum-well lasers, laser diodes, and heterojunction bipolar transistors. In this work we study molecular beam epitaxy (MBE) growth of an unstrained AISb film on a GaAs substrate and identify the real-time monitoring capabilities of in situ spectroscopic ellipsometry (SE). The samples were fabricated on semi-insulating (0 0 1) GaAs substrates using MBE system. A rotating sample stage ensured uniform film growth. The substrate was first heated to $620^{\circ}C$ under As2 to remove surface oxides. A GaAs buffer layer approximately 200 nm- thick was then grown at $580^{\circ}C$. During the temperature changing process from $580^{\circ}C$ to $530^{\circ}C$, As2 flux is maintained with the shutter for Ga being closed and the reflection high-energy electron diffraction (RHEED) pattern remaining at ($2{\times}4$). Upon reaching the preset temperature of $530^{\circ}C$, As shutter was promptly closed with Sb shutter open, resulting in the change of RHEED pattern from ($2{\times}4$) to ($1{\times}3$). This was followed by the growth of AlSb while using a rotating-compensator SE with a charge-coupled-device (CCD) detector to obtain real-time SE spectra from 0.74 to 6.48 eV. Fig. 1 shows the real time measured SE spectra of AlSb on GaAs in growth process. In the Fig. 1 (a), a change of ellipsometric parameter ${\Delta}$ is observed. The ${\Delta}$ is the parameter which contains thickness information of the sample, and it changes in a periodic from 0 to 180o with growth. The significant change of ${\Delta}$ at~0.4 min means that the growth of AlSb on GaAs has been started. Fig. 1b shows the changes of dielectric function with time over the range 0.74~6.48 eV. These changes mean phase transition from pseudodielectric function of GaAs to AlSb at~0.44 min. Fig. 2 shows the observed RHEED patterns in the growth process. The observed RHEED pattern of GaAs is ($2{\times}4$), and the pattern changes into ($1{\times}3$) with starting the growth of AlSb. This means that the RHEED pattern is in agreement with the result of SE measurements. These data show the importance and sensitivity of SE for real-time monitoring for materials growth by MBE. We performed the real-time monitoring of AlSb growth by using SE measurements, and it is good agreement with the results of RHEED pattern. This fact proves the importance and the sensitivity of SE technique for the real-time monitoring of film growth by using ellipsometry. We believe that these results will be useful in a number of contexts including more accurate optical properties for high speed device engineering.

  • PDF

서울시 월드컵공원 야생조류 군집 특성 및 생태적 관리방안 (The Ecological Management and Characteristics of Bird Communities at the World Cup Park in Seoul)

  • 한봉호;김정호;손병도;이경재
    • 한국조경학회지
    • /
    • 제33권5호통권112호
    • /
    • pp.43-56
    • /
    • 2005
  • This study was conducted to examine the inhabitation of wild birds at the World Cup Park and to offer the Park ecological management data. Land use md actual vegetation were examined to analyze the inhabitation of wild birds. Characteristics of bird communities were analyzed by dominance, density, diversity index and guild concept. You compare inhabitation before and after the Park was built. We classified the land use and actual vegetation into twenty-six types. Robinia pseudoacacia dominated the study area. Pyeonghwa Park and Nanji-cheon Park were simple-layer structures composed of alien woody species. The observed birds after the World Cup Park included 33 families 77 species, and 9,751 individuals. Among Wild Life types, the shrub and bush type was dominant. There were 26 species of resident birds, 20 species of summer visitors, 18 species of winter visitors, and 12 species of passage migrants. The following numbers of species and individuals were observed: in Hanul park, 38 species, 3,151 individuals; in Noul park, 45 species, 2,061 individuals; in Nanji-cheon park, 42 species, 2,742 individuals; in Pyeonghwa park, 29 species, 875 individuals; and in Maebongsan(Mt.) area, 35 species, 922 individuals. Species diversities for each area were as follows: Noul park, 2.613; Hanul park, 2,301; Nanji-cheon, 2.228; and Pyeonghwa park, 2,019; and each season: summer, 2.652; spring, 2.650: winter, 2.561; and autumn 2.176. The diversity of species increased from 1.135 in 1994 to 2.324 in 2001. We recommended that the park be differented into different ecological areas in order to encourage the appearance of wild birds at the World Cup Park. The management area was divided into three districts(conservation area, preservation and restoration area, use area). The conservation area was established to the west of a waste landfill and in the downstream area of NanJi-cheon, the preservation and restoration area was established in the midstream area of Nanji-cheon, and the use area was established in the buffer zone of Pyeonghwa Park and the Nanji pond greenspace.

Taguchi법을 이용한 Ti/TiO2/IrO2-RuO2전극의 부식특성 최적화 (Optimization of Corrosion Properties of Ti/TiO2/IrO2-RuO2 Electrodes via Taguchi Method)

  • 이득용;채경선;최형기;예경환;안중홍;송요승
    • 한국세라믹학회지
    • /
    • 제39권6호
    • /
    • pp.582-588
    • /
    • 2002
  • Ti 기판에 TiO$_2$ 중간층을 플라즈마 용사법으로 증착 후 IrO$_2$-RuO$_2$ 박막을 졸-겔과 dip coating법으로 제조하였다. 코팅 층의 접착력을 향상시키기 위하여 유기화합물과 glass brit을 첨가하였다. Taguchi법의 망대특성과 Lls(2$^1$$\times$3$^{7}$ )의 직교배열표를 이용하여 IrO$_2$-RuO$_2$ 박막의 최적조건인 인자와 수준 조합의 최적화를 전류밀도를 측정 분산분석하였다. 최적의 코팅조건은 각각 ethyl cellulose의 점도는 100cp, 건조온도 및 시간은 17$0^{\circ}C$ 20분, 열처리온도 및 시간은 75$0^{\circ}C$ 10분, 전도성 분말과 glass frit의 무게비는 99:5, 최종열처리시간은 120분, 주입산소량은 5sccm이었다. 분산분석결과, 유의수준이 $\alpha$=0.1인 통계적으로 90%신뢰공정이었다.

가스 조성이 저유전상수 a-C:F 층간절연막의 특성에 미치는 영향 (Effect of gas composition on the characteristics of a-C:F thin films for use as low dielectric constant ILD)

  • 박정원;양성훈;이석형;손세일;오경희;박종완
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제7권4호
    • /
    • pp.368-373
    • /
    • 1998
  • 초고집적 회로의 미세화에 따라 다층배선에서 기생저항(parasitic resistance)과 정전 용량의 증가는 RC시정수(time constant)의 증가로 인하여 소자의 동작속도를 제한하고 있 다. 이로 인하여 발생되는 배선지연의 문제를 해결하기 위하여 매우 낮은 유전상수를 갖는 층간 절연물질이 필요하다. 이러한 저유전상수 층간절연물질로서 현재 유기계 물질중의 하 나인 a-C:F이 주목받고 있는 물질이다. 본 연구에서는 ECRCVD를 이용하여 a-C:F박막과 Si기판사이의 밀착력을 향상시키기 위하여 a-C:H박막을 500$\AA$증착한 후 a-C:F을 증착전력 500W에서 원료가스의 유량비($C_2F_6, CH_4/(C_2F_6+CH_4)$))를 0~1.0까지 변화시키면서 상온에서 증착하 였다. a-C:F박막의 특성은 SEM, FT0IR, XPS, C-V meter와 AFM등을 이용하여 두께, 결 합상태, 유전상수, 표면형상 및 표면 거칠기를 관찰하였다. a-C:F박막에서 불소함량은 가스 유량비가 1.0일 경우에는 최대 약31at.%정도 검출되었으며, 가스 유량비가 증가됨에 따라 증 가하였다. 또한 유전상수는 a-C:H의 유전상수 $\varepsilon$=3.8에서 $\varepsilon$=2.35까지 감소하였다. 이는 영 구 쌍극자 모멘트가 1.5인 C-H결합은 감소하고 영구 쌍극자 모멘트가 0.6, 0.5인 CF, CF2결 합이 증가하였기 때문이다. 하지만 $400^{\circ}C$에서 질소분위기로 1시간 동안 furnace열처리 후에 가스유량비가 1.0인 a-C:F박막에서 불소의 함량이 감소하여 C-F결합이 줄어들었다. 이로 인하여 유전상수가 열처리전의 2.7에서 열처리후 3.2까지 상승하였다.

  • PDF