Effect of Oxygen Annealing on the Structural and Optical Properties of Sputter-deposited Vanadium Oxide Thin Films (스퍼터링으로 퇴적시킨 바나듐 산화막의 구조적, 광학적 특성에 미치는 산소 어닐링의 효과)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.13 no.12
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- pp.1003-1010
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- 2000